一种梳条电测工作台及其电测工艺制造技术

本发明专利技术涉及自动电测技术领域，且公开了一种梳条电测工作台，包括底板，所述底板的顶部设置有取料机械手模组和三个料框模组，所述取料机械手模组的另一侧设置有中心定位视觉模组，两个探针工作台模组和两个探针定位视觉模组分别设置于所述中心定位视觉模组两侧，所述探针定位视觉模组的下方位置处设置有双工位XYθ检测平台。该梳条电测工作台及其电测工艺，通过取料机械手模组和中心定位视觉模组配合设置，可以使该设备实现产品的自动上下料和自动电测，并且通过采用双工位XYθ检测平台，有效提高该设备的产品检测效率，其中取料机械手模组通过真空吸嘴吸附产品的上表面，来实现与产品的梳条软接触。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及自动电测，具体为一种梳条电测工作台及其电测工艺。

技术介绍

1、随着时代的进步，半导体芯片正在快速发展，与半导体芯片相关的产业和设备也进入成熟阶段，在芯片的制造环节中，需要对其电阻行进行检测，其中最为常用的就是利用探针台进行电测实验，而探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。

2、但目前市场上的探针台基本是一个独立的平台，多采用半自动或手动模式，即每个产品都需要人工上料，检测完成后再人工更换，其生产效率较低，不便于产品的批量化生产，而且探针台的兼容性较低，每更换一款产品，需要将吸盘和探针一起更换，更换完成后校准的时效过长，另外对于部分现有的探针台，其运动模式是探针静止不动，通过平台吸盘上下往复运动实现电极连接，容易造成芯片产品压伤，因此针对上述问题，本专利技术提供一种梳条电测工作台及其电测工艺，旨在提高生产效率和稳定性。

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【技术保护点】

1.一种梳条电测工作台，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部设置有取料机械手模组(2)和三个料框模组(3)，所述取料机械手模组(2)的另一侧设置有中心定位视觉模组(4)，两个探针工作台模组(5)和两个探针定位视觉模组(6)分别设置于所述中心定位视觉模组(4)两侧，所述探针定位视觉模组(6)的下方位置处设置有双工位XY θ检测平台(7)，两个探针监控显示屏(8)通过安装架设置于两个所述探针工作台模组(5)的一侧，两个所述探针定位视觉模组(6)的底部均设置有监控相机(9)。

2.根据权利要求1所述的一种梳条电测工作台，其特征在于：所述取料机械手模组(2)包括机械手(2...

【技术特征摘要】

1.一种梳条电测工作台，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部设置有取料机械手模组(2)和三个料框模组(3)，所述取料机械手模组(2)的另一侧设置有中心定位视觉模组(4)，两个探针工作台模组(5)和两个探针定位视觉模组(6)分别设置于所述中心定位视觉模组(4)两侧，所述探针定位视觉模组(6)的下方位置处设置有双工位xy θ检测平台(7)，两个探针监控显示屏(8)通过安装架设置于两个所述探针工作台模组(5)的一侧，两个所述探针定位视觉模组(6)的底部均设置有监控相机(9)。

2.根据权利要求1所述的一种梳条电测工作台，其特征在于：所述取料机械手模组(2)包括机械手(201)、底座(202)、夹爪固定板(203)、夹爪(204)和吸嘴(205)，所述机械手(201)采用四轴机械手，且通过底座(202)安装在所述底板(1)上，所述机械手(201)的z轴丝杆上安装有夹爪固定板(203)，所述夹爪固定板(203)的两端均安装有夹爪(204)，吸嘴(205)设置于两个所述夹爪(204)上。

3.根据权利要求1所述的一种梳条电测工作台，其特征在于：所述料框模组(3)包括升降驱动机构(301)、料框固定板(302)、按键(303)、调节块(304)、限位杆(305)、托板(306)和光纤传感器(307)，料框固定板(302)安装在所述底板(1)上，升降驱动机构(301)通过支架安装在所述料框固定板(302)下方，所述料框固定板(302)的中部设置有避空开口，以便所述升降驱动机构(301)的推杆直线伸缩，按键(303)安装于所述料框固定板(302)表面，所述料框固定板(302)的避空开口圆周位置设置有调节块(304)，且呈三角形分布，所述调节块(304)的顶部安装有限位杆(305)，所述升降驱动机构(301)的推杆上端安装有托板(306)，所述托板(306)的上方和下方分别安装有光纤传感器(307)，所述托板(306)的表面设置有避空缺口，用于所述光纤传感器(307)的光束透过该缺口照射到产品上，来检测所述托板(306)上是否放置有产品。

4.根据权利要求1所述的一种梳条电测工作台，其特征在于：所述中心定位视觉模组(4)包括支座(401)、安装竖板(402)、升降滑台(403)、导轨(404)、相机滑台(405)、中心定位相机(406)和喷墨器(407)，安装竖板(402)通过支座(401)设置于所述底板(1)上，所述安装竖板(402)的表面安装有升降滑台(403)，所述升降滑台(403)的侧边设置有导轨(404)，在所述升降滑台(403)和导轨(404)的同一平面上通过转接板安装有相机滑台(405)和喷墨器(407)，所述相机滑台(405)的驱动端安装有中心定位相机(406)。

5.根据权利要求1所述的一种梳条电测工作台，其特征在于：所述探针工作台模组(5)包括安装架(501)、第一x轴滑台机构(502)、第一y轴滑台机构(503)、第二x轴驱动机构(504)、第二y轴驱动机构(505)、探针安装板(506)、探针驱动机构(507)、环形门极g探针组件(508)和梳条k电极探针组件(509)，所述安装架(501)的表面设置有第一x轴滑台机构(502)和第二x轴驱动机构(504)，所述第一x轴滑台机构(502)和第二x轴驱动机构(504)的驱动端分别设置有第一y轴滑台机构(503)和第二y轴驱动机构(505)，所述第一y轴滑台机构(503)和第二y轴驱动机构(505)的驱动端均设置有探针安装板(506)，两块所述探针安装板(506)通过探针驱动机构(507)分别设置有环形门极g探针组件(508)和梳条k电极探针组件(509)，且所述环形门极g探针组件(508)与...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄剑锋，陈春任，雷红平，邹康，梅刚，沈智慧，
申请(专利权)人：深圳市智立方自动化设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：