【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅芯生产，具体为一种直拉式硅芯拉制炉。
技术介绍
1、硅芯是多晶硅生产过程中必不可少的原料之一，方硅芯的切割包括粘棒、切割硅芯、脱胶清洗、磨锥打孔、退火打包5个工序，每个工序都需要匹配的人员和相应的设备仪器，而且需要大面积的厂房。
2、粘棒过程，对粘棒胶水和温度需要严格把控，否则会出现切割掉棒的风险；切割过程辅材消耗占比较大，切割过程会出现断线和隐裂，影响合格硅芯的产出，同时影响合格硅芯产出效率；在磨锥打孔、退火打包阶段，都会有硅芯损耗。
3、目前还会使用区熔法拉制硅芯，但是此种方法，每炉所能拉制硅芯的数量有限，且在拉制过程中，所使用的步进电机和交流电机产生的脉冲会对硅芯的拉制工艺产生影响；提拉头上拉制硅芯所用的钨丝绳在转动性能、破坏力矩、正反向反复扭寿命无法达到最佳状态，影响生成效率。
4、基于此，本申请提出一种直拉式硅芯拉制炉，可一次性拉制不少于40根的硅芯，且所用设备运行平稳，对硅芯拉制的影响较小，能够解决上述所提出的问题。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种直拉式硅芯拉制炉，以解决
技术介绍
中所提到的问题，克服现有技术中存在的不足。
3、(二)技术方案
4、为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：
5、一种直拉式硅芯拉制炉，包括炉筒和副室炉筒，所述炉筒的上方安装有炉盖，二者组成主室，所述副室炉筒的下方安装有阀仓，二者组成副室，
6、作为上述技术方案的进一步描述：
7、所述主室和副室的外部均安装有氩气管，所述主室的外部通过管道安装有主室真空泵，所述副室的外部通过管道安装有副室真空泵。
8、作为上述技术方案的进一步描述：
9、所述炉筒的下方安装有两个电极座，其与加热器的正负极电性连接。
10、作为上述技术方案的进一步描述：
11、所述炉筒下方的中心处安装有转台，所述石英坩埚安装于转台的上方。
12、作为上述技术方案的进一步描述：
13、所述副室炉筒的上方安装有提拉头电机，其输出端安装有减速器，所述卷轮装置安装于减速器的输出端。
14、作为上述技术方案的进一步描述：
15、所述多齿轮组机构由一个动力齿轮、多个重锤安装齿轮和调向齿轮组成，多个所述重锤安装齿轮和调向齿轮围成圆形，且一一交替布置，相邻的二者之间啮合，首尾之间不啮合，所述动力齿轮与首位重锤安装齿轮啮合。
16、作为上述技术方案的进一步描述：
17、所述阀仓的内部安装有隔离阀。
18、作为上述技术方案的进一步描述：
19、所述副室炉筒的内部安装有线圈轮和齿轮驱动电机，二者共线，且前者在上、后者在下，所述齿轮驱动电机的输出端与动力齿轮安装在一起，齿轮驱动电机上的电线收卷于线圈轮的外部。
20、(三)有益效果
21、由于采用了上述技术方案，本申请的有益效果是：
22、1、该直拉式硅芯拉制炉，采用直拉法，并使用多齿轮组机构，在多齿轮组机构的内部安装有不少于四十个重锤安装齿轮，其转向均相同，通过多个重锤可一次性拉制不少于四十根硅芯，去除了粘棒、切割硅芯、脱胶清洗、磨锥打孔、4个工序，节省了人员、辅材、水电和设备的支出成本，起到了降本增效的作用。
23、2、该直拉式硅芯拉制炉，使用伺服电机作为动力源，其可恒功率输出，不会对硅芯的拉制造成影响，并且，提拉头下的牵引绳是钨丝软轴，软轴是由多层钨丝分层缠绕而成，每层都缠绕成螺旋弹簧状，并由若干根直径相同的钨丝嵌套组成，用于工作时彼此要求有相对运动的空间传动，相对于刚性轴来说就是能弯曲，使得机械传动简单可靠。
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1.一种直拉式硅芯拉制炉，其特征在于：包括炉筒(1)和副室炉筒(5)，所述炉筒(1)的上方安装有炉盖(2)，二者组成主室，所述副室炉筒(5)的下方安装有阀仓(6)，二者组成副室，且其位于主室上方，所述炉筒(1)内部的中心处转动安装有石英坩埚(17)，炉筒(1)的内壁安装加热器(15)，炉筒(1)内部的上方安装有水冷屏(28)和导流筒(29)，前者在上、后者在下，且均位于石英坩埚(17)的上方，所述副室炉筒(5)的上方转动安装有卷轮装置(4)，其轮上缠绕有软轴钨丝绳(7)，所述软轴钨丝绳(7)的活动端安装有多齿轮组机构(10)，其可上下往复运动，所述多齿轮组机构(10)的下方转动安装有多个重锤(11)，多个所述重锤(11)的下方均安装有籽晶(12)，多个重锤(11)的转动方向相同，且与石英坩埚(17)的转动方向相反。
2.根据权利要求1所述的一种直拉式硅芯拉制炉，其特征在于：所述主室和副室的外部均安装有氩气管(26)，所述主室的外部通过管道安装有主室真空泵(18)，所述副室的外部通过管道安装有副室真空泵(19)。
3.根据权利要求1所述的一种直拉式硅芯拉制炉
4.根据权利要求1所述的一种直拉式硅芯拉制炉，其特征在于：所述炉筒(1)下方的中心处安装有转台(25)，所述石英坩埚(17)安装于转台(25)的上方。
5.根据权利要求1所述的一种直拉式硅芯拉制炉，其特征在于：所述副室炉筒(5)的上方安装有提拉头电机(3)，其输出端安装有减速器，所述卷轮装置(4)安装于减速器的输出端。
6.根据权利要求1所述的一种直拉式硅芯拉制炉，其特征在于：所述多齿轮组机构(10)由一个动力齿轮(20)、多个重锤安装齿轮(21)和调向齿轮(22)组成，多个所述重锤安装齿轮(21)和调向齿轮(22)围成圆形，且一一交替布置，相邻的二者之间啮合，首尾之间不啮合，所述动力齿轮(20)与首位重锤安装齿轮(21)啮合。
7.根据权利要求1所述的一种直拉式硅芯拉制炉，其特征在于：所述阀仓(6)的内部安装有隔离阀(13)。
8.根据权利要求1所述的一种直拉式硅芯拉制炉，其特征在于：所述副室炉筒(5)的内部安装有线圈轮(8)和齿轮驱动电机(27)，二者共线，且前者在上、后者在下，所述齿轮驱动电机(27)的输出端与动力齿轮(20)安装在一起，齿轮驱动电机(27)上的电线收卷于线圈轮(8)的外部。
...【技术特征摘要】
1.一种直拉式硅芯拉制炉，其特征在于：包括炉筒(1)和副室炉筒(5)，所述炉筒(1)的上方安装有炉盖(2)，二者组成主室，所述副室炉筒(5)的下方安装有阀仓(6)，二者组成副室，且其位于主室上方，所述炉筒(1)内部的中心处转动安装有石英坩埚(17)，炉筒(1)的内壁安装加热器(15)，炉筒(1)内部的上方安装有水冷屏(28)和导流筒(29)，前者在上、后者在下，且均位于石英坩埚(17)的上方，所述副室炉筒(5)的上方转动安装有卷轮装置(4)，其轮上缠绕有软轴钨丝绳(7)，所述软轴钨丝绳(7)的活动端安装有多齿轮组机构(10)，其可上下往复运动，所述多齿轮组机构(10)的下方转动安装有多个重锤(11)，多个所述重锤(11)的下方均安装有籽晶(12)，多个重锤(11)的转动方向相同，且与石英坩埚(17)的转动方向相反。
2.根据权利要求1所述的一种直拉式硅芯拉制炉，其特征在于：所述主室和副室的外部均安装有氩气管(26)，所述主室的外部通过管道安装有主室真空泵(18)，所述副室的外部通过管道安装有副室真空泵(19)。
3.根据权利要求1所述的一种直拉式硅芯拉制炉，其特征在于：所述炉筒(1)的下方安装有两个电极座(16)，其与加热器(15)的正负极电...
【专利技术属性】
技术研发人员：李帅，刘小明，雍定利，吴海啸，汪万贵，高万里，邢瑞栋，
申请(专利权)人：宁夏和光新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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