一种退火腔体转子提取工具制造技术

本技术提供一种退火腔体转子提取工具，包括：提升结构及夹持结构，提升结构包括多个支撑脚、提升框架以及升降机构，多个支撑脚环绕退火腔体转子外围，提升框架固定于多个支撑脚上方，升降机构固定于提升框架上，升降机构包括升降机构主体以及设置于升降机构主体上的挂钩以及手柄，手柄用于控制挂钩升降；夹持结构包括多个锁紧件、固定框架以及挂环，锁紧件固定于固定框架上，挂环与固定框架连接，锁紧件通过退火腔体转子上的卡固孔锁紧退火腔体转子，挂钩用于钩取挂环以实现退火腔体转子的提取。本技术的退火腔体转子提取工具实现了对退火腔体转子的简便提取，提升了生产维修效率，避免了对退火腔体转子产生损伤。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及退火腔体转子提取，特别是涉及一种退火腔体转子提取工具。

技术介绍

1、常用的退火腔体(vulcan chamber)与辐射/加大辐射腔体(radiance/radianceplus chamber)的腔体尺寸的不同，则其相对应的转子(rotor)的尺寸也不同，如图1所示，为辐射/加大辐射腔体转子1的结构示意图，包括辐射腔体转子主体011以及辐射孔012，其转子的直径为43cm，重量约为5kg，如图2所示，为退火腔体转子02的结构示意图，包括退火腔体转子主体021以及卡固孔022，退火腔体转子为18寸平台改12寸的尺寸，其重量约为8kg，直径为55cm，重量及尺寸均大于辐射/加大辐射腔体转子，在预防性维护(pm)和生产维修的过程中，需要将退火腔体转子从退火腔中提取出来，目前业界对提取退火腔体转子所使用的提取工具都比较简陋，且需要耗费大量的时间及精力，如图3所示，为提取工具提取退火腔体转子的结构示意图，包括退火腔体转子02以及提取工具03，但是在提取过程中，退火腔体转子与退火腔体之间的缝隙很小，且退火腔体转子本身的体积也偏大，重量偏重，仅通过传统的两本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种退火腔体转子提取工具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的退火腔体转子提取工具，其特征在于：所述支撑脚的高度大于所述退火腔体转子的高度。

3.根据权利要求1所述的退火腔体转子提取工具，其特征在于：所述提升框架所在平面的尺寸大于所述退火腔体转子的尺寸。

4.根据权利要求1所述的退火腔体转子提取工具，其特征在于：所述升降机构位于所述提升框架的中心位置处。

5.根据权利要求1-4任一项所述的退火腔体转子提取工具，其特征在于：所述升降机构主体中设置有相互连接的升降部以及转动部。

6.根据权利要求5所述的退火腔体转子提取工...

【技术特征摘要】

1.一种退火腔体转子提取工具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的退火腔体转子提取工具，其特征在于：所述支撑脚的高度大于所述退火腔体转子的高度。

3.根据权利要求1所述的退火腔体转子提取工具，其特征在于：所述提升框架所在平面的尺寸大于所述退火腔体转子的尺寸。

4.根据权利要求1所述的退火腔体转子提取工具，其特征在于：所述升降机构位于所述提升框架的中心位置处。

5.根据权利要求1-4任一项所述的退火腔体转子提取工具，其特征在于：所述升降机构主体中设置有相互连接的升降部以及转动部。

6.根据权利要求5所述的退火腔体转子提取工具，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：于旭东，叶致峰，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：