物理量传感器以及惯性测量装置制造方法及图纸

物理量传感器以及惯性测量装置，能够避免与质量分布的不均相伴的不良情况。物理量传感器(1)包括固定部(40)、支承梁(42)、可动体(MB)、第一固定电极组(10)和第二固定电极组(50)。支承梁的一端与固定部(40)连接，支承梁沿着第二方向(DR2)设置。可动体与支承梁的另一端连接。第一固定电极组和第二固定电极组设置于基板。可动体具有第一连结部(30)、第一基部(23)、第一可动电极组(20)、第二连结部(70)、第二基部(63)、第二可动电极组(60)和质量部(MP)。第一连结部与支承梁的另一端连接，第一基部与第一连结部连接。第二连结部与支承梁的另一端连接，第二基部与第二连结部连接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及物理量传感器以及惯性测量装置等。

技术介绍

1、在专利文献1中，公开了一种对z方向的加速度进行检测的物理量传感器。在该物理量传感器中公开了：多个第一电极的1个沿着第一方向的第一电极的长度比第一导电部的沿着第一方向的第一导电部的长度短。并且，在该物理量传感器中公开了：多个第二电极中的1个沿着第一方向的第二电极的长度比第二导电部的沿着第一方向的第二导电部的长度短。

2、专利文献1：日本特开2021-032819号公报

技术实现思路

1、在专利文献1所公开的物理量传感器中，当向不是作为检测对象的z轴方向的梳齿电极长度方向施加加速度时，会产生与向检测轴方向施加加速度时相同的跷跷板动作，从而存在其他轴灵敏度增加的不良情况。

2、本公开的一个方式是一种物理量传感器，在设相互正交的3个方向为第一方向、第二方向以及第三方向时，所述物理量传感器检测所述第三方向上的物理量，所述物理量传感器包括：固定部，其被固定于基板；支承梁，其一端与所述固定部连接，所述支承梁沿着所述第二方向设置；可动体，其本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种物理量传感器，在设相互正交的3个方向为第一方向、第二方向以及第三方向时，所述物理量传感器对所述第三方向上的物理量进行检测，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

6.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

7.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

>8.根据权利要求6...

【技术特征摘要】

1.一种物理量传感器，在设相互正交的3个方向为第一方向、第二方向以及第三方向时，所述物理量传感器对所述第三方向上的物理量进行检测，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

6.根据权利要求1至3中...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：

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