面向UUV的MEMS矢量尾流探测器制造技术

本发明专利技术为一种面向UUV的MEMS矢量尾流探测器，包括流线型仿鱼侧线封装帽、扇面纤毛‑十字梁敏感微结构、中间连接体、保护壳体、微弱信号放大电路板、线缆密封塞、水密连接线缆、紧固螺母帽；流线型仿鱼侧线封装帽与中间连接体固定连接并将扇面纤毛‑十字梁敏感微结构罩设其中；扇面纤毛‑十字梁敏感微结构经引线键合后与微弱信号放大电路板连接并放置在保护壳体中；水密连接线缆通过线缆密封塞安装到保护壳体中并与微弱信号放大电路板连接，最后使用紧固螺母帽固定。本发明专利技术中流线型仿鱼侧线封装帽侧面的四个导流小孔正交布置与敏感微结构的十字梁一一对齐，具备矢量性；同时探测器还具有灵敏度高，尺寸小，功耗低，应用场景灵活等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于水下无人航行器（uuv）的螺旋桨尾流探测，特别涉及相应传感器及其封装结构，具体是一种面向uuv的mems矢量尾流探测器。

技术介绍

1、近年来，随着新能源等各项新兴科学技术的发展，对海洋工程和海洋军事的发展需求也变得日益强烈。对海洋的开发和利用的前提是认识海洋，认识海洋就必须对海洋进行调查研究。

2、水下无人航行器( unmanned underwater vehicle，uuv) 是执行水下勘探侦察、海洋工程、水下作业及水下作战等任务，具有一定智能的水下自航行载体。

3、uuv 、鱼雷等装备通常应用声学和光学系统作为信息交互的窗口，进行水下信息感知。然而，现有的声学和光学探测系统由于易受水下环境干扰因素影响，使其难以为水下无人集群提供精确的近场感知信息，也成为制约水下无人集群发展的技术瓶颈，因此探索水下新型探测技术十分必要。

4、随着各国对uuv相关技术的发展基于高度重视，所设计研发的uuv运行噪音逐渐降低，隐身性能得到极大改善，以最大限度地减少敌人的侦测。常规的传感系统面临着失效问题，而水下物体运动产生本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种面向UUV的MEMS矢量尾流探测器，其特征在于：包括由上而下依次连接的流线型仿鱼侧线封装帽、中间连接体、保护壳体，紧固螺母帽及水密连接线缆；

2.根据权利要求1所述的面向UUV的MEMS矢量尾流探测器，其特征在于：扇面纤毛包括四块长方形扇片，每块长方形扇片的内侧长边沿纤毛柱体长度方向设置且与之固定连接，相邻两块长方形扇片之间的夹角为90°，四块长方形扇片与十字梁的四根梁上下对齐设置，四块长方形扇片分别与四个侧线通孔对齐设置。

3.根据权利要求2所述的面向UUV的MEMS矢量尾流探测器，其特征在于：扇面纤毛-十字梁敏感微结构先使用硅烷偶联剂和等离子体的稀异丙...

【技术特征摘要】

1.一种面向uuv的mems矢量尾流探测器，其特征在于：包括由上而下依次连接的流线型仿鱼侧线封装帽、中间连接体、保护壳体，紧固螺母帽及水密连接线缆；

2.根据权利要求1所述的面向uuv的mems矢量尾流探测器，其特征在于：扇面纤毛包括四块长方形扇片，每块长方形扇片的内侧长边沿纤毛柱体长度方向设置且与之固定连接，相邻两块长方形扇片之间的夹角为90°，四块长方形扇片与十字梁的四根梁上下对齐设置，四块长方形扇片分别与四个侧线通孔对齐设置。

3.根据权利要求2所述的面向uuv的mems矢量尾流探测器，其特征在于：扇面纤毛-十字梁敏感微结构先使用硅烷偶联剂和等离子体的稀异丙醇水溶液进行硅烷化处理，然后通过化学气相沉积在其表面涂覆parylene 防水薄膜，厚度为8微米。

4.根据权利要求2或3所述的面向uuv的mems矢量尾流探测器，其特征在于：纤毛柱体及扇面纤毛采用光敏树脂3d打印而成。

5.根据权利要求1所述的面向uuv的mems矢量尾流探测器，其特征在于：水密连接线缆上与微弱信号放大电路板连接的一端套装有线缆密封塞，线缆密封塞塞装在保护壳体底端的缩径段内，并通过紧固螺母帽夹紧固定。

6.根据权利要求1所述的面向uuv的mems矢量尾流探测器，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王任鑫，张文栋，孔祥正，张鹏，刘国昌，张国军，杨玉华，何常德，崔建功，贾利成，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：