【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆检测，特别涉及一种塔轮式物镜切换器及塔轮式物镜。
技术介绍
1、晶圆是制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原料是硅。将高纯度的多晶硅制作成硅晶棒，再将硅晶棒研磨及抛光，在切片后便形成了硅晶圆片，也就是晶圆。而晶圆是制作集成电路芯片的重要件。集成电路芯片的检测根据工艺所处的环节可以分为设计验证、前道量检测和后道检测等。前道量检测运用于晶圆的加工制造过程，它是一种物理性、功能性的测试。该方式用以检测每一步工艺完成后的产品的参数是否达到了设计要求，并且查看晶圆表面是否存在影响良品率的缺陷，确保将加工产线的良品率控制在规定的水平之上。而前道梁检测的前制程暗场检测设备是晶圆制造中的重要装备。在晶圆高精度纳米级的晶圆缺陷检测设备中，需要同时用到多个高数值孔径物镜相互切换。这些高数值孔径物镜都很短，现有技术有将物镜与鼻轮式切换器配合使用，由于现有技术鼻轮式切换器结构会不可避免的出现光学路径干涉的问题。现有技术也有将物镜与线性切换器配合使用，而线性切换器采用的是直线电机，直线电机在停止时会产生微小抖动，会导致镜头出现虚像的问题。即，鼻轮式切换器与线性切换器均会产生干涉的问题。
2、因此，提供一种塔轮式物镜切换器及塔轮式物镜，用于解决上述技术问题，是非常有必要的。
技术实现思路
1、本专利技术实施例提供一种塔轮式物镜切换器及塔轮式物镜，能解决相关技术中的鼻轮式切换器结构会不可避免的出现光学路径干涉，线性切换器会发生抖动导致镜头位置出现干涉的问题。
2、一方面，本
3、包括腔壳、粗定位件、精定位件及转接板，所述腔壳设有腔壳一及腔壳二；所述粗定位件包括粗定位固定件，所述粗定位固定件上活动连接有粗定位伸缩件，所述粗定位伸缩件上固定连接有粗定位转动件；所述精定位件包括精定位固定件，所述精定位固定件与腔壳二连接，所述精定位固定件上转动连接有精定位转动件，所述精定位固定件与所述精定位转动件之间设有定点件，所述精定位转动件一端与所述粗定位转动件连接；所述转接板一侧与所述粗定位固定件及腔壳一连接，另一侧与所述精定位件固定件连接。
4、进一步地，所述粗定位固定件包括转接板，所述转接板一侧与所述精定位固定件连接，另一侧与所述腔壳固定连接；
5、所述粗定位固定件包括粗定位固定板，所述粗定位固定板一侧与所述转接板连接，所述粗定位固定板另一侧设有两个相对布置的导向柱；
6、所述粗定位伸缩件包括粗定位移动板，所述粗定位移动板上设有两个相对布置的导向柱套，所述导向柱套套设在所述导向柱上，并在所述导向柱上做往返运动。
7、进一步地，所述粗定位移动板上固定有相对布置的伸缩驱动件，所述伸缩驱动件的驱动端穿设于所述粗定位移动板并与所述粗定位固定板抵接。
8、进一步地，所述粗定位转动件固定设于所述所述粗定位移动板中部。
9、进一步地，所述精定位固定件包括精定位固定板及精定位轴承，所述精定位固定板与所述精定位轴承之间通过弹簧组连接。
10、进一步地，所述精定位转动件包括塔轮固定板，所述塔轮固定板与所述精定位固定板接触连接，所述塔轮固定板中部固定有拉杆，所述拉杆穿过所述精定位固定板后与所述精定位轴承转动连接，所述拉杆一端与所述粗定位转动件连接。
11、进一步地，所述定点件包括定点标记槽及限位件，所述定点标记槽设于所述精定位固定板上，所述限位件设于所述塔轮固定板，所述限位件的运行轨迹中至少有一点与所述定点标记槽对应；
12、所述定点标记槽为v形槽、方形槽及半圆形槽中的至少一种，所述限位件为锥体、平块及钢球中相对应的一种；
13、所述定点件还包括初始化传感器及感应块，所述初始化传感器设于所述精定位固定板上，所述感应块设于所述塔轮固定板上，所述感应块的运行轨迹至少有一点与所述初始化传感器重合。
14、进一步地，所述粗定位转动件与所述精定位转动件之间设有防脱母槽。
15、进一步地，所述腔壳的腔壳一及腔壳二均设有真空接头，通过所述真空接头对所述腔壳一及腔壳二的内部抽真空。
16、一方面，提供一种塔轮式物镜切换器的塔轮式物镜，包括上述任意一项所述的塔轮式物镜切换器，包括塔轮式物镜，所述塔轮式物镜包括塔轮，所述塔轮上设置至少一个物镜，所述物镜与所述塔轮连接处设有微调件，所述微调件用于调整所述物镜的位置；
17、所述塔轮式物镜通过所述塔轮连接于所述精定位转动件的一端。
18、本专利技术提供的技术方案带来的有益效果包括：
19、通过粗定位固定件上的粗定位伸缩件推动粗定位转动件，再通过粗定位转动件带动精定位转动件转动，在到达合适的位置后粗定位转动件停止转动，粗定位伸缩件缩回，通过定点件对最终位置进行精确定点，且不会发生抖动，同时，塔轮式物镜为竖直切换方式，克服了现有技术中鼻轮式切换器出现光学路径干涉，线性切换器的结构会出现微小抖动导致物镜在切换后出现虚像的干涉问题。
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1.一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述粗定位固定件（5）包括转接板（12），所述转接板（12）一侧与所述精定位固定件（8）连接，另一侧与所述腔壳（1）固定连接；
3.如权利要求2所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述粗定位移动板（14）上固定有相对布置的伸缩驱动件（16），所述伸缩驱动件（16）的驱动端穿设于所述粗定位移动板（14）并与所述粗定位固定板（11）抵接。
4.如权利要求2所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述粗定位转动件（7）固定设于所述所述粗定位移动板（14）中部。
5.如权利要求1所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述精定位固定件（8）包括精定位固定板（17）及精定位轴承（18），所述精定位固定板（17）与所述精定位轴承（18）之间通过弹簧组（19）连接。
6.如权利要求5所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述精定位转动件（9）包括塔轮固定板（20），所述塔轮固定板（20）与所述精定位固定板（17）接触连接，所述塔
7.如权利要求6所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述定点件（10）包括定点标记槽（22）及限位件（23），所述定点标记槽（22）设于所述精定位固定板（17）上，所述限位件（23）设于所述塔轮固定板（20），所述限位件（23）的运行轨迹中至少有一点与所述定点标记槽（22）对应；
8.如权利要求1所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述粗定位转动件（7）与所述精定位转动件（9）之间设有防脱母槽（26）。
9.如权利要求1所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述腔壳（1）的腔壳一及腔壳二均设有真空接头（30），通过所述真空接头（30）对所述腔壳一及腔壳二的内部抽真空。
10.一种塔轮式物镜切换器的塔轮式物镜，包括权利要求1至9任意一项所述的塔轮式物镜切换器，其特征在于，包括塔轮式物镜（4），所述塔轮式物镜（4）包括塔轮（27），所述塔轮（27）上设置至少一个物镜（28），所述物镜（28）与所述塔轮（27）连接处设有微调件（29），所述微调件（29）用于调整所述物镜（28）的位置；
...【技术特征摘要】
1.一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述粗定位固定件（5）包括转接板（12），所述转接板（12）一侧与所述精定位固定件（8）连接，另一侧与所述腔壳（1）固定连接；
3.如权利要求2所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述粗定位移动板（14）上固定有相对布置的伸缩驱动件（16），所述伸缩驱动件（16）的驱动端穿设于所述粗定位移动板（14）并与所述粗定位固定板（11）抵接。
4.如权利要求2所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述粗定位转动件（7）固定设于所述所述粗定位移动板（14）中部。
5.如权利要求1所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述精定位固定件（8）包括精定位固定板（17）及精定位轴承（18），所述精定位固定板（17）与所述精定位轴承（18）之间通过弹簧组（19）连接。
6.如权利要求5所述的一种塔轮式物镜切换器，其特征在于，所述精定位转动件（9）包括塔轮固定板（20），所述塔轮固定板（20）与所述精定位固定板（17）接触连接，所述塔轮固定板（20）中部固定有拉杆（21），所述拉杆（21）穿过所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭建华，王建存，李波，
申请(专利权)人：武汉中导光电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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