【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压力传感器，尤其涉及一种电阻式压力传感器及其制备方法。
技术介绍
1、随着物联网、生物医疗、人工智能等新兴领域的发展，具有柔性、可折叠、可穿戴等特点的柔性传感器逐渐表现出极大的应用价值。柔性压力传感器是柔性传感器的重要组成部分。其中，柔性压阻型传感器因制备简单、能耗小、抗干扰能力强且对静态力敏感等优势而被广泛关注与研究。
2、界面接触模型是一种新型柔性压阻传感模型，接触电阻与界面参数的关系为：r∝(ρ/f)·k，其中ρ是接触表面的电阻率，f为施加到表面的压力，k为表面粗糙度与弹性的函数。通过调控压阻层的电导率、表面粗糙度、弹性等性质可以优化压力传感器在压力载荷下的接触电阻变化，即压敏性能。
3、现有的接触式压阻传感器多从可变形的结构设计角度对器件进行性能优化。如使用物理化学手段在弹性体表面制备特殊的表面结构，但这类表面微结构变形易饱和，使得该类压阻传感器的检测范围一般较窄。或将三维海绵与导电材料(碳基材料、金属纳米材料及导电聚合物等)通过混合或涂覆的形式结合，但该复合方式下，导电材料的电学性能稳定性...
【技术保护点】
1.电阻式压力传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电阻式压力传感器，其特征在于，相邻两个微结构共面电极之间的间距为50μm-1mm。
3.根据权利要求1所述的电阻式压力传感器，其特征在于，第一可调本征特性导电涂层、第二可调本征特性导电涂层均包括导电聚合物材料。
4.根据权利要求3所述的电阻式压力传感器，其特征在于，导电聚合物材料为聚吡咯或聚苯胺或聚乙撑二氧噻吩。
5.根据权利要求1所述的电阻式压力传感器，其特征在于，弹性体基底为平面状或微纳结构状或多孔结构状。
6.电阻式压力传感器的制备方法，...
【技术特征摘要】
1.电阻式压力传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电阻式压力传感器，其特征在于，相邻两个微结构共面电极之间的间距为50μm-1mm。
3.根据权利要求1所述的电阻式压力传感器，其特征在于，第一可调本征特性导电涂层、第二可调本征特性导电涂层均包括导电聚合物材料。
4.根据权利要求3所述的电阻式压力传感器，其特征在于，导电聚合物材料为聚吡咯或聚苯胺或聚乙撑二氧噻吩。
5.根据权利要求1所述的电阻式压力传感器，其特征在于，弹性体基底为平面状或微纳结构状或多孔结构状。
6.电阻式压力传感器的制备方法，用于制备如权利要求1-5任一项所述的电阻式压力传感器，其特征在于，制备方法包括以...
【专利技术属性】
技术研发人员：田玉玉，张凯，钟卫洲，吴菊英，何韧，许文聪，李建，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院总体工程研究所，
类型：发明
国别省市：
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