【技术实现步骤摘要】
面板沉积装置的门机构及面板沉积装置
[0001]本技术涉及显示设备加工
，尤其涉及一种面板沉积装置的门机构，及包括此门机构的面板沉积装置
。
技术介绍
[0002]如图1至图3，现有的面板沉积装置包括输入腔室1＇
、
分配腔室2＇和多个处理腔室3＇，输入腔室1＇和多个处理腔室3＇分别环绕设置在所述分配腔室2＇的外周部，分配腔室2＇和处理腔室3＇均为真空，面板进入输入腔室1＇后，需要先对输入腔室1＇抽真空，然后再将面板输入分配腔室2＇中，再由分配腔室2＇进入送入处理腔室3＇内进行沉积处理
。
处理腔室3＇内部设置有射频电源，在射频电源的作用下使镀膜工艺气体激发成为等离子体，以在面板的表面形成沉积膜
。
[0003]分配腔室2＇和每个处理腔室3＇均具有用于输送面板的开口5＇，处理腔室3＇的开口5＇与分配腔室2＇的开口5＇正对，分配腔室2＇与处理腔室3＇之间设置有门机构4＇，门机构4＇能够封堵分配腔室2＇和处理腔室3＇相对应的两个开口5＇
。
门机构4＇...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种面板沉积装置的门机构，设置在分配腔室与处理腔室之间，所述面板沉积装置的门机构包括第一门板
、
第二门板和与接地组件，所述第一门板与所述第二门板间隔且平行设置，所述第一门板朝向所述分配腔室，所述第二门板朝向处理腔室，所述第一门板与所述第二门板能够相互靠近或远离，以选择性封堵所述分配腔室和所述处理腔室上相对应的两个开口，所述接地组件连接在所述第一门板与所述第二门板之间，其特征在于，所述接地组件包括导电支架
、
导电辊轮
、
驱动件和与地导通的柔性导电件，所述导电支架连接在所述第一门板和所述第二门板中的其中一者上，所述导电辊轮转动设置在所述导电支架上，所述导电辊轮的轴线与所述第一门板平行，所述柔性导电件的一端与所述导电辊轮的外周侧连接，另一端与所述第一门板和第二门板中的另一者连接，所述驱动件与所述导电辊轮连接，所述驱动件用于驱动所述导电辊轮绕自身轴线转动以收卷所述柔性导电件
。2.
根据权利要求1所述的面板沉积装置的门机构，其特征在于，所述导电支架包括固定板和固定杆，所述固定杆与所述第一门板平行，所述导电辊轮可转动套设在所述固定杆的外周，当所述导电支架固定在所述第一门板时，所述固定杆通过所述固定板与所述第一门板连接，当所述导电支架固定在所述第二门板时，所述固定杆通过所述固定板与所述第二门板连接
。3.
根据权利要求2所述的面板沉积装置的门机构，其特征在于，所述驱动件为弹性发条，所述弹性发条的一端与所述固定杆连接，另一端与所述导电辊轮的内侧壁连接，所述弹性发条为导电体，所述弹性发条始终具有驱使所述导电辊轮收卷所述柔性导电件的趋势
。4.
根据权利要求2所述的面板沉积装置的门机构，其特征在于，所述固定杆通过第一连接件与所述固定板可拆卸连接，当所述导电支架固定在所述第一门板时，所述柔性导电件远离所述固定杆的一端通...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄章华，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：
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