【技术实现步骤摘要】
一种合成石英玻璃的系统
[0001]本技术涉及石英玻璃，具体涉及一种合成石英玻璃的系统
。
技术介绍
[0002]石英玻璃是由单一组分二氧化硅组成的非晶态材料，是特种工业技术玻璃，具有耐高温
、
膨胀系数低
、
耐热震性
、
化学稳定性和电绝缘性能良好等特点，并能透过紫外线和红外线，用于制作半导体
、
电光源器
、
半导体通信装置
、
激光器，光学仪器等工业，应用十分广泛
。
近年来，由于不同领域的特殊需求，出现了对石英玻璃进行掺杂的工艺
。
在石英玻璃的基础组成成分二氧化硅中掺杂不同种类的稀土或金属元素，可以改变石英玻璃在膨胀系数
、
强度
、
稳定性
、
透光率
、
耐辐照等方面的特性
。
在石英玻璃中掺杂二氧化钛可降低其膨胀系数，低膨胀石英玻璃被广泛应用于光电
、
半导体
、>航空航天等领域
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种合成石英玻璃的系统，其特征在于，包括沉淀装置和烧结装置；所述沉淀装置包括：原料供应器
、
燃烧器和沉积腔体
(7)
；所述原料供应器包括：第一原料罐
(16)、
第二原料罐
(17)
和预混原料罐
(20)
；所述第一原料罐
(16)
和所述第二原料罐
(17)
分别与所述预混原料罐
(20)
连通，用于将两种原料混合；所述混合原料罐与所述燃烧器一端连通，所述燃烧器另一端与所述沉积腔体
(7)
连接，用于将混合原料制成掺钛松散体
(4)
；所述烧结装置包括；炉芯管
(15)、
气体探测器和加热器
(10)
；所述气体探测器安装于所述炉芯管
(15)
上；所述加热器
(10)
安装于所述炉芯管
(15)
四周；所述掺钛松散体
(4)
放置于所述炉芯管
(15)
内
。2.
根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述原料供应器还包括原料
MFC(18)
和管路
(19)
；所述第一原料罐
(16)
和所述第二原料罐
(17)
通过所述管路
(19)
与所述预混原料罐
(20)
连通；所述原料
MFC(18)
设置于所述管路
(19)
上
。3.
根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述燃烧器包括第一燃烧器
(1)
和第二燃烧器
(2)
；所述第一燃烧器
(1)
和所述第二燃烧器
(2)
设置于所述沉积腔体
(7)
同侧；所述第一燃烧器
(1)
与所述预混原料罐
(20)
连通
。4.
根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴龙波，肖华，李建均，钟媛，刘宝，
申请(专利权)人：江苏亨芯石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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