一种钛丝盘退火炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种钛丝盘退火炉，属于退火炉技术领域，该钛丝盘退火炉包括：退火炉本体；固定座，固定连接于退火炉本体的上端；去灰机构，去灰机构包括；过滤盒，固定连接于固定座的上端；透水盒，固定连接于过滤盒的上端；两个滤板，固定连接于透水盒的下端；壳盖，固定连接于透水盒的上端；进水管，固定连接于壳盖的上端；导风管，固定连接于过滤盒的一侧端；本设在使用退火炉本体后，通过运行抽风设备可将退火炉本体内灰尘通过导风管导入过滤盒内，通过对进水管内导入水，从而可使得水通过透水盒均匀的落在滤板表面，再通过排水管导出，从而达到对细小颗粒进行收集，减少了设备内细小颗粒对工作人员呼吸安全造成影响

【技术实现步骤摘要】
一种钛丝盘退火炉


[0001]本技术属于退火炉
，具体涉及一种钛丝盘退火炉
。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能
。
热处理是针对不同的效果而设计的
。
可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底
。
[0003]授权公开号“CN 105444571 A”记载了“一种真空退火炉，包括炉管和套于炉管内的石英管，所炉管的前后两端分别设有前端盖和后端盖，石英管外壁与炉管内壁之间形成加热腔，石英管与前端盖和后端盖之间形成反应腔，后端盖上装设有伸入至反应腔内并延伸至前端盖附近的管内气冷吹扫组件，炉管上装设有与加热腔连通的管外气冷吹扫组件
。
该真空退火炉具有布局简单紧凑
、
使用环保
、
可大大提高降温速率的优点”[0004]上述专利可以有效的显著出提高降温速度的效果，但现有技术中在进行使用退火炉本体后，退火炉本体内有大量气味和细小颗粒，从而对工作环境造成影响，并对工作人员造成呼吸健康造成影响的问题
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种钛丝盘退火炉，旨在解决现有技术中的在进行使用退火炉本体后，退火炉本体内有大量气味和细小颗粒，从而对工作环境造成影响，并对工作人员造成呼吸健康造成影响的问题
。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种钛丝盘退火炉，包括：
[0008]退火炉本体；
[0009]固定座，固定连接于所述退火炉本体的上端；
[0010]去灰机构，所述去灰机构包括；
[0011]过滤盒，固定连接于所述固定座的上端；
[0012]透水盒，固定连接于所述过滤盒的上端；
[0013]两个滤板，固定连接于所述透水盒的下端；
[0014]壳盖，固定连接于所述透水盒的上端；
[0015]进水管，固定连接于所述壳盖的上端；
[0016]导风管，固定连接于所述过滤盒的一侧端；
[0017]抽风设备，固定连接于所述导风管的圆周表面；以及
[0018]排水管，固定连接于所述过滤盒的下端
。
[0019]作为本技术一种优选的方案，所述退火炉本体的一侧端固定连接有连接板，所述连接板的一侧端固定连接有监视设备
。
[0020]作为本技术一种优选的方案，所述退火炉本体的下端固定连接有滑道，所述滑道的上端滑动连接有移动座
。
[0021]作为本技术一种优选的方案，所述移动座的上端固定连接有连接框，所述退火炉本体的一侧端固定连接有两个滑行杆，所述连接框的上端固定连接有固定板，所述固定板的上端固定连接有放置座
。
[0022]作为本技术一种优选的方案，所述退火炉本体的一侧端固定连接有配合座，所述连接框的一侧端固定连接有压板
。
[0023]作为本技术一种优选的方案，所述退火炉本体的一侧端固定连接有固定块，所述固定块的一侧端固定连接有梯子
。
[0024]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0025]1、
本方案，在使用退火炉本体后，通过运行抽风设备可将退火炉本体内灰尘通过导风管导入过滤盒内，通过对进水管内导入水，从而可使得水通过透水盒均匀的落在滤板表面，从而达到对细小颗粒进行收集，减少了设备内细小颗粒对工作人员呼吸安全造成影响的效果
。
[0026]2、
本方案，通过设置在固定板上的压板，通过与配合座配合，从而可将退火炉本体内封闭的效果，通过设置在连接板一侧的监视设备，设备在运行时可进行观察的效果，通过设置在退火炉本体下的滑道，可使得移动座进行滑动的效果
。
附图说明
[0027]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制
。
在附图中：
[0028]图1为本技术第一视角立体图；
[0029]图2为本技术爆炸图；
[0030]图3为本技术图2中过滤盒的爆炸图；
[0031]图4为本技术第二视角立体图
。
[0032]图中：
1、
退火炉本体；
2、
压板；
3、
移动座；
4、
过滤盒；
5、
连接板；
6、
监视设备；
7、
配合座；
8、
放置座；
9、
固定板；
10、
滑行杆；
11、
连接框；
12、
滑道；
13、
导风管；
14、
进水管；
15、
壳盖；
16、
透水盒；
17、
滤板；
18、
抽风设备；
19、
排水管；
20、
固定座；
21、
固定块；
22、
梯子
。
具体实施方式
[0033]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0034]实施例1[0035]请参阅图1‑
图4，本技术提供以下技术方案：
[0036]一种钛丝盘退火炉，包括：
[0037]退火炉本体1；
[0038]固定座
20
，固定连接于退火炉本体1的上端；
[0039]去灰机构，去灰机构包括；
[0040]过滤盒4，固定连接于固定座
20
的上端；
[0041]透水盒
16
，固定连接于过滤盒4的上端；
[0042]两个滤板
17
，固定连接于透水盒
16
的下端；
[0043]壳盖
15
，固定连接于透水盒
16
的上端；
[0044]进水管
14
，固定连接于壳盖
15
的上端；
[0045]导风管
13
，固定连接于过滤盒4的一侧端；
[0046]抽风设备
18
，固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种钛丝盘退火炉，其特征在于，包括：退火炉本体
(1)
；固定座
(20)
，固定连接于所述退火炉本体
(1)
的上端；去灰机构，所述去灰机构包括；过滤盒
(4)
，固定连接于所述固定座
(20)
的上端；透水盒
(16)
，固定连接于所述过滤盒
(4)
的上端；两个滤板
(17)
，固定连接于所述透水盒
(16)
的下端；壳盖
(15)
，固定连接于所述透水盒
(16)
的上端；进水管
(14)
，固定连接于所述壳盖
(15)
的上端；导风管
(13)
，固定连接于所述过滤盒
(4)
的一侧端；抽风设备
(18)
，固定连接于所述导风管
(13)
的圆周表面；以及排水管
(19)
，固定连接于所述过滤盒
(4)
的下端
。2.
根据权利要求1所述的一种钛丝盘退火炉，其特征在于：所述退火炉本体
(1)
的一侧端固定连接有连接板
(5)
，所述连接板
(5)
...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢恩虎，谢智锋，
申请(专利权)人：宝鸡市佳胜钛业有限公司，
类型：新型
国别省市：