一种石英管安装结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英管安装结构，其包括：支撑调节组件，用于安装所述石英管，以及调节石英管在炉体内的相对位置

【技术实现步骤摘要】
一种石英管安装结构


[0001]本技术涉及半导体加工器件
，特别是涉及一种石英管安装结构
。

技术介绍

[0002]半导体或光伏材料广泛应用于电子
、
新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上，例如太阳能电池片，将片状材料送入反应炉体中，在一定温度和压力等工艺条件下进行反应来给片状材料镀膜，因此需要用到半导体工艺炉
。
[0003]石英管作为半导体工艺炉的一部分，需要固定于半导体工艺炉上才能使用
。
石英管属于易碎产品，现有技术的石英管设计并未充分考量石英管与炉体的安装结构，导致调整位置不方便，不调整会挤碎或碰碎；也没有协调管径
、
管长
、
负载等之间的关系，不仅在搬运过程容易发生破碎，在石英管安装于半导体工艺炉上也容易发生破碎，而且在镀膜工艺中，石英管需在真空
、
高温以及石英管内壁还需承载舟等复杂环境下进行工艺，同样容易发生应力集中的现象，从而导致管件破碎，造成生产成本高
。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是：现有技术中的石英管与炉体之间的安装使得石英管在炉体内的位置无法进行调节的问题
。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种石英管安装结构，包括：
[0006]支撑调节组件，用于安装所述石英管，以及调节所述石英管在炉体内的相对位置
。
[0007]进一步的，所述支撑调节组件包括：
[0008]前支撑调节组件，设置在所述石英管的前端；
[0009]后支撑调节组件，设置在所述石英管的后端
。
[0010]进一步的，所述前支撑调节组件包括：
[0011]支撑块；
[0012]法兰组件，与所述支撑块连接，且套设于所述石英管；
[0013]第一调节组件，能够于第一方向和第二方向上调节所述支撑块的位置，其中，所述第一方向不同于第二方向
。
[0014]进一步的，所述第一调节组件的数量为四个，分别设置于所述支撑块的四个顶角处
。
[0015]进一步的，所述第一调节组件包括：
[0016]基板；
[0017]第一调节件，设置于所述基板，所述第一调节件用于调节所述支撑块于第一方向上的位置；
[0018]第二调节件，设置于所述基板，所述第二调节件用于调节所述第支撑块于第二方向上的位置；
[0019]限位组件，所述限位组件包括限位板和紧固件，所述支撑块设置有第一安装孔，所述基板设有第二安装孔，所述限位板设置在所述第一安装孔的一侧，所述基板设置于所述第一安装孔的另一侧
。
[0020]进一步的，所述第一调节件和第二调节件均为调节螺栓，所述第一调节件沿所述第一方向穿过所述基板与所述支撑块螺纹连接，所述第二调节件沿所述第二方向穿过所述基板与所述支撑块螺纹连接
。
[0021]进一步的，所述法兰组件包括：
[0022]第一法兰，远离所述支撑块设置；
[0023]第二法兰，与所述支撑块连接；
[0024]密封组件，套设于所述石英管上
。
[0025]进一步的，所述第二法兰上设置有第二调节组件，所述第二调节组件用于调节所述石英管在所述炉体轴向上的位置
。
[0026]进一步的，所述第二调节组件包括：
[0027]调节螺杆，与所述第二法兰螺纹连接，用于调节所述石英管在所述炉体轴向上的位置；
[0028]锁紧螺母，所述锁紧螺母设置在所述调节螺杆上，并抵压在所述第二法兰上
。
[0029]进一步的，所述密封组件包括：
[0030]第一密封圈，所述第一密封圈设置于所述第一法兰和所述石英管管口之间，用于轴向抵接于所述石英管的端面；
[0031]第二密封圈，所述第二密封圈设置于所述第一法兰和第二法兰之间，用于径向抵接于所述石英管的外周面
。
[0032]本技术的一种石英管安装结构与现有技术相比，其有益效果在于：
[0033]本技术通过支撑组件来调节石英管在炉体内的相对位置，保证了石英管的同轴度，避免因石英管在炉体内的位置无法调节而造成石英管被碰碎的问题，采用机械辅助，减少工作人员工作强度
。
附图说明
[0034]图1是本技术实施例中一种石英管安装结构的整体结构示意图；
[0035]图2是本技术实施例中一种石英管安装结构的整体结构的剖面示意图；
[0036]图3是本技术实施例中一种石英管安装结构的前支撑调节组件的结构示意图；
[0037]图4是本技术实施例中一种石英管安装结构的第一调节组件的结构示意图；
[0038]图5是本技术实施例中一种石英管安装结构的前支撑调节组件的剖面示意图；
[0039]图6是本技术实施例中一种石英管安装结构的第二调节组件的结构示意图；
[0040]图7是本技术实施例中一种石英管安装结构的密封组件的结构示意图
。
[0041]附图标记说明如下：
[0042]1、
石英管；
[0043]2、
支撑调节组件；
[0044]3、
前支撑调节组件；
[0045]4、
后支撑调节组件；
41、
支撑块；
42、
法兰组件；
421、
第一法兰；
422、
第二法兰；
43、
第一调节组件；
431、
基板；
432、
第一调节件；
433、
第二调节件；
434、
限位组件；
44、
第二调节组件；
441、
调节螺杆；
442、
锁紧螺母；
[0046]5、
密封组件；
51、
第一密封圈；
52、
第二密封圈
。
具体实施方式
[0047]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述
。
以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围
。
[0048]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制
。
[0049]术语
“”
、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种石英管安装结构，其特征在于，包括：支撑调节组件，用于安装所述石英管，以及调节所述石英管在炉体内的相对位置；所述支撑调节组件包括：前支撑调节组件，设置在所述石英管的前端；后支撑调节组件，设置在所述石英管的后端；所述前支撑调节组件包括：支撑块；法兰组件，与所述支撑块连接，且套设于所述石英管；第一调节组件，能够于第一方向和第二方向上调节所述支撑块的位置，其中，所述第一方向不同于第二方向
。2.
根据权利要求1所述的一种石英管安装结构，其特征在于，所述第一调节组件的数量为四个，分别设置于所述支撑块的四个顶角处
。3.
根据权利要求2所述的一种石英管安装结构，其特征在于，所述第一调节组件包括：基板；第一调节件，设置于所述基板，所述第一调节件用于调节所述支撑块于第一方向上的位置；第二调节件，设置于所述基板，所述第二调节件用于调节所述第支撑块于第二方向上的位置；限位组件，所述限位组件包括限位板和紧固件，所述支撑块设置有第一安装孔，所述基板设有第二安装孔，所述限位板设置在所述第一安装孔的一侧，所述基板设置于所述第一安装孔的另一侧
。4.
根据权利要求3所述的一种石英管安装结构，其特征在于，所述第一调...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，林佳继，张武，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：