一种用于制造技术

本发明专利技术涉及一种用于

【技术实现步骤摘要】
一种用于RCA制程的臭氧水流量控制系统及流体供应方法
[
][0001]本专利技术涉及半导体制成
，具体地说是一种用于
RCA
制程的臭氧水流量控制系统及流体供应方法
。
[
技术介绍
][0002]目前，半导体制程领域使用臭氧的方式，通常是将臭氧气体溶解到超纯水内并通过管道系统输送到使用端，然而，由于高浓度臭氧具有较高的毒性，该方法在确保安全性的前提下，遇到了3个难以避免的问题：
[0003]第一，臭氧气体的水溶是一个相对缓慢的过程，因此，臭氧系统从获得开机信号到输出使用临界浓度到达
20ppm
臭氧水的时间通常需要几十秒甚至几分钟，对于系统响应来说，这个时间是不可接受的
。
[0004]第二，由于臭氧系统开机响应的时间较长，虽然可以通过提前启动臭氧系统来补偿响应时间，但臭氧水属于挥发性溶液，通过管道循环方式将臭氧系统输出的臭氧水保持在待命状态时的臭氧浓度实际在不断的衰减，臭氧水浓度的衰减将导致氧化率的不稳定，不稳定的氧化率对制程来说也是不可接受的
。
[0005]第三，臭氧系统根本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于
RCA
制程的臭氧水流量控制系统，其特征在于：包括主管路恒定流量模组和支管路流量调节模组，其中，所述主管路恒定流量模组包括主供液管道
(1)
和液气分离器
(2)
，所述主供液管道
(1)
的进口端连接臭氧水系统
(3)
，所述主供液管道
(1)
的出口端连接液气分离器
(2)
，所述主供液管道
(1)
上依次装设有压力传感器
(4)、
三通阀和压力控制阀
(5)
，所述压力控制阀
(5)
的出气口通过管道连接压力传感器
(4)
的感应端，所述主供液管道
(1)
通过三通阀连接支管路流量调节模组，所述液气分离器
(2)
上连接有液体检测传感器
(6)
，所述液气分离器
(2)
的出气口处装设有压力传感器五
(7)
，所述液气分离器
(2)
的出气口通过管道连接三通型气动阀门
(8)
，所述三通型气动阀门
(8)
的两个出口分别连接常压排气管道和真空抽气管道，所述液气分离器
(2)
的出液口连接单向阀的进液端，单向阀的出液端连接排液管道；支管路流量调节模组包括支管路管道
(9)
，所述支管路管道
(9)
的进口端通过三通阀连接主供液管道
(1)
，所述支管路管道
(9)
的出口端分别连接压力控制阀一
(10)
和三通型气动阀门二
(11)
，所述压力控制阀一
(10)
与三通型气动阀门二
(11)
并联布置，且出口端均连接至液体分离器二
(12)
，所述压力控制阀一
(10)
的出气口通过管道连接压力传感器一
(13)
的感应端，所述三通型气动阀门二
(11)
的进口端的管道上装设有电动针阀一
(14)
和流量传感器一
(15)
，所述支管路流量调节模组通过电动针阀一
(14)
和流量传感器一
(15)
进行远程流量调节，所述三通型气动阀门二
(11)
的另一出口端为使用端出口；所述液体分离器二
(12)
上连接有液体检测传感器二
(16)
，所述液体分离器二
(12)
的出气口处装设有压力传感器二
(17)
，所述液体分离器二
(12)
的出气口通过管道连接三通型气动阀门四
(18)
，所述三通型气动阀门四
(18)
的两个出口分别连接常压排气管道和真空抽气管道，所述液体分离器二
(12)
的出液口连接单向阀二的进液端，所述单向阀二的出液端连接排液管道
。2.
如权利要求1所述的系统，其特征在于：所述主管路恒定流量模组的压力控制阀
(5)
根据主供液管道
(1)
进口端的压力传感器
(4)
获得初始压力状态，并根据液气分离器
(2)
处压力传感器五
(7)
反馈的压力状态调节末端的管道背压，进而将进口端的管道压力稳定在一定范围内，确保管道初始流体状态始终不变
。3.
如权利要求2所述的系统，其特征在于：所述液气分离器
(2)
从上方接入排液管道，所述液气分离器
(2)
的出气口设于顶部，所述液气分离器
(2)
分离的气体从顶部的出气口排出，所述顶部排气口通过连接压力传感器五
(7)
以进行气压监控，所述顶部排气口末端连接三通型气动阀门
(8)
，所述三通型气动阀门
(8)
的出口分别通过常压排气管道和真空抽气管道连接大气和真空抽气口，并根据压力传感器五

【专利技术属性】
技术研发人员：陆昶纬，丁文标，黄自柯，林生海，
申请(专利权)人：苏州冠礼科技有限公司，
类型：发明
国别省市：