一种真空焊接炉的轴真空静密封装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空焊接炉的轴真空静密封装置，包括加热丝输出金属管

【技术实现步骤摘要】
一种真空焊接炉的轴真空静密封装置


[0001]本技术涉及半导体焊接
，具体为一种真空焊接炉的轴真空静密封装置
。

技术介绍

[0002]真空焊接炉作为一种高端的工艺焊接炉，能应对各种复杂焊接环境
。
真空焊接炉相比传统链式炉相比具有较大优势，真空焊接炉能够创造接近真空环境降低焊接的空洞率，同时氮气氛围的存在降低了焊料的氧化程度，并且真空焊接炉内中间过程会通入还原性气体，能够进一步提纯金属，便于锡膏或者焊片的液化
。
[0003]真空焊接炉核心部件主要由预热腔
、
加热腔和冷却腔组成，其中预热腔和加热腔主要功能是升温预热
、
升温加热融化焊料，冷却腔主要起焊后冷却的作用
。
在工艺过程中预热腔和加热腔首先需要将腔内环境抽成真空，然后充入氮气保护气体，在整个流程中两个腔室内部都需要进行升温
。
升温则是通过加热丝来进行加热，加热丝输入端部分为一节硬管，因此在这过程中需要考虑这节硬管与腔室之间如何进行真空密封，从而保证抽真空和充氮气两种状态下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种真空焊接炉的轴真空静密封装置，其特征在于：包括加热丝输出金属管
(1)、
法兰接头
(2)、
顶块
(3)、
密封圈
(5)
和固定件
(6)
；所述加热丝输出金属管
(1)
贯通法兰接头
(2)
，所述密封圈
(5)
和顶块
(3)
依次套设在加热丝输出金属管
(1)
与法兰接头
(2)
之间；所述固定件
(6)
套设在加热丝输出金属管
(1)
上，所述固定件
(6)
与法兰接头
(2)
固定，所述固定件
(6)
位于顶块
(3)
远离密封圈
(5)
的一侧且与顶块
(3)
接触
。2.
根据权利要求1所述的真空焊接炉的轴真空静密封装置，其特征在于：所述法兰接头
(2)
的一侧能够与真空法兰连接，所述法兰接头
(2)
的另一侧外圈开设有外螺纹；所述法兰接头
(2)
的内圈是阶梯孔，所述加热丝输出金属管
(1)
与小阶梯孔
(21)
配合，所述密封圈
(5)
和顶块
(3)
与大阶梯孔
(22)
配合
。3.
根据权利要求1所述的真空焊接炉的轴真空静密封装置，其特征在于：所述法兰接头
(2)
的外侧开设有第一扳手位
。4.
根据权利要求2所述的真空焊接炉的轴真空静密封装置，其特征在于：所述顶块
(3)
为阶梯空心轴，所述顶块
(3)
...

【专利技术属性】
技术研发人员：高硕，石秀彬，姜季均，李杰，
申请(专利权)人：科威尔技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：