【技术实现步骤摘要】
一种通过离子注入对石墨烯进行氮掺杂的方法
[0001]本专利技术涉及石墨烯掺杂
,特别涉及一种通过离子注入对石墨烯进行氮掺杂的方法
。
技术介绍
[0002]石墨烯在
21
世纪初通过机械剥离法获得,由于其具有超高电子迁移率,显著的热传导性能以及良好的光学性能,长期以来得到广泛关注
。
而掺杂石墨烯的各种潜在应用已经得到证实,包括替代
ITO
薄膜的透明导电薄膜
、
作为有机发光二极管
(OLED)
阳极的透明导电电极以及催化应用
。
而离子注入作为半导体掺杂的重要工艺,近年来被许多学者用来进行石墨烯的掺杂
。
[0003]Toma Susi
等人在石墨烯中掺入了
P
原子,通过
X
射线光电子能谱
(XPS)
和电子能量损失光谱
(EELS)
观察到
P
原子成功注入到了石墨烯中,但使用磷进行研究具有挑战性,因为在注入过程中引入的污染层覆盖了大部分石墨烯表面
。
因此
Shih
‑
Ming He
等人通过
CVD
法生长石墨烯,之后在石墨烯上进行纯金镀膜,通过减缓
P
离子的注入速度得到了
N
型的石墨烯同时也可以避免一些金属覆盖到石墨烯表面进行污染
。
但
P
元素是有着不稳 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种通过离子注入对石墨烯进行氮掺杂的方法,其特征在于,所述一种通过离子注入对石墨烯进行氮掺杂的方法中包括:
S1
准备一个衬底,使用剥离法把石墨烯材料进行剥离,获得单层石墨烯;
S2
在
PDMS
薄膜上涂覆
PVA
溶液,进行烘干处理,制备得到复合薄膜;
S3
将制备好的薄膜材料,覆盖到有石墨烯的胶带上,
PVA
面和石墨烯直接接触,并进行加热处理;
S4
将薄膜从胶带上撕下,此时二维石墨烯将和薄膜材料一起被撕下,将撕下的薄膜定向覆盖到准备好的衬底片上,使石墨烯与
SiO2
接触;
S5
移除
PDMS
,并在水中加热溶解
PVA
,将石墨烯转移到衬底片上;
S6
将
S5
中所得到的衬底片放入
ALD
机台上进行氮化硅的沉积;
S7
在氮化硅上进行
18
‑
28KeV
的
N
离子模拟注入;
S8
通过溶液去掉表面的氮化硅层,得到
n
型的石墨烯
。2.
如权利要求1所述的一种通过离子注入对石墨烯进行氮掺杂的方法,其特征在于,在步骤
S1
中,所述衬底为
Si。3.
如权利要求1所述的一种通过离子注入对石墨烯进行氮掺杂的方法,其特征在于,在步骤
S1
中,所述衬底为
技术研发人员:刘超洋,张梦龙,王小周,李京波,
申请(专利权)人:浙江芯科半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:
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