太阳能电池及其制作方法技术

本申请涉及太阳能电池技术领域，特别是涉及太阳能电池及其制作方法

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池及其制作方法、光伏组件及光伏系统


[0001]本申请涉及太阳能电池
，特别是涉及太阳能电池及其制作方法
、
光伏组件及光伏系统
。

技术介绍

[0002]选择性发射极
(Selective Emitter
，
SE)
激光掺杂技术，是在基底的表面的接触区域扩散而形成重掺杂区域，在非接触区域轻掺杂的技术
。
选择性发射电极能够降低接触区域的接触电阻，降低太阳能电池的串阻，同时轻掺杂区域能有效减少载流子复合，提高基底表面的钝化
。
[0003]在上述重掺杂的过程中，若重掺杂效果不佳，则会导致栅线与基底的接触复合变大
。
若采用高能激光形成重掺杂区域来改善重掺杂效果，则容易导致基底上对应于重掺杂区域的部分破坏严重，使得表面缺陷增加，同时也会导致部分脏污颗粒通过激光扩散至太阳能电池更深的位置，在制作栅线后，带来更大的漏电风险
。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种太阳能电池及其制作方法
、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种太阳能电池，其特征在于，包括：基底，具有沿第一方向设置的第一表面；掺杂层，设于所述基底的第一表面的一侧；所述掺杂层包括多个轻掺杂区域和多个重掺杂区域，所述多个轻掺杂区域和所述多个重掺杂区域沿第二方向依次交替布置；及多条第一栅线，设于所述基底的第一表面的一侧，所述多条第一栅线沿第三方向延伸设置，且沿所述第二方向间隔布置；每一所述第一栅线对应一所述重掺杂区域；所述第一栅线在所述基底的正投影，位于所述掺杂层上对应的所述重掺杂区域在所述基底的正投影范围内；其中，定义所述多个重掺杂区域中至少一个所述重掺杂区域为目标重掺杂区域，每一所述目标重掺杂区域包括沿所述第三方向依次布设的多个目标子区域，所述多个目标子区域的结深具有至少两种结深；同一所述目标重掺杂区域的多个所述目标子区域中结深最大的区域为第一目标子区域；与所述目标重掺杂区域对应的所述第一栅线，与该所述目标重掺杂区域的所述第一目标子区域欧姆接触；所述第一方向为所述基底的厚度方向；所述第二方向和所述第三方向彼此相交，且均与所述第一方向垂直
。2.
根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池还包括连接结构；所述连接结构在所述基底的正投影，位于所述第一目标子区域在所述基底的正投影范围内；所述连接结构沿所述第一方向的一端连接所述掺杂层，另一端连接对应的所述第一栅线
。3.
根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，沿所述第二方向，所述连接结构的最大尺寸为
15
μ
m
‑
25
μ
m
；和
/
或沿所述第二方向，所述第一栅线的尺寸为
15
μ
m
‑
20
μ
m。4.
根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，所述连接结构在参考面上的正投影的形状为圆形；所述参考面为与所述第一方向垂直的平面
。5.
根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池还包括依次层叠设于所述掺杂层背离于所述基底的一侧表面的第一钝化膜层；所述连接结构贯穿所述第一钝化膜层，并与所述掺杂层和对应的所述第一栅线之间形成欧姆接触
。6.
根据权利要求1‑5任一项所述的太阳能电池，其特征在于，同一所述目标重掺杂区域的多个所述目标子区域中，沿所述第三方向，至少一组相邻的相同结深的所述目标子区域之间布设有至少一个不同结深的目标子区域
。7.
根据权利要求6所述的太阳能电池，其特征在于，同一所述目标重掺杂区域的多个所述目标子区域包括至少一个所述第一目标子区域和多个第二目标子区域；所述第二目标子区域为同一所述目标重掺杂区域的多个所述目标子区域中结深最小的目标子区域；其中，沿所述第三方向，至少一组相邻的两个所述第二目标子区域之间布设有至少一个所述第一目标子区域
。
8.
根据权利要求7所述的太阳能电池，其特征在于，同一所述目标重掺杂区域的多个所述目标子区域中，所述第一目标子区域和所述第二目标子区域沿所述第三方向依次交替布置
。9.
根据权利要求1‑5任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述第一目标子区域的结深为
1.9
μ
m
‑
2.5
μ
m
；和
/
或同一所述目标重掺杂区域的多个所述目标子区域中结深最小的区域为第二目标子区域，所述第二目标子区域的结深为1μ
m
‑
1.8
μ
m。10.
根据权利要求1‑5任一项所述的太阳能电池，其特征在于，同一所述目标重掺杂区域的多个所述目标子区域中结深最小的区域为第二目标子区域；所述第二目标子区域的方阻与所述第一目标子区域的方阻比值为
1.5
‑
2。11.
根据权利要求
10
所述的太阳能电池，其特征在于，所述第一目标子区域的方阻为
60
Ω
/
□‑
80
Ω
/
□
，所述第二目标子区域的方阻为
90
Ω
/
□‑
160
Ω
/
□
。12.
根据权利要求1‑5任一项所述的太阳能电池，其特征在于，同一所述目标重掺杂区域的多个所述目标子区域包括多个所述第一目标子区域；沿所述第三方向，相邻的两个所述第一目标子区域的尺寸与所述第一目标子区域的尺寸的比值为
0.22
‑
2。13.
根据权利要求1‑5任一项所述的太阳能电池，其特征在于，沿所述第三方向，所述第一目标子区域的尺寸为
17.5
μ
m
‑
45
μ
m
；和
/
或同一所述目标重掺杂区域的多个所述目标子区域中结深最小的区域为第二目标子区域；沿所述第三方向，所述第二目标子区域的尺寸为
10
μ
m
‑
35
μ
m。14.
根据权利要求1‑5任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池还包括多条第二栅线；所述多条第二栅线沿所述第三方向间隔布置，每一所述第二栅线与所述多条第一栅线中的任一者相连
。15.
一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括：提供基底；所述基底具有沿第一方向设置的第一表面，所述基底的第一表面的一侧设有掺杂层；在所述掺杂层的多个目标区域进行掺杂，形成多个重掺杂区域；所述掺杂层上除所述多个目标区域以外的多个区域均为轻掺杂区域，所述多个轻掺杂区域和所述多个重掺杂区域沿第二方向依次交替布置；在所述基底的第一表面的一侧形成多条第一栅线；所述多条第一栅线沿第三方向延伸设置，且沿所述第二方向间隔布置；每一所述第一栅线对应一所述重掺杂区域；所述第一栅线在所述基底的正投影，位于所述掺杂层上对应的所述重掺杂区域在所述基底的正投影范围内；其中，定义所述多个重掺杂区域中至少一个所述重掺杂区域为目标重掺杂区域，每一所述目标重掺杂区域包括沿所述第三方向依次布设的多个目标子区域，所述多个目标子区域的结深具有至少两种结深；同一所述目标重掺杂区域的多个所述目标子区域中结深最大的区域为第一目标子区域；与所述目标重掺杂区域对应的所述第一栅线，与该所述目标重掺杂区域的所述第一目
标子区域欧姆接触；所述第一方向为所述基底的厚度方向；所述第二方向和所述第三方向彼此相交，且均与所述第一方向垂...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏晓峰，陈红，丁留伟，邹杨，汪宏迪，王天成，陈文军，
申请(专利权)人：天合光能股份有限公司，
类型：发明
国别省市：