一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及气相沉积炉技术领域，尤其涉及一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置

【技术实现步骤摘要】
一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置


[0001]本专利技术涉及气相沉积炉
，尤其涉及一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置
。

技术介绍

[0002]气相沉积技术是利用气相中发生的物理
、
化学过程，改变工件表面成分，在表面形成具有特殊性能
(
例如超硬耐磨层或具有特殊的光学
、
电学性能
)
的金属或化合物涂层的技术
。
气相沉积是模具表面强化的技术之一，已广泛应用于各类模具的表面硬化处理
。
[0003]专利公开号
CN212770949U
公开了一种化学气相沉积炉进气分布装置，所述化学气相沉积炉进气分布装置包括：气相沉积炉进气分布设备本体；气相沉积炉体，所述气相沉积炉体包含在气相沉积炉进气分布设备本体内；排气孔，所述排气孔开设在气相沉积炉体的顶部；环形连接板，所述环形连接板固定安装在气相沉积炉体的顶部
。
通过第一条形块
、
第一横杆
、
圆形块
、
伸缩弹簧和卡槽相互配合下，能够简单有效的对过滤箱进行固定和拆卸，便于使用者操作
。
[0004]但上述装置在实际使用时，无法对气体分布进行调节，进而导致进气时炉体内的流动截面上的流速不等，部分物料容易反向流动形成回流导致返混，使得工件表面各处位置接触不均匀，所生成的涂层致密性和均匀性受到影响，成品性能无法达到预期，因此，在此提出一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置
。

技术实现思路

[0005]为了克服上述现有技术中的缺点，本专利技术提供一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置
。
[0006]本专利技术的技术实施方案为：一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置，包括有炉架
、
流化床反应器
、
进气管和加热器，所述炉架上固定安装有流化床反应器，所述流化床反应器底部密封连接有进气管，所述炉架上安装有用于对送入气体进行加热的加热器，所述进气管穿过加热器，还包括有气体分布组件，所述流化床反应器底部设有用于使气体分布均匀的气体分布组件，所述气体分布组件包括有连接管
、
导流管和进气罩，所述流化床反应器底部转动安装有连接管，所述连接管底端与进气管密封连接，所述连接管相对进气管转动，所述连接管顶端安装有环形的导流管，所述导流管上设有沿周向均匀分布的进气罩
。
[0007]进一步，所述进气罩采用通径逐渐增大的敞口设计，所述进气罩与导流管转动连接
。
[0008]进一步，还包括有驱动组件，所述驱动组件包括有电机
、
第一齿轮和第二齿轮，所述流化床反应器底部固定安装有电机，所述电机的输出轴上同轴连接有转动安装在所述流化床反应器内的第一齿轮，所述连接管上套接有共同转动的第二齿轮，所述第一齿轮和第二齿轮啮合
。
[0009]进一步，还包括有摆动组件，所述摆动组件包括有隔板和支杆，所述导流管下方设
有固定安装在流化床反应器上的隔板，所述隔板上开设有弧形槽，所述进气罩底部安装有倾斜向弧形槽内伸出的支杆
。
[0010]进一步，所述弧形槽与隔板中心的距离呈周期性变化
。
[0011]进一步，所述支杆采用可伸缩的多节结构设计，所述支杆末端安装有与所述弧形槽相适配的球头
。
[0012]进一步，还包括有加料组件，所述加料组件包括有加料管和阀门，所述进气管上连接有多组平行设置的加料管，所述加料管与进气管垂直，所述加料管上设有用于控制其通量的阀门
。
[0013]进一步，所述加料组件还包括有固定支座
、
电动推杆
、
活动杆和连杆，所述炉架上固定安装有固定支座，固定支座内设有电动推杆，所述电动推杆的活动部上固定连接有活动杆，所述阀门上转动安装有连杆，所述连杆与活动杆滑动连接
。
[0014]进一步，还包括有过滤头，所述进气管进口端密封连接有过滤头，所述过滤头内安装有滤芯
。
[0015]有益效果为：
1、
本专利技术设计有气体分布组件，能够通过连接管
、
导流管和进气罩的配合对进入流化床反应器的气体流向进行引导，使气体可均匀地沿周向呈一定角度向上流动，进而达到保证气体分布均匀的效果；
2、
本专利技术通过驱动组件和摆动组件的配合，能够在驱动导流管和进气罩进行旋转时，使支杆沿隔板上的弧形槽移动，进而带动进气罩相对导流管来回摆动，使得进气角度呈周期性变化，使气体的流动更为均匀；
3、
本专利技术通过设有加料组件，能够在需要加入其它气体进行混合时，将输送其他气体的管道与加料管相连形成通道，并通过阀门对通量进行调节，进而使气体按比例输送流入，且在需要对多个气体的流入通量进行同步调节或统一开启和关闭时，可以借助电动推杆和活动杆对各加料管处的阀门进行统一控制，方便操作；
4、
本专利技术通过在进气管的进口端设有过滤头，能够借助滤芯对气体中的杂质进行过滤筛除，进而达到减少杂质流入流化床反应器中的效果，使气体能够保持纯净，避免杂质对反应造成影响
。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的立体结构示意图
。
[0017]图2为本专利技术流化床反应器的内部结构示意图
。
[0018]图3为本专利技术气体分布组件的立体结构示意图
。
[0019]图4为本专利技术驱动组件的立体结构示意图
。
[0020]图5为本专利技术摆动组件的立体结构示意图
。
[0021]图6为本专利技术摆动组件的局部放大图
。
[0022]图7为本专利技术加料管的立体结构示意图
。
[0023]图8为本专利技术阀门和连杆的立体结构示意图
。
[0024]图9为本专利技术固定支座和电动推杆的立体结构示意图
。
[0025]图
10
为本专利技术加料组件的立体结构示意图
。
[0026]图
11
为本专利技术过滤头的立体结构示意图
。
[0027]图中零部件名称及序号：
1_
炉架，
2_
流化床反应器，
3_
进气管，
4_
加热器，
5_
气体分布组件，
51_
连接管，
52_
导流管，
53_
进气罩，
6_
驱动组件，
61_
电机，
62_
第一齿轮，
63_
第二齿轮，
7_
摆动组件，
71_
隔板，
72_
弧形槽，
73_
支杆，
74_
球头，
8_
加料组件，<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置，包括有炉架（1）
、
流化床反应器（2）
、
进气管（3）和加热器（4），所述炉架（1）上固定安装有流化床反应器（2），所述流化床反应器（2）底部密封连接有进气管（3），所述炉架（1）上安装有用于对送入气体进行加热的加热器（4），所述进气管（3）穿过加热器（4）；其特征是：还包括有气体分布组件（5），所述流化床反应器（2）底部设有用于使气体分布均匀的气体分布组件（5），所述气体分布组件（5）包括有连接管（
51
）
、
导流管（
52
）和进气罩（
53
），所述流化床反应器（2）底部转动安装有连接管（
51
），所述连接管（
51
）底端与进气管（3）密封连接，所述连接管（
51
）相对进气管（3）转动，所述连接管（
51
）顶端安装有环形的导流管（
52
），所述导流管（
52
）上设有沿周向均匀分布的进气罩（
53
）
。2.
按照权利要求1所述的一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置，其特征是：所述进气罩（
53
）采用通径逐渐增大的敞口设计，所述进气罩（
53
）与导流管（
52
）转动连接
。3.
按照权利要求2所述的一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置，其特征是：还包括有驱动组件（6），所述驱动组件（6）包括有电机（
61
）
、
第一齿轮（
62
）和第二齿轮（
63
），所述流化床反应器（2）底部固定安装有电机（
61
），所述电机（
61
）的输出轴上同轴连接有转动安装在所述流化床反应器（2）内的第一齿轮（
62
），所述连接管（
51
）上套接有共同转动的第二齿轮（
63
），所述第一齿轮（
62
）和第二齿轮（
63
）啮合
。4.
按照权利要求3所述的一种流化床式气相沉积炉均匀进气的装置，其特征是：还包括有摆动组件（7），所述摆动组件（7）包括有隔板（
71
）和支杆（
73
），所述导流管（
52
）下方设有固...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟兰祥，肖嵩涛，刘史丁，肖小华，黄健，
申请(专利权)人：江西力信达高新装备有限公司，
类型：发明
国别省市：