提升制造技术

本发明专利技术属于光伏电池技术领域，提供一种提升

【技术实现步骤摘要】
提升TOPCon电池发射极钝化的方法及光伏电池制作方法


[0001]本专利技术涉及光伏电池
，特别是涉及一种提升
TOPCon
电池发射极钝化的方法及光伏电池制作方法
。

技术介绍

[0002]现有
TOPCon
电池的制作方法
(
参见
CN116779728A、CN110299422B)
，通常包括：对硅片依次进行双面制绒，正面硼扩散及选择性掺杂以制备选择性发射极，后氧化，单面氢氟酸清洗以去除硼硅玻璃，背面碱抛光，背面制备隧穿氧化层及掺磷多晶硅，去绕镀及
BOE(
缓冲氢氟酸
)
清洗去掺杂硅玻璃，选择性发射极正面制备氧化铝膜，制备正面氮化硅膜和背面氮化硅膜以及正背面制备电极
。
[0003]其中，如公开号
CN116779728A
所示，现有
TOPCon
电池的制作方法，在
BOE
清洗之后，是直接在硅片的发射极正面制备氧化铝膜
。/>[0004]然而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种提升
TOPCon
电池发射极钝化的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、
对硅片表面进行
BOE
清洗处理，以去除硅片表面的掺杂硅玻璃；其中，
BOE
清洗处理包括：采用含氢氟酸的水溶液对硅片的发射极表面进行清洗；
S2、
采用过硫酸铵水溶液在室温下对
BOE
清洗处理后的发射极表面进行化学氧化，再对硅片进行水洗
、
烘干；其中，所述过硫酸铵水溶液中的过硫酸铵的质量浓度为3‑
15
％，化学氧化的时间为2‑
10
分钟；
S3、
在化学氧化后的发射极表面制备用于钝化的氧化铝膜
。2.
根据权利要求1所述的一种提升
TOPCon
电池发射极钝化的方法，其特征在于，步骤
S2
中，所述过硫酸铵水溶液中的过硫酸铵的质量浓度为6‑
12
％，化学氧化的时间为8分钟
。3.
根据权利要求2所述的一种提升
TOPCon
电池发射极钝化的方法，其特征在于，步骤
S2
中，所述过硫酸铵水溶液中的过硫酸铵的质量浓度为
12
％
。4.
根据权利要求1或2所述的一种提升
TOPCon
电池发射极钝化的方法，其特征在于，步骤
S1
中，所述
BOE
清洗处理具体包括：
S11、
采用氢氟酸水溶液对发射极表面进行清洗，以去除其表面因掺杂所形成的掺杂硅玻璃，再水洗硅片；
S12、
采用氢氟酸水溶液，或者氢氟酸与盐酸的混合水溶液，对发射极表面进行再次清洗，以去除其表面残留的氧化硅及金属杂质，再水洗硅片
。5.
根据权利要求4所述的一种提升
TOPCon
电池发射极钝化的方法，其特征在于，步骤
S11
中，所述氢氟酸水溶液中的氢氟酸的质量浓度为3‑
20
％，清洗时间为2‑
10
分钟
。6.
根据权利要求4所述的一种提升
TOPCon
电池发射极钝化的方法，其特征在于，步骤
S12
...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐卓，白龙，于涛，高思源，柳芹，高志兵，林建伟，
申请(专利权)人：泰州中来光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：