一种大规格光掩模基板的加工方法技术

本发明专利技术涉及一种加工方法，具体涉及一种大规格光掩模基板的加工方法

【技术实现步骤摘要】
一种大规格光掩模基板的加工方法


[0001]本专利技术涉及一种加工方法，具体涉及一种大规格光掩模基板的加工方法
。

技术介绍

[0002]合成石英玻璃由于其极为优异的光学性能和抗热冲击性
、
极低的热膨胀系数和电导率，广泛应用于半导体
、
精密光学等领域
。
合成石英掩膜板是合成石英锭加工制作的空白光掩模基板，具有高化学稳定性
、
高硬度
、
低热膨胀系数
、
高透光率（尤其是紫外线段），常作为
IC、LSI
大型
FPD
高精密器件的光掩膜版基材
。
目前，石英玻璃的平面加工主要是通过金刚石砂轮研磨完成，通过磨削厚度达到平面度（表面高点与低点之间的差值）的修整，合成石英掩膜板也是采用同样的加工方法
。
[0003]合成石英掩膜板表面的加工流程分为毛坯阶段，半成品阶段以及成品阶段
。
毛坯阶段是把热改型后的石英锭切割成片，通过冷加工修整平面度以及总厚度差的同时磨削本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种大规格光掩模基板的加工方法，其特征在于：包括以下步骤：1）合成石英锭热改型后，根据切割合成石英片的厚度，选择切割石英片所用金刚线的直径，将所选金刚线安装在切割装置上；2）根据金刚线的直径调节金刚线的张力
、
运动速度
、
切割速度以及喷淋液流量；3）启动切割装置使金刚线运动对石英锭进行切割，生产石英片坯体；4）将步骤3）所得石英片坯体固定在平面度检测设备支撑工装上，采用压紧的方式促使毛坯片与检测方向水平，与固定基准面垂直控制通过压力传感装置控制压力为
0.6
‑
0.8br
，使压紧石英片坯体的力度不会对产品产生形变影响检测数值；5）平面度检测设备检测固定在平面度检测设备支撑工装上的石英片坯体的平面度，按照间隔
10mm
‑
50mm
间距扫描石英片坯体平面获得平面度数值及高低点的区域分布图纸，修整平面时通过高低点的区域分布图纸判定需使用辅助工装的区域及辅助工装的厚度；6）调整平面度检测设备的工作平台左右摆动的速度设定为
13000
‑
20000mm/min
，根据石英片坯体长度尺寸设定金刚石砂轮的转动速度为
1000r/min
，根据石英片坯体厚度设定金刚石砂轮上下摆动的速度为
150
‑
300mm/min
，设定单次磨削量为
0.001
‑
0.05mm/
次...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘萍，孙凯，尹清铭，胡光辉，林涵，张寒，
申请(专利权)人：湖北菲利华石英玻璃股份有限公司，
类型：发明
国别省市：