基于阳极键合的一体化制造技术

本发明专利技术提出了一种基于阳极键合的一体化

【技术实现步骤摘要】
基于阳极键合的一体化MEMS电化学角加速度传感器及制造方法


[0001]本专利技术主要涉及微机电系统
(MEMS)
传感器与角加速度传感器
，尤其涉及
MEMS
电化学敏感电极制作及应用其的角加速度传感器
，具体涉及一种基于阳极键合的一体化
MEMS
电化学角加速度传感器及制造方法
。

技术介绍

[0002]旋转运动是质点围绕轴线的运动，是自然界最基本的运动形式之一，广泛存在于客观世界中
。
角加速度是描述旋转运动的关键参数，在低频振动领域，角加速度的准确测量在地震监测
、
工程探测和导航定位系统等应用中有着重要意义
。
[0003]在地震学领域，目前对于地震活动的监测通常是测量东西
、
南北和铅锤三个方向的平移运动信号，实际上地震发生时，刚体在某一点的完整运动特性是一个六自由度震动，不仅包括三个轴向的平移运动，还有垂直轴向平面内的旋转运动
。
在近场地震中，旋转运动尤为明显r/>。
由本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种基于阳极键合的一体化
MEMS
电化学角加速度传感器，包括：玻璃基底
、
贯穿玻璃基底的引线孔
、
硅基衬底
、
贯穿硅基衬底的绝缘沟槽
、
敏感电极
、
第一阴极引线
、
第二阴极引线
、
阳极引线
、
下表面具有环形凹槽的玻璃盖板
、
贯穿玻璃盖板的注液孔；其中：所述玻璃基底厚度均匀，表面洁净；所述引线孔贯穿玻璃基底的上下表面；所述硅基衬底形成于所述玻璃基底的上表面，并与所述玻璃基底之间形成阳极键合；所述绝缘沟槽贯穿所述硅基基底的上下表面；所述敏感电极形成于所述硅基衬底的上表面，以一对或多对电极组的形式沿环形切向等间距排列，每个电极组均包含第一阴极和阳极或第二阴极和阳极；所述第一阴极引线形成于所述敏感电极的外侧上半圆周，与电极组的每个第一阴极均相连；所述第二阴极引线形成于所述敏感电极的外侧下半圆周，与电极组的每个第二阴极均相连；所述阳极引线形成于所述敏感电极的内侧圆周，与电极组的每个阳极均相连；所述下表面具有环形凹槽的玻璃盖板，形成于所述硅基衬底的上表面，其与所述硅基衬底进行二次阳极键合；所述注液孔贯穿所述玻璃盖板的上下表面
。2.
根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述玻璃基底的材料是玻璃片，优选的所述玻璃基底选自
BF33
玻璃
。3.
根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述引线孔朝向电极引线沿环形阵列排列
。4.
根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述硅基衬底的材料是低阻硅片，优选的，所述硅基底选自晶向为
<100>
的
N
型硅或者
P
型硅
。5.
根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述绝缘沟槽采用
BOSCH
工艺在硅基衬底上进行刻蚀
。6.
根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一阴极引线与第二阴极引线沿环形圆心对称分布
。7.
根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述电极组以
AC
‑
AC
或
CA
‑
CA
的形式进行叉指电极排布，其中
A
为阳极，
C
为阴极；电极组与电极组间通过阴极引线和阳极引线并联
。8.
根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述阳极
、
第一阴极
、
第二阴极之间通过所述硅基衬底的绝缘沟槽隔开
。9.
根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述敏感电极
、
第...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军波，朱茂琦，陈德勇，梁天，鲁毓岚，
申请(专利权)人：中国科学院空天信息创新研究院，
类型：发明
国别省市：