【技术实现步骤摘要】
一种间接加热型相变射频开关
[0001]本申请涉及射频开关器件
，特别是涉及一种间接加热型相变射频开关
。
技术介绍
[0002]在现代雷达系统
、
通信系统以及电子对抗系统中，为了实现不同频率
、
不同通信标准
、
不同功能器件的快速切换，可重构射频前端被广泛使用
。
而在可重构系统中，射频开关作为核心器件发挥着重要作用
。
目前比较成熟的
RF
开关技术主要有固态开关和微机电开关，但是两类传统开关均存在各自的技术缺陷，极大地限制了其在毫米波甚至太赫兹领域的发展和应用
。
[0003]现有技术中，相变射频开关作为一种新型射频开关技术，具有低插损
、
高隔离度
、
超宽频带
、
可靠性高
、
微型化等特点，尤其是基于硫系相变材料的相变开关，更具有非易失特性，能够做到静态零功耗，有望完美解决传统开关存在的问题，为后摩尔时代新型射频开关的研制...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种间接加热型相变射频开关，其特征在于，包括：自下而上依次相叠的衬底层
、
悬臂梁
、
绝缘层
、
加热层
、
隔离层
、
相变层
、
电极层以及钝化层；所述衬底层的顶部中央设有向所述衬底层的底部方向凹陷的凹腔；所述悬臂梁包括一个悬台以及两个以上悬臂；所述悬台设在所述悬臂梁的中部，所述悬臂的一个对应端与所述悬台的边缘间隔相连，所述悬臂的另一个对应端设在所述凹腔的侧壁上；所述悬臂梁的顶部与所述衬底层的顶部共面，所述悬臂梁的底部与所述凹腔的底部之间具有中空腔体
。2.
根据权利要求1所述的间接加热型相变射频开关，其特征在于，所述相变层设在所述隔离层的顶部中央；所述相变层为一个等宽的带状结构，所述带状结构包括一个以上首尾相连的“S”形结构
。3.
根据权利要求2所述的间接加热型相变射频开关，其特征在于，所述电极层包括两个中心对称设置的电极；两个所述电极分别与所述相变层的两端相连
。4.
根据权利要求3所述的间接加热型相变射频开关，其特征在于，所述电极包括：连接部以及延伸部；所述连接部与所述相变层的端部相连，且两个连接部间隔覆盖所述相变层的顶部两侧以及所述相变层的侧部，以使所述电极层的顶部中央形成与所述相变层对应的“S”形空隙，所述空隙两侧的电极形成相应的交指结构；所述延伸部为条形结构，两个延伸部的一个对应端与对应连接部相连，两个延伸部的另...
【专利技术属性】
技术研发人员：帅陈杨，郑月军，付云起，陈强，马燕利，马欣瑜，丁亮，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：
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