弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不易产生特性的劣化的弹性波装置

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术涉及具有在压电膜的下方设置有空洞部的构造的弹性波装置
。

技术介绍

[0002]以往，己知在压电膜的下方设置有空洞部的弹性波装置
。
例如，在下述的专利文献1中，在压电膜的上表面以及下表面设置有驱动电极
。
而且，在该压电膜的下方设置有空洞部
。
由此，构成了具有膜片构造的弹性波装置
。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第
2011/052551
号

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在具有在压电膜的下方设置有空洞部的膜片构造的弹性波装置中，有时产生由无用波的激励引起的特性的劣化
。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种不易产生特性的劣化的弹性波装置
。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]本专利技术涉及的弹性波装置具备包含支承基板的第1层
、...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种弹性波装置，具备：第1层，包含支承基板；第2层，设置在所述第1层上，包含压电膜；和激励电极，设置在所述第2层上，在所述第1层与所述第2层之间设置有空洞部，在所述第1层和所述第2层的层叠方向上，所述激励电极的至少一部分与所述空洞部重叠，面向所述空洞部的所述第1层的主面的表面粗糙度与面向所述空洞部的所述第2层的主面的表面粗糙度不同
。2.
根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，面向所述空洞部的所述第1层的主面的表面粗糙度大于面向所述空洞部的所述第2层的主面的表面粗糙度
。3.
根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，在所述第2层中，设置有贯通所述第2层并到达所述空洞部的贯通孔
。4.
根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其中，面向所述空洞部的所述第1层的主面的表面粗糙度以及面向所述空洞部的所述第2层的主面的表面粗糙度均大于所述第2层的设置有所述激励电极的主面的表面粗糙度
。5.
根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，所述第2层还包含：第2中间层，设置在所述压电膜的所述空洞部侧的主面
。6.
根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，所述第1层还包含：第1中间层，设置在所述支承基板的所述空洞部侧的主面
。7.
根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，所述第1中间层和所述第2中间层被一体化
。8.
根据权利要求6或7所述的弹性波装置，其中，所述第1中间层和所述第2中间层包含相同的材料
。9.
根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波装置，其中，所述激励电极为
IDT

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本谕卓，大村正志，铃木胜己，井上和则，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：