一种改善金刚石表面粗糙度的激光加工方法技术

本发明专利技术涉及金刚石加工技术领域，尤其涉及一种改善金刚石表面粗糙度的激光加工方法，包括将待处理的金刚石片固定设置在加工台组件上后，调整准直聚焦镜对准金刚石片表面，利用所述激光发生器对金刚石片表面进行预加热；监测金刚石片表面达到预设温度后，启动所述超短脉冲激光发生器发射超短脉冲激光，通过所述扫描振镜使超短脉冲激光沿预设的路径保持入射角度进行大间距交替激光烧蚀；经路径垂直交替烧蚀后使金刚石片表面的粗糙度达到预设值

【技术实现步骤摘要】
一种改善金刚石表面粗糙度的激光加工方法


[0001]本专利技术涉及金刚石加工
，尤其涉及一种改善金刚石表面粗糙度的激光加工方法
。

技术介绍

[0002]现有的金刚石表面处理方法主要采用机械抛光
、
化学抛光
、
电火花抛光
、
离子束抛光
、
激光抛光等方式，激光抛光是一种非接触式抛光方式，无机械力，金刚石片不易破碎
。
但现有利用激光对金刚石表面进行抛光的过程中，短时间内的激光集中会对金刚石表面造成热应力集中，导致激光束烧蚀的表面形成较深的沟壑产生纹影效果，而这种纹影会使表面的粗糙度无法得到有效降低，产生的局部热应力集中会使较薄的金刚石片产生破裂
。

技术实现思路

[0003]为解决上述
技术介绍
中的问题，本申请提供一种改善金刚石表面粗糙度的激光加工方法，能够有效减少因激光扫描烧蚀在金刚石表面产生的热应力引起的纹影，从而提高激光来改善金刚石表面粗糙度的处理效果
。
[0004]为实现上述目的，本申请提供的技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种改善金刚石表面粗糙度的激光加工方法，该激光加工方法通过激光加工装置来执行，所述激光加工装置包括对金刚石片进行预加热的激光发生器，对金刚石片表面进行烧蚀的超短脉冲激光发生器，用于调整超短脉冲激光扫描烧蚀方向的扫描振镜，用于集中加热激光束的准直聚焦镜，用于安置调整金刚石片的加工台组件，所述加工台组件上设置用于对金刚石片实时测温的测温器，其特征在于，所述激光加工方法的步骤包括：
S1
：将待处理的金刚石片固定设置在加工台组件上后，调整准直聚焦镜对准金刚石片表面，利用所述激光发生器对金刚石片表面进行预加热；
S2
：监测金刚石片表面达到预设温度后，启动所述超短脉冲激光发生器发射超短脉冲激光，通过所述扫描振镜使超短脉冲激光沿预设的路径保持入射角度进行大间距交替激光烧蚀；
S3
：保持每次烧蚀路径之间的大间距，经路径垂直交替烧蚀后使金刚石片表面的粗糙度达到预设值
。2.
根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，所述
S2
中大间距交替激光烧蚀的步骤为：
S100
：沿金刚石片的
X
轴方向逐条保持大间距进行激光扫描烧蚀，形成相互平行的等间距烧蚀路径一；
S200
：在所述路径一形成的间距内沿金刚石片的
X
轴方向逐条扫描烧蚀，形成相互平行的等间距烧蚀路径二；
S300
：调整所述扫描振镜的入射方向，使超短脉冲激光沿金刚石片的
Y
轴方向逐条保持大间距进行激光扫描烧蚀，形成相互平行的等间距烧蚀路径三；
S400
：在所述路径三形成的间距内沿金刚石片的
Y
轴方向逐条扫描烧蚀，形成相互平行的等间距烧蚀路径四；其中所述路径一
、
路径二与路径三
、
路径四之间相互垂直
。3.
根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，所述步骤
S1
激光...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗子艺，蔡得涛，刘伟清，韩善果，
申请(专利权)人：广东省科学院中乌焊接研究所，
类型：发明
国别省市：