【技术实现步骤摘要】
一种用于石英舟顶齿碎片检测的装置及方法
[0001]本专利技术涉及硅片加工
，尤其是涉及一种用于石英舟顶齿碎片检测的装置及方法
。
技术介绍
[0002]硅片在加工过程中，需要用顶齿将硅片从石英舟上顶起，然后利用吸盘将硅片吸走，而在硅片被吸走后，顶齿的齿槽内经常会残留一些硅片碎片，这些硅片碎片会对顶齿的正常作业产生影响，因此，需要及时发现碎片，以便对其进行清理，而目前缺少一种能够快速准确地检测到碎片的装置
。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本专利技术的目的是针对现有技术的不足，提供一种用于石英舟顶齿碎片检测的装置及方法，可以快速准确地检测到齿槽内碎片，便于及时对碎片进行清理，以保证硅片正常生产
。
[0004]为达到上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]一种用于石英舟顶齿碎片检测的装置，包括面阵相机和光源，所述面阵相机和光源均设置在安装板上，所述面阵相机的镜头垂直正对石英舟的上表面，所述光源发出的光线垂直照射在石英舟上表面
。
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种用于石英舟顶齿碎片检测的装置，其特征在于，包括面阵相机
(1)
和光源
(2)
，所述面阵相机
(1)
和光源
(2)
均设置在安装板
(3)
上，所述面阵相机
(1)
的镜头垂直正对石英舟的上表面，所述光源
(2)
发出的光线垂直照射在石英舟上表面
。2.
根据权利要求1所述的一种用于石英舟顶齿碎片检测的装置，其特征在于，所述安装板
(3)
上设有竖板
(6)
，所述竖板
(6)
沿上下方向滑动连接滑动架
(7)
，所述面阵相机
(1)
固定安装在滑动架
(7)
上，所述滑动架
(7)
上螺纹连接螺杆
(8)
，所述螺杆
(8)
转动连接在竖板
(6)
上，螺杆
(8)
旋转，驱动滑动架
(7)
上下移动
。3.
根据权利要求1至2任一项所述的一种用于石英舟顶齿碎片检测的装置，其特征在于，所述光源
(2)
为面光源
。4.
根据权利要求1至2任一项所述的一种用于石英舟顶齿碎片检测的装置，其特征在于，所述光源为多个灯珠
(14)
，所述灯珠
(14)
分为数排，每排的灯珠
(10)
均固设在连接杆
(15)
上，所述连接杆
(15)
转动连接在安装板
(3)
上，每个连接杆
(15)
上均固接蜗轮
(16)
，所述蜗轮
(16)
上咬合蜗杆
(17)
，旋转蜗杆
(17)
，驱动连接杆
(15)
旋转
。5.
根据权利要求4所述的一种用于石英舟顶齿碎片检测的装置，其特征在于，所述蜗轮
(16)
和蜗杆
(17)
均位于固定壳
(18)
内，所述固定壳
(18)
固接在安装板
(3)
上
。6.
根据权利要求5所述的一种用于石英舟顶齿碎片检测的装置，其特征在于，每个蜗轮
(16)
均咬合蜗杆
(17)
，所述蜗杆
(17)
的数量与连接杆
(15)
相同，所述蜗杆
(17)
套接在旋转杆
(19)
上，所述蜗杆
(17)
和旋转杆
(19)
均转动连接在固定壳
(18)
内，所述蜗杆
(17)
外套接圆环
(20)
，所述圆环
(20)
和蜗杆
(17)
之间设置弧形板
(21...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢宏威，尚小强，郭建，
申请(专利权)人：苏州威华智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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