一种可消除像差的电子束磁透镜制造技术

本发明专利技术涉及电子显微成像技术领域，具体涉及一种可消除像差的电子束磁透镜，包括可动光阑外壳和环形外壳，还包括安装组件；安装组件包括交叉滚子轴承

【技术实现步骤摘要】
一种可消除像差的电子束磁透镜


[0001]本专利技术涉及电子显微成像
，尤其涉及一种可消除像差的电子束磁透镜
。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜，是利用电子枪发射的电子束作为观测源，电子枪通常由阴极
、
聚束极和阳极组成，磁透镜能产生轴对称非匀强磁场，电子束通过磁透镜在样品表面聚焦成一点，显微镜的分辨率受聚焦束斑的半径大小影响
。
[0003]但是采用上述方式，在现有的电子束磁透镜进行消除球差以及适应多种样本的操作过程中，整体的实际使用效果并不理，使得在实际使用时会对最终的成像质量会产生影响
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种可消除像差的电子束磁透镜，能够通过设有的可动孔径光阑可调节电子束入射孔径半角，有利于消除球差和适应多种样本同时还能让电子束汇聚作用变强，提高分辨率，使得在实际使用时效果更好
。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了一种可消除像差的电子束磁透镜，包括可动光阑外壳和环形外壳，所述可动光阑外壳与所述环形外壳连接，还包括安装组件；
[0006]所述安装组件包括交叉滚子轴承
、
可动光阑螺旋伞齿件
、
螺旋伞齿件立柱
、
光阑本体
、
可动光阑外接构件
、
电磁聚焦构件和像散校正构件；所述交叉滚子轴承与所述可动光阑外壳固定连接，并位于所述可动光阑外壳的一侧，所述可动光阑螺旋伞齿件与所述交叉滚子轴承固定连接，并位于所述交叉滚子轴承的一侧，所述螺旋伞齿件立柱与所述可动光阑螺旋伞齿件固定连接，并位于所述可动光阑螺旋伞齿件的一侧，所述光阑本体与所述交叉滚子轴承转动连接，并位于所述交叉滚子轴承靠近所述螺旋伞齿件立柱的一侧，所述可动光阑外接构件与所述可动光阑外壳连接，所述电磁聚焦构件与所述环形外壳连接，所述像散校正构件位于所述环形外壳的一侧
。
[0007]其中，所述可动光阑外接构件包括螺旋伞齿轴
、
微调旋钮
、
连接部件和密封部件，所述螺旋伞齿轴通过所述连接部件与所述可动光阑外壳连接，并与所述可动光阑螺旋伞齿件啮合；所述微调旋钮与所述螺旋伞齿轴连接，并位于所述螺旋伞齿轴的一侧；所述连接部件与所述可动光阑外壳连接；所述密封部件与所述螺旋伞齿轴连接
。
[0008]其中，所述连接部件包括可动光阑外接法兰和挡边轴套，所述可动光阑外接法兰与所述螺旋伞齿轴转动连接，并安装在所述可动光阑外壳的一侧；所述挡边轴套与所述可动光阑外接法兰连接，并套设在所述螺旋伞齿轴上
。
[0009]其中，所述密封部件包括密封螺套
、
隔圈和
O
型橡胶圈，所述密封螺套与所述可动光阑外接法兰螺纹连接，并套设在所述螺旋伞齿轴上；所述隔圈与所述可动光阑外接法兰连接，并套设在所述螺旋伞齿轴上；所述
O
型橡胶圈与所述可动光阑外接法兰连接，并套设在所述螺旋伞齿轴上
。
[0010]其中，所述电磁聚焦构件包括磁路线圈外壳
、
磁路线圈上盖板
、
磁路线圈下盖板
、
极靴部件和套设部件，所述磁路线圈外壳与所述环形外壳连接，并位于所述环形外壳内；所述磁路线圈上盖板与所述磁路线圈外壳连接，并位于所述环形外壳内；所述磁路线圈下盖板与所述磁路线圈外壳连接，并位于所述环形外壳内；；所述极靴部件与所述磁路线圈上盖板连接；所述套设部件与所述磁路线圈外壳连接
。
[0011]其中，所述极靴部件包括上极靴和下极靴，所述上极靴与所述磁路线圈上盖板连接，并位于所述磁路线圈上盖板的一侧；所述下极靴与所述磁路线圈下盖板连接，并位于所述磁路线圈下盖板的一侧
。
[0012]其中，所述套设部件包括线圈框和线圈本体，所述线圈框与所述磁路线圈外壳连接，并位于所述磁路线圈外壳内；所述线圈本体与所述线圈框连接，并位于所述线圈框的一侧
。
[0013]其中，所述像散校正构件包括螺纹连接台
、
消像散组件框和绕线部件，所述螺纹连接台与所述磁路线圈下盖螺纹连接，并位于所述磁路线圈下盖板的一侧；所述消像散组件框与所述螺纹连接台固定连接，并位于所述螺纹连接台的一侧；所述绕线部件与所述消像散组件框连接
。
[0014]其中，所述绕线部件包括绕线柱和缠绕线圈，所述绕线部件与所述消像散组件框连接，并位于所述消像散组件框的一侧；所述消像散组件框与所述绕线柱连接，并套设在所述绕线柱上
。
[0015]本专利技术的一种可消除像差的电子束磁透镜，操作者可以直接转动所述微调旋钮，通过所述微调旋钮的转动将扭矩通过所述螺旋伞齿轴传递至所述可动光阑螺旋伞齿件，所述可动光阑螺旋伞齿件固定在所述交叉滚子轴承的外圈上，所述可动光阑螺旋伞齿件的端面有8个所述螺旋伞齿件立柱，由低摩擦系数的特氟龙材料制成，所述光阑本体上设计有对应的光阑槽口，8个所述光阑本体上的槽口和8个所述螺旋伞齿件立柱间隙配合，当所述可动光阑螺旋伞齿件发生顺时针转动时，8个所述螺旋伞齿件立柱在槽口上运动，推动8个所述光阑本体执行开启运动达到放大光阑孔径的目的，反之为缩小光阑孔径，通过滑槽运动的光阑孔径调节范围为2‑
20mm
，之后再通过设有的所述电磁聚焦构件和所述电磁聚焦构件使得磁透镜的磁场范围更为集中，使电子束汇聚作用变强，实现了能够通过设有的可动孔径光阑可调节电子束入射孔径半角，有利于消除球差和适应多种样本同时还能让电子束汇聚作用变强，提高分辨率，使得在实际使用时效果更好
。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍
。
[0017]图1是本专利技术第一实施例的可消除像差的电子束磁透镜整体的结构示意图
。
[0018]图2是本专利技术第一实施例的环形外壳的拆卸结构示意图
。
[0019]图3是本专利技术第一实施例的光阑本体的安装结构示意图
。
[0020]图4是本专利技术第一实施例的光阑本体完全打开的结构示意图
。
[0021]图5是本专利技术第一实施例的密封部件的结构示意图
。
[0022]图6是本专利技术第二实施例的可消除像差的电子束磁透镜整体的剖视图
。
[0023]图7是本专利技术第二实施例的磁路线圈外壳拆卸的结构示意图
。
[0024]图8是本专利技术第三实施例的消像散组件框的结构示意图
。
[0025]图9是本专利技术第三实施例的可消除像差的电子束磁透镜整体的剖视图
。
[0026]图中：
101
‑
可动光阑外壳
、102
‑
环形外壳
、103
‑
交叉滚子轴承
、104<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种可消除像差的电子束磁透镜，包括可动光阑外壳和环形外壳，所述可动光阑外壳与所述环形外壳连接，其特征在于，还包括安装组件；所述安装组件包括交叉滚子轴承
、
可动光阑螺旋伞齿件
、
螺旋伞齿件立柱
、
光阑本体
、
可动光阑外接构件
、
电磁聚焦构件和像散校正构件；所述交叉滚子轴承与所述可动光阑外壳固定连接，并位于所述可动光阑外壳的一侧，所述可动光阑螺旋伞齿件与所述交叉滚子轴承固定连接，并位于所述交叉滚子轴承的一侧，所述螺旋伞齿件立柱与所述可动光阑螺旋伞齿件固定连接，并位于所述可动光阑螺旋伞齿件的一侧，所述光阑本体与所述交叉滚子轴承转动连接，并位于所述交叉滚子轴承靠近所述螺旋伞齿件立柱的一侧，所述可动光阑外接构件与所述可动光阑外壳连接，所述电磁聚焦构件与所述环形外壳连接，所述像散校正构件位于所述环形外壳的一侧
。2.
如权利要求1所述的可消除像差的电子束磁透镜，其特征在于，所述可动光阑外接构件包括螺旋伞齿轴
、
微调旋钮
、
连接部件和密封部件，所述螺旋伞齿轴通过所述连接部件与所述可动光阑外壳连接，并与所述可动光阑螺旋伞齿件啮合；所述微调旋钮与所述螺旋伞齿轴连接，并位于所述螺旋伞齿轴的一侧；所述连接部件与所述可动光阑外壳连接；所述密封部件与所述螺旋伞齿轴连接
。3.
如权利要求2所述的可消除像差的电子束磁透镜，其特征在于，所述连接部件包括可动光阑外接法兰和挡边轴套，所述可动光阑外接法兰与所述螺旋伞齿轴转动连接，并安装在所述可动光阑外壳的一侧；所述挡边轴套与...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐亮，谢一源，徐晋勇，唐焱，高鹏，高波，王岩，莫荣，胡清钟，
申请(专利权)人：桂林智工科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：