微波提供装置、包括装置的系统和制造半导体设备的方法制造方法及图纸

本发明专利技术微波提供装置、包括微波提供装置的系统和制造半导体设备的方法。具体地，提供了一种系统，该系统包括：微波源，该微波源配置成生成微波；分支装置，该分支装置包括连接到微波源的输入端口；第一腔室和第二腔室，该第一腔室和第二腔室配置成通过使用微波来处理晶圆；第一过滤器，该第一过滤器配置成将微波传输到第一腔室或截止来自第一腔室的微波，并且连接到分支装置的第一输出端口；以及第二过滤器，该第二过滤器配置成将微波传输到第二腔室或截止来自第二腔室的微波，并且连接到分支装置的第二输出端口。置的第二输出端口。置的第二输出端口。

【技术实现步骤摘要】
微波提供装置、包括装置的系统和制造半导体设备的方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请基于并根据35U.S.C.
§
119要求2022年6月14日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10
‑
2022
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0072339号的优先权，该韩国专利申请的公开内容通过引用整体并入本文。


[0003]本公开涉及微波提供装置、包括该微波提供装置的系统以及制造半导体器件的方法。

技术介绍

[0004]半导体器件制造工艺在高度受控的参数(例如，温度、气体压力和气氛)下执行。因此，在其中执行半导体设备制造工艺的工艺腔室包括用于调节参数的各种元件。
[0005]包括晶圆的温度、支承晶圆的卡盘的温度、嵌入在腔室中的加热器的温度等的工艺温度是参数的代表性实施例，并且是工艺产率的核心元素。
[0006]从腔室外部引入的微波可以作为精确控制晶圆温度的热源。

技术实现思路

[0007]提供了一种具有紧凑结构的微波提供装置、包括该微波提供装置的系统以及制造半导体器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种系统，所述系统包括：微波源，所述微波源配置为产生微波；分支装置，所述分支装置包括连接到所述微波源的输入端口；第一腔室和第二腔室，所述第一腔室和所述第二腔室配置为通过使用所述微波处理晶圆；第一滤波器，所述第一滤波器配置为将所述微波传输至所述第一腔室或截止来自所述第一腔室的所述微波，并且所述第一滤波器连接至所述分支装置的第一输出端口；第二滤波器，所述第二滤波器配置为将所述微波传输到所述第二腔室或截止来自所述第二腔室的所述微波，并且所述第二滤波器连接到所述分支装置的第二输出端口。2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一腔室和所述第二腔室中的每一者配置为执行热原子层蚀刻。3.根据权利要求1所述的系统，其中，在所述第一腔室使用所述微波执行处理的情况下所述第二腔室配置为执行无微波处理，并且在所述第二腔室使用所述微波执行处理的情况下所述第一腔室配置为执行无微波处理。4.根据权利要求1所述的系统，所述系统还包括控制器，所述控制器配置为控制所述第一滤波器和所述第二滤波器，其中，所述控制器配置为控制所述第一滤波器以允许所述微波穿过所述第一滤波器、并且控制所述第二滤波器以截止所述微波，或者所述控制器配置为控制所述第一滤波器以截止所述微波、并且控制所述第二滤波器以允许所述微波通过所述第二滤波器。5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者包括可变低通滤波器、可变高通滤波器、可变带通滤波器和可变带阻滤波器中的任一者。6.根据权利要求5所述的系统，其中，所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者包括可变低通滤波器，当所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者处于通过状态时，所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者的截止频率大于所述微波的频率，并且当所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者处于截止状态时，所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者的截止频率小于所述微波的频率。7.根据权利要求5所述的系统，其中，所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者包括可变高通滤波器，当所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者处于通过状态时，所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者的截止频率小于所述微波的频率，并且当所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者处于截止状态时，所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者的截止频率大于所述微波的频率。8.根据权利要求5所述的系统，其中，所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者包括可变带通滤波器，其中，所述可变带通滤波器具有第一截止频率和比所述第一截止频率大的第二截止频率、并且允许在所述第一截止频率与所述第二截止频率之间的通带中的信号通过所述可变带通滤波器，当所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者处于通过状态时，所述微波的频率大于所述第一截止频率并且小于所述第二截止频率，并且当所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者处于截止状态时，所述微波的频率小于所述第一截止频率或大于所述第二截止频率。9.根据权利要求5所述的系统，其中，所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者包
括可变带阻滤波器，其中，所述可变带阻滤波器具有第一截止频率和比所述第一截止频率大的第二截止频率、并且截止在所述第一截止频率与所述第二截止频率之间的阻带中的信号，并且当所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者处于通过状态时，所述微波的频率小于所述第一截止频率或大于所述第二截止频率，并且当所述第一滤波器和所述第二滤波器中的每一者处于截止状态时，所述微波的频率大于所述第一截止频率并且小于所述第二截止频率。10.一种微波提供装置，所述微波提供装置包括：微波源，所述微波源配置为产生微波；第一分支装置，所述第一分支装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔伦硕，姜汉林，曹玹玗，李相政，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：