一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统和方法技术方案

本申请涉及激光退火领域，具体而言，涉及一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统和方法，其中激光退火系统包括工艺台

【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统和方法


[0001]本申请涉及激光退火领域，具体而言，涉及一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统和方法
。

技术介绍

[0002]现有技术的激光退火过程中，碳化硅晶圆一般存在用于寻边的缺口，若该缺口的方向与预设方向不一致且按照预设扫描路径对该碳化硅晶圆进行退火，则可能出现碳化硅晶圆上的部分区域无法被扫描到和激光扫描路径超出碳化硅晶圆边界导致激光照射到承载碳化硅晶圆的工艺台上的问题
。
[0003]因此，现有技术有待改进和发展
。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统和方法，旨在解决存在缺口的碳化硅晶圆的方向与预设方向不一致，导致碳化硅晶圆上部分区域无法被扫描到和激光扫描路径超出碳化硅晶圆边界使得激光照射到工艺台上的问题
。
[0005]第一方面，本申请提供了一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统，包括：工艺台，包括用于承托碳化硅晶圆的承载板及用于驱动承载板转动的驱动轴；激光源，安装在工艺台上方，用于对承载板上的碳化硅晶圆进行加热；识别机构，用于识别承载板上的碳化硅晶圆的方向信息；第一驱动机构，用于驱动工艺台水平位移；控制器，用于控制激光源和第一驱动机构配合运行以对该碳化硅晶圆进行激光退火处理；控制器还用于在对碳化硅晶圆进行激光退火处理前，获取方向信息，并根据方向信息和预设方向信息控制驱动轴转动承载板以使该碳化硅晶圆的方向与预设方向一致
。
[0006]本申请提供的用于碳化硅晶圆的激光退火系统，在获取待退火的碳化硅晶圆的方向信息后，根据方向信息和预设方向信息控制驱动轴转动承载板以使该碳化硅晶圆的方向与预设方向一致，并对该碳化硅晶圆进行激光退火，能使扫描效果与对预设扫描路径对应的碳化硅晶圆进行激光退火所能达到的扫描效果相同，在预设扫描路径完全覆盖其对应的碳化硅晶圆表面且不超出此碳化硅晶圆的边界的情况下，本申请能使扫描路径完全覆盖待退火的碳化硅晶圆表面且不超出该碳化硅晶圆的边界
。
[0007]可选地，方向信息包括缺口位置信息；预设方向信息包括预设缺口位置信息；获取方向信息，并根据方向信息和方向信息控制驱动轴转动承载板以使该碳化硅晶圆的方向与预设方向一致的过程包括：根据方向信息获取缺口位置信息并根据预设方向信息获取预设缺口位置信息，并根据缺口位置信息和预设缺口位置信息控制驱动轴转动承载板以使该碳化硅晶圆的缺口
位置和预设缺口位置一致
。
[0008]可选地，控制驱动轴转动承载板的过程包括：根据缺口位置信息和预设缺口位置信息获取偏差角信息；根据偏差角信息控制驱动轴转动承载板
。
[0009]可选地，获取偏差角信息包括：根据缺口位置信息和预设缺口位置信息获取对称轴信息和预设对称轴信息；根据对称轴信息和预设对称轴信息获取偏差角信息
。
[0010]在该实施方式中，本申请的用于碳化硅晶圆的激光退火系统根据缺口位置信息和预设缺口位置信息获取对称轴信息和预设对称轴信息，根据对称轴信息和预设对称轴信息获取偏差角信息，能在预设扫描路径对应的碳化硅晶圆的缺口大小与待退火的碳化硅晶圆的缺口大小不同的情况下，对待退火的碳化硅晶圆的方向进行精确调整，使碳化硅晶圆的方向与预设方向一致性更高，从而能使扫描效果与对预设扫描路径对应的碳化硅晶圆进行激光退火所能达到的扫描效果一致性更高
。
[0011]可选地，工艺台还包括：顶升机构，安装在承载板下方，用于升降以带动承载板上的碳化硅晶圆升降；控制器还用于在工艺台接收碳化硅晶圆时，控制顶升机构顶升以承托碳化硅晶圆，然后控制顶升机构下降以使承载板承托碳化硅晶圆
。
[0012]在该实施方式中，本申请的用于碳化硅晶圆的激光退火系统设置用于升降以带动承载板上的碳化硅晶圆升降的顶升机构，能使碳化硅晶圆在被承载板承托和被顶升机构承托之间转换，便于在激光退火过程前后取放碳化硅晶圆
。
[0013]可选地，顶升机构包括：多个顶针，设置在承载板侧方；固定板，设置在驱动轴上方，与驱动轴和承载板固定连接；升降机构，承载板和固定板之间具有间隙，升降机构设置在间隙中，用于驱动顶针升降
。
[0014]可选地，升降机构包括：支撑盘，设置在承载板下方，顶针竖直固定在支撑盘顶面；连杆，设置在支撑盘下方，其一端与支撑盘转动连接；直线驱动模组，固定安装在固定板上，其滑块与连杆另一端转动连接；导杆，与支撑盘升降滑动连接，承载板通过导杆固定设置在固定板上方
。
[0015]在该实施方式中，本申请的用于碳化硅晶圆的激光退火系统设置包括支撑盘
、
连杆
、
滑块
、
直线驱动模组和导杆的升降机构，能通过连杆将滑块的水平位移转换为支撑盘的竖直位移，从而能实现碳化硅晶圆在被承载板承托和被顶升机构承托之间转换，便于在激光退火过程前后取放碳化硅晶圆
。
[0016]可选地，用于碳化硅晶圆的激光退火系统还包括：第二驱动机构，驱动轴与第二驱动机构连接，第二驱动机构用于驱动驱动轴升降；扫描装置，用于在对碳化硅晶圆进行激光退火处理前，扫描该碳化硅晶圆的厚度信息；控制器还用于在对碳化硅晶圆进行激光退火处理前，获取厚度信息，根据厚度信
息控制第二驱动机构驱动驱动轴升降以带动承载板升降以进行高度补偿调节
。
[0017]在该实施方式中，本申请的用于碳化硅晶圆的激光退火系统设置用于驱动驱动轴升降的第二驱动机构和用于扫描该碳化硅晶圆的厚度信息的扫描装置，能对待退火的碳化硅晶圆进行高度补偿调节以使其表面的退火效果与预设退火效果相同且达到所需标准
。
[0018]可选地，根据厚度信息控制第二驱动机构驱动驱动轴升降以带动承载板升降以进行高度补偿调节的过程包括：根据厚度信息和标准厚度信息控制驱动轴驱动承载板升降以进行高度补偿调节
。
[0019]第二方面，本申请还提供了一种激光退火方法，应用在用于碳化硅晶圆的激光退火系统中，用于碳化硅晶圆的激光退火系统包括
:
工艺台，包括用于承托碳化硅晶圆的承载板及用于转动承载板的驱动轴；激光源，安装在工艺台上方，用于对承载板上的碳化硅晶圆进行加热；识别机构，用于识别承载板上的碳化硅晶圆的方向信息；第一驱动机构，用于驱动工艺台水平位移；控制器，用于控制激光源和第一驱动机构配合运行以对该碳化硅晶圆进行激光退火处理；激光退火方法包括以下步骤：
S1. 在对碳化硅晶圆进行激光退火处理前，获取方向信息，并根据方向信息和预设方向信息控制驱动轴转动承载板以使该碳化硅晶圆的方向与预设方向一致；
S2.
控制激光源和第一驱动机构配合运行以对该碳化硅晶圆进行激光退火处理
。
[0020]本申请提供的激光退火方法，在获取待退火的碳化硅晶圆的方向信息后，根据方向信息和预设方向信息控制驱动轴转动承载板以使该碳化硅晶圆的方向与预设方向一致，并对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统，其特征在于，包括：工艺台（
100
），包括用于承托所述碳化硅晶圆的承载板（
110
）及用于驱动所述承载板（
110
）转动的驱动轴（
120
）；激光源（
200
），安装在所述工艺台（
100
）上方，用于对所述承载板（
110
）上的碳化硅晶圆进行加热；识别机构（
300
），用于识别所述承载板（
110
）上的碳化硅晶圆的方向信息；第一驱动机构（
500
），用于驱动所述工艺台（
100
）水平位移；控制器，用于控制所述激光源（
200
）和所述第一驱动机构（
500
）配合运行以对该碳化硅晶圆进行激光退火处理；所述控制器还用于在对所述碳化硅晶圆进行激光退火处理前，获取所述方向信息，并根据所述方向信息和预设方向信息控制所述驱动轴（
120
）转动所述承载板（
110
）以使该碳化硅晶圆的方向与预设方向一致
。2.
根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统，其特征在于，所述方向信息包括缺口位置信息；所述预设方向信息包括预设缺口位置信息；所述获取所述方向信息，并根据所述方向信息和预设方向信息控制所述驱动轴（
120
）转动所述承载板（
110
）以使该碳化硅晶圆的方向与预设方向一致的过程包括：根据所述方向信息获取所述缺口位置信息并根据所述预设方向信息获取所述预设缺口位置信息，并根据所述缺口位置信息和所述预设缺口位置信息控制所述驱动轴（
120
）转动所述承载板（
110
）以使该碳化硅晶圆的缺口位置和预设缺口位置一致
。3.
根据权利要求2所述的一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统，其特征在于，所述控制所述驱动轴（
120
）转动所述承载板（
110
）的过程包括：根据所述缺口位置信息和所述预设缺口位置信息获取偏差角信息；根据所述偏差角信息控制所述驱动轴（
120
）转动所述承载板（
110
）
。4.
根据权利要求3所述的一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统，其特征在于，所述获取偏差角信息的过程包括：根据所述缺口位置信息和所述预设缺口位置信息获取对称轴信息和预设对称轴信息；根据所述对称轴信息和所述预设对称轴信息获取所述偏差角信息
。5.
根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统，其特征在于，所述工艺台（
100
）还包括：顶升机构（
400
），安装在所述承载板（
110
）下方，用于升降以带动所述承载板（
110
）上的碳化硅晶圆升降；所述控制器还用于在所述工艺台（
100
）接收碳化硅晶圆时，控制所述顶升机构（
400
）顶升以承托所述碳化硅晶圆，然后控制所述顶升机构（
400
）下降以使所述承载板（
110
）承托所述碳化硅晶圆
。6.
根据权利要求5所述的一种用于碳化硅晶圆的激光退火系统，其特征在于，所述顶升机构（
400
）包括：多个顶针（
410
），设置在所述承载板（
110
）侧方；固定板（
430
），设置在所述驱动轴（
120
）上方，与所述驱动轴（
120
）和所述承载板（
110
）
固定连接；升降机构（
420
），所述承载板（
110
）和所述固定板（
430
）之间具...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴国发，戴科峰，程远贵，
申请(专利权)人：季华恒一佛山半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：