一种悬臂式玻璃传感器及其制造方法技术

本发明专利技术属于探针制造及传感器技术领域，具体说是一种悬臂式玻璃传感器及其制造方法，包括：悬臂式玻璃探针以及固设于悬臂式玻璃探针上的反射件；其中，悬臂式玻璃探针，包括：一体结构且顺次连接的探测部

【技术实现步骤摘要】
一种悬臂式玻璃传感器及其制造方法


[0001]本专利技术属于探针制造及传感器
，具体说是一种悬臂式玻璃传感器及其制造方法
。

技术介绍

[0002]一种依赖于压痕测量的高分辨率生物测量方法，例如原子力显微镜
(AFM)
和扫描探针显微镜
(SPM)
等方法
。
这些方法是生物力学研究中最流行的工具
。AFM
允许通过光学杠杆原理测量
pN
级力
。
通过激光照射在光滑的反射面上，当悬臂梁发生弯曲时，悬臂梁的弯曲角度被光学杠杆放大，从而在位置敏感检测器
(PSD)
上产生位移
。
在这种情况下，悬臂必须足够短，以获得足够的偏转角，从而能够保持高的灵敏度
。
由于末端执行器的尺寸限制，
AFM
系统在处理大的起伏生物组织的表面时面临着极大的困难
。
另一个致命的缺陷在于
AFM
探针设计制造需要复杂的光刻工艺，成本相当高/>。
尽管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种悬臂式玻璃传感器，其特征在于，包括：悬臂式玻璃探针以及固设于悬臂式玻璃探针上的反射件；其中，所述悬臂式玻璃探针，包括：一体结构且顺次连接的探测部
(10)、
弯曲部
(20)、
悬臂梁
(30)
以及固定部
(40)
；所述悬臂梁
(30)
一端与弯曲部
(20)
连接，另一端固设于固定部
(40)
上；所述固定部
(40)
安装在外部可移动或固定的机械结构上；所述反射件
(50)
与探测部分别位于悬臂梁两侧，所述反射件用于向背离探测部的方向反射光束；所述探测部
(10)
朝下设置，且与细胞样本接触并以微米级的速度相对运动过程中，探测部
(10)
带动弯曲部
(20)
和悬臂梁
(30)
变形
。2.
根据权利要求1所述的一种悬臂式玻璃传感器，其特征在于，所述探测部
(10)
用于吸附功能性微纳结构；其中，功能性微纳结构包括磁性微纳结构
、
介电性微纳结构
、
亲疏水性微纳结构以及黏附性微纳结构中至少一种
。3.
根据权利要求1所述的一种悬臂式玻璃传感器，其特征在于，所述探测部
(10)
从探测端到其根部的末端直径逐渐变大，且探测部
(10)
的根部的末端与弯曲部连接；所述探测部
(10)
的探测端为半球状
、
筒状或锥形状；所述探测部的长度为：
1um
～
1mm
，探测部的直径为：
10nm
～
100
μ
m。4.
根据权利要求1所述的一种悬臂式玻璃传感器，其特征在于，所述一体结构的探测部
(10)、
弯曲部
(20)
和悬臂梁
(30)
形成的悬臂式玻璃探针的弹性系数为：
10
‑6N/m
～
102N/m
；悬臂式玻璃探针的横截面为圆环形或多边环形；悬臂式玻璃探针为单管结构或多根并行管结构；悬臂式玻璃探针为中空结构，且所述探测部
(10)
的探测端开设有开口，开口直径为：
1nm
～
100um
；所述悬臂式玻璃探针的内径范围不超过
2mm。5.
根据权利要求1所述的一种悬臂式玻璃传感器，其特征在于，所述弯曲部的圆心角不大于
90
°
。6.
根据权利要求1所述的一种悬臂式玻璃传感器，其特征在于，与弯曲部连接的所述悬臂梁一端至另一端外径逐渐增大；所述悬臂梁的长度为：
10
...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘连庆，石慧瑶，施佳林，于鹏，杨铁，杨洋，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳自动化研究所，
类型：发明
国别省市：