一种半导体制程排气自动控制系统技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体制程排气技术领域，提出了一种半导体制程排气自动控制系统，包括机台，所述机台的一侧固定连接有第一排气管

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制程排气自动控制系统


[0001]本技术涉及半导体制程排气
，具体的，涉及一种半导体制程排气自动控制系统
。

技术介绍

[0002]半导体制程排气自动控制系统主要适用于对半导体制程进行排气，目前的半导体制程排气自动控制系统主要包括了机台
、
过滤箱以及第二电机，其次还包括了第二转动杆
、
滤板以及清洁毛刷，具体过程是机台通过第一排气管进行排气，第二电机进行运转，连接在第二电机顶端的第二转动杆随着第二电机的运转带动滤板进行转动，滤板对排气时产生的粉尘进行吸附，等序排列在储水块上的清洁毛刷对滤板上的粉尘进行刮落，第一电机进行运转，连接在第一电机底端的第一转动杆随着第一电机的运转带动扇叶进行转动，对滤板上残留的粉尘进行吹落，粉尘掉落在集尘箱中进行收集
。
[0003]如公开号为
CN211914922U
公开了一种半导体制程车间排气系统，包括机台，所述机台通过排气管道和主排气管道连接，所述排气管道固定连接有过滤装置，所述过滤装置包括电机
、
过滤机构和清扫机构，所述电机的输出轴和过滤机构固定连接，所述过滤机构通过传动件和清扫机构啮合连接，所述过滤装置设有收集室
。
本技术结构简单，操作方便，设计科学合理，通过对机台和主排气管道之间的排气管道设置专用的过滤装置，有效避免机台工作过程中产生的粉尘遍布整个排气系统，降低工作人员对排气系统清理的难度，减少排气管道出现堵塞的情况，提高设备持续工作的能力，提高半导体制程的工作效率，增加经济效益
。
[0004]然而上述的案件无法对无法对飞溅的粉尘进行收集清理，当机台通过第一排气管进行排气时，第二电机带动第二转动杆进行转动，固定在第二转动杆外壁的滤板随着第二转动杆的转动对第一排气管内的粉尘进行吸附，由于滤板上粘附的粉尘较多，使得扇叶和清洁毛刷对滤板上的粉尘进行清理时粉尘会四处飞溅，从而导致粉尘无法全面的掉落到集尘箱中，且较多的粉尘掉落在第一电机和第二电机上，降低了第一电机和第二电机的散热效果
。

技术实现思路

[0005]本技术提出一种半导体制程排气自动控制系统，解决了相关技术中无法对飞溅的粉尘进行收集清理的问题
。
[0006]本技术的技术方案如下：一种半导体制程排气自动控制系统，包括机台，所述机台的一侧固定连接有第一排气管，所述第一排气管的外壁固定连接有过滤箱，所述过滤箱远离第一排气管一侧的外壁螺栓连接有水泵，所述过滤箱靠近水泵一侧的内部设置有储水块，所述储水块的顶端等序排列有喷头，所述喷头的顶端开设有出水口，所述喷头顶端的中部固定连接有清洁毛刷，所述过滤箱靠近第一排气管一侧的内部两端设置有擦拭板
。
[0007]进一步的，所述第一排气管的顶端固定连接有第二排气管，所述水泵远离过滤箱
的一侧设置有进水管
。
[0008]进一步的，所述水泵远离进水管的一侧固定连接有输水管，且输水管贯穿过滤箱靠近水泵的一侧，输水管远离水泵的一侧与储水块固定连接
。
[0009]进一步的，所述过滤箱靠近水泵一侧的底端活动连接有挡板，所述挡板远离过滤箱一侧的中部螺栓连接有握把
。
[0010]进一步的，所述过滤箱靠近擦拭板一侧的底端螺栓连接有第二电机，所述第二电机的顶端活动连接有第二转动杆
。
[0011]进一步的，所述第二转动杆外壁的顶端螺栓连接有滤板
。
[0012]进一步的，所述过滤箱内部的顶端螺栓连接有支撑板，且支撑板的底端与第二转动杆的顶端活动连接
。
[0013]进一步的，所述过滤箱远离第二电机一侧的顶端螺栓连接有第一电机，所述第一电机的底端活动连接有第一转动杆，且第一转动杆贯穿支撑板
。
[0014]进一步的，所述第一转动杆的底端螺栓连接有扇叶
。
[0015]进一步的，所述过滤箱靠近储水块一侧的内部底端设置有集尘箱
。
[0016]本技术的工作原理及有益效果为：
[0017]1、
本技术中通过设有水泵
、
喷头以及擦拭板，当滤板对第一排气管内的粉尘进行吸附时，将进水管与储水箱进行连接，水泵进行运转，连接在水泵一侧的进水管随着水泵的运转将水流通过输水管输送至储水块中，等序排列在储水块顶端的喷头将储水块中的水流进行抽出，抽出的水流通过出水口喷洒出细密的水雾，清洁毛刷是湿润的灰尘进行刮除，连接在储水块内部两端的擦拭板对滤板上的水雾进行擦拭，防止扇叶和清洁毛刷对滤板上的粉尘进行清理时粉尘会四处飞溅，对第二电机和第一电机进行保护
。
附图说明
[0018]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明
。
[0019]图1为本技术提出的整体结构示意图；
[0020]图2为本技术提出的过滤箱结构剖面示意图；
[0021]图3为本技术提出的水泵结构示意图；
[0022]图4为本技术提出的清洁毛刷结构示意图；
[0023]图中：
1、
机台；
2、
第一排气管；
3、
第二排气管；
4、
过滤箱；
41、
挡板；
42、
握把；
43、
擦拭板；
44、
支撑板；
45、
集尘箱；
46、
第一电机；
47、
第一转动杆；
48、
扇叶；
5、
水泵；
51、
进水管；
52、
输水管；
6、
第二电机；
61、
第二转动杆；
7、
滤板；
8、
储水块；
81、
喷头；
82、
出水口；
83、
清洁毛刷
。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本技术保护的范围
。
[0025]请参阅图1‑4，本技术提供一种技术方案：一种半导体制程排气自动控制系
统，包括机台1，机台1的一侧固定连接有第一排气管2，第一排气管2的外壁固定连接有过滤箱4，过滤箱4远离第一排气管2一侧的外壁螺栓连接有水泵5，过滤箱4靠近水泵5一侧的内部设置有储水块8，储水块8的顶端等序排列有喷头
81
，喷头
81
的顶端开设有出水口
82
，喷头
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体制程排气自动控制系统，其特征在于，包括机台
(1)
，所述机台
(1)
的一侧固定连接有第一排气管
(2)
，所述第一排气管
(2)
的外壁固定连接有过滤箱
(4)
，所述过滤箱
(4)
远离第一排气管
(2)
一侧的外壁螺栓连接有水泵
(5)
，所述过滤箱
(4)
靠近水泵
(5)
一侧的内部设置有储水块
(8)
，所述储水块
(8)
的顶端等序排列有喷头
(81)
，所述喷头
(81)
的顶端开设有出水口
(82)
，所述喷头
(81)
顶端的中部固定连接有清洁毛刷
(83)
，所述过滤箱
(4)
靠近第一排气管
(2)
一侧的内部两端设置有擦拭板
(43)。2.
根据权利要求1所述的一种半导体制程排气自动控制系统，其特征在于，所述第一排气管
(2)
的顶端固定连接有第二排气管
(3)
，所述水泵
(5)
远离过滤箱
(4)
的一侧设置有进水管
(51)。3.
根据权利要求1所述的一种半导体制程排气自动控制系统，其特征在于，所述水泵
(5)
远离进水管
(51)
的一侧固定连接有输水管
(52)
，且输水管
(52)
贯穿过滤箱
(4)
靠近水泵
(5)
的一侧，输水管
(52)
远离水泵
(5)
的一侧与储水块
(8)
固定连接
。4.
根据权利要求1所述的一种半导体制程排气自动控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢新，方杰敏，彭文峰，伍华丽，周畑，
申请(专利权)人：武汉蓝海智控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：