一种冷喷涂用氦气循环系统技术方案

技术编号:39787233 阅读:15 留言:0更新日期:2023-12-22 02:26
本发明专利技术公开了一种冷喷涂用氦气循环系统,属于气体加工技术领域,其技术方案要点是:包括密封加工腔

【技术实现步骤摘要】
一种冷喷涂用氦气循环系统


[0001]本专利技术涉及气体加工
,尤其涉及一种冷喷涂用氦气循环系统


技术介绍

[0002]冷喷涂技术,高压工作气体通过拉瓦尔喷管加速至超音速,带动金属

陶瓷粉末以极高的速度冲击基材,当粉末速度超过临界速度时,粉末对基材的冲蚀作用消失,转而沉积在基材表面

其中,高压工作气体一般为氦气

氮气

空气中的一种或多种,对于不同气体,比热容越大,相对分子质量越小,可以使气流加速更加显著,因此,使用氦气时的加速效果相较于使用氮气或空气时的加速效果具有更大的优势,氦气能将大部分材料颗粒加速到临界速度,并实现有效沉积

[0003]但是,氦气作为一种不可再生的稀有气体,在半导体

航空航天

石油化工等领域都具有无可替代的作用,同时,我国氦气资源量非常少

开采提取成本高,也就提高了氦气的使用成本,因此,氦气回收对于冷喷涂等工业
具有重要意
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种冷喷涂用氦气循环系统,其特征是,包括:密封加工腔
(1)
,所述密封加工腔
(1)
中设有冷喷涂系统
(11)
;气流调节系统
(2)
,所述气流调节系统
(2)
包括电磁阀
(21)、
真空泵
(22)
和控制器
(23)
;所述电磁阀
(21)
和真空泵
(22)
分别与所述控制器
(23)
相连,且所述电磁阀
(21)
和真空泵
(22)
分别与所述密封加工腔
(1)
连通;过滤系统
(3)
,所述过滤系统
(3)
包括依次设置的粉末过滤器
(31)、
吸附装置
(32)
和膜分离装置
(33)
;所述粉末过滤器
(31)
包括主体部
(311)、
与主体部
(311)
相连的进口端
(312)、
与主体部
(311)
相连的出口端
(313)
;所述主体部
(311)
由顶部至底部依次设有筒部
(3111)、
斗部
(3112)、
颈部
(3113)
和收集部
(3114)
,所述筒部
(3111)、
斗部
(3112)、
颈部
(3113)
和收集部
(3114)
相互连通;回收系统
(4)
,所述回收系统
(4)
包括依次设置的氦气缓存区
(41)、
高压储气罐
(42)、
增压泵,所述高压储气罐
(42)
和冷喷涂系统
(11)
相连通;其中,所述密封加工腔
(1)、
气流调节系统
(2)、
过滤系统
(3)
和回收系统
(4)
依次相连;所述气流调节系统
(2)
和粉末过滤器
(31)
之间

所述粉末过滤器
(31)
和吸附装置
(32)
之间

所述吸附装置
(32)
和膜分离装置
(33)
之间

所述膜分离装置
(33)
和氦气缓存区
(41)
之间

所述氦气缓存区
(41)
和高压储气罐
(42)
之间均设有单向阀
(5)
,5个所述单向阀
(5)
均与控制器
(23)
相连
。2.
根据权利要求1所述的一种冷喷涂用氦气循环系统,其特征是:所述密封加工腔
(1)
的外围设有冷却系统,且所述密封加工腔
(1)
内还设有气压传感器,所述气压传感器与所述控制器
(23)
相连
。3.
根据权利要求2所述的一种冷喷涂用氦气循环系统,其特征是,所述吸附装置
(32)
包括:第一级吸附塔,所述第一级吸附塔中填充有吸附剂一;第二级吸附塔;所述第二级吸附塔中填充有吸附剂二;其中,所述一级吸附塔和第二级吸附塔依次设置
。4.
根据权利要求3所述的一种冷喷涂用氦气循环系统,其特征是:所述膜分离装置
(33)
包括依次设置的第一级膜分离器<...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙文马文花兰海明黄仁忠张科杰李星彤
申请(专利权)人:广东省科学院工业分析检测中心
类型:发明
国别省市:

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