一种用于晶体生长炉的气体检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶体生长炉的气体检测设备，涉及晶体生长炉技术领域，包括连接管，所述连接管的顶端固定连接有接头，且接头的外壁开设有螺纹，所述连接管的内部设置有气体检测机构，所述连接管的内部设置有连接机构，且连接机构位于气体检测机构的正下方

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶体生长炉的气体检测设备


[0001]本技术涉及晶体生长炉
，具体是一种用于晶体生长炉的气体检测设备
。

技术介绍

[0002]晶体生长炉是一种用于电子与通信
的工艺试验仪器，适合制备氧化物，光子晶体金属，合金，化合物与各种单晶样品，可调节生长过程中的气氛
。
[0003]现有技术中，需要通过气体检测设备对晶体生长炉内部气体进行监测，但现有的用于晶体生长炉的气体检测设备需要将炉内气体抽出再通过检测仪进行检查，从而影响炉体整体的密封性，和对晶体生长炉内部持续长时间的检测效果不够理想，为此，我们提供了一种用于晶体生长炉的气体检测设备解决以上问题
。
[0004]所以现有技术问题在于；检测时影响晶体生长炉的密封性和长时间检测效果不理想
。

技术实现思路

[0005]解决的技术问题
[0006]本技术解决了现有的气体检测设备对晶体生长炉的气体检测设备检测时影响晶体生长炉的密封性和长时间检测效果不理想，从而达到了实时检测的基础上保证了晶体生长炉的密封性
。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于晶体生长炉的气体检测设备，包括连接管
(1)
，其特征在于：所述连接管
(1)
的顶端固定连接有接头
(2)
，且接头
(2)
的外壁开设有螺纹，所述连接管
(1)
的内部设置有气体检测机构
(3)
，所述连接管
(1)
的内部设置有连接机构
(4)
，且连接机构
(4)
位于气体检测机构
(3)
的正下方，所述气体检测机构
(3)
包括气体检测器
(301)、
输送管
(302)、
导流罩
(303)、
送风扇
(304)、
警报器
(305)
和防回流罩
(306)
，所述导流罩
(303)
位于送风扇
(304)
的正上方，所述导流罩
(303)
的顶端与输送管
(302)
的底端固定连接，且输送管
(302)
的顶端固定连接于气体检测器
(301)
的外壁
。2.
根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉的气体检测设备，其特征在于：所述警报器
(305)
固定连接于气体检测器
(301)
的一侧，所述防回流罩
(306)
通过导管固定连接于气体检测器
(301)
的另一侧
。3.
根据权利要求2所述的一种用于晶体生长炉的气体检测设备，其特征在于：所述导流罩
(303)、
送风扇
(304)
和防回流罩
(306)
皆位于连接管
(1)
的内部，且导流罩
(303)
与防回流...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹国峰，李勇，任涛，
申请(专利权)人：宁夏晶创智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：