一种用于涂胶单元的排风组件和排风方法技术

本发明专利技术提供了一种用于涂胶单元的排风组件和排风方法

【技术实现步骤摘要】
一种用于涂胶单元的排风组件和排风方法


[0001]本专利技术涉及芯片加工
，具体而言，涉及一种用于涂胶单元的排风组件和排风方法
。

技术介绍

[0002]在半导体芯片生产过程中，光刻工艺是指在涂胶工件上，如半导体晶圆上依次经过光刻胶涂敷
、
曝光
、
显影等处理，将光刻掩膜板上设计好的图案转移到涂胶工件表面的膜层中的过程
。
通常使用机械手将晶圆传送到旋转吸盘上，涂胶机将光刻胶喷到晶圆表面，在旋转吸盘的带动下，晶圆旋转并使光刻胶均匀涂布于晶圆表面，形成光刻胶层
。
[0003]现有技术的涂胶单元中，晶圆上表面涂布光刻胶的工艺过程中增加有排风结构，但是排风结构通常为单风道结构，工艺单元的使用效率低；但是设置双联风道结构会因两个工艺单元与出风口的距离不同，而导致其各个的内部风压不同，进而影响排风的稳定性，从而会影响产品的良率
。
因此，在提高工艺单元使用效率的同时，如何提高双联风道结构排风的稳定性，是目前亟待解决的问题
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于涂胶单元的排风组件和排风方法，通过将至少两个抽风管道与排风管道连通，并且在抽风管道内设置自动风门，以此形成一种双联风道结构，能够调节排风组件的内部风压，进而保证提高双联风道结构排风的稳定性
。
[0005]本专利技术提供了一种用于涂胶单元的排风组件，排风组件包括：抽风组，抽风组设有至少两个抽风管道，抽风管道用于承载涂胶工件；排风组，排风组设有排风管道，抽风管道与排风管道的侧壁连接；其中，涂胶单元用于给涂胶工件进行涂胶，抽风组设有自动风门，自动风门用于调节抽风组的内部风压
。
[0006]本专利技术设计了一种双联风道结构的排风组件，排风组件是由抽风组和排风组构成；将涂胶组件放置在抽风组的抽风管道上，并且在涂胶组件的上方涂覆光刻胶，抽风管道在承载涂胶工件的同时还会吸附涂胶过程中产生的悬浮颗粒；进行抽风操作需要保证抽风组内的气压处于涂胶工艺要求的气压区间，将抽风管道与排风组的排风管道相连通，排风组能够为抽风组提供抽风所需要的压力；因此，在抽风组设有自动风门，自动风门的设计能够帮助调节抽风组的内部风压，保证了抽风操作和排风操作的稳定性
。
[0007]双联风道结构能够调节多个工艺单元的风压保持一致，排风组件的双联风道结构相比较于单风道结构，双联风道结构能够提高排风组件的抽风效果，实现了工艺单元的高效使用率，提高了设备的产量；针对多个工艺单元采取双旋转的方式提高抽风管道的使用效率
。
在实现基础工艺过程的同时，排风组件的双联风道结构不仅能够对已经涂布光刻胶的产品表面进行干燥，还可实现抽风组内悬浮颗粒的去除以及对抽风组的清洗
。
[0008]上述任一技术方案中，抽风组包括第一抽风管道和第二抽风管道，第一抽风管道设有双联风压平衡风门，第二抽风管道设有低压风门；排风组设有单元风压平衡风门
。
[0009]通过在抽风组中设置第一抽风管道和第二抽风管道，并且将第一抽风管道和第二抽风管道与排风组的排风管道相连接，以实现双联风道结构；在第一抽风管道的内部设置双联风压平衡风门，能够调节第一抽风管道和第二抽风管道的内部风压，以保证两者内部的风压保持一致；在第二抽风管道的内部设置低压风门，低压风门用于控制整个抽风组的低压值在正确范围内；单元风压平衡风门设置在排风管道的总排风口处，由于第一抽风管道和第二抽风管道所处的工艺单元的内部风压不同，单元风压平衡风门的设置能够实现两个工艺单元的内部风压一致，并且不会因为工艺过程中风门的开闭造成两个工艺单元相互干扰
。
[0010]上述任一技术方案中，排风管道的一端设有总排风口，总排风口与抽风组的内部连通，抽风组内设有风压检测装置
。
[0011]排风管道的一端设置有总排风口，抽风组的两个工艺单元与排风管道的侧壁连接，在此情况下，总排风口与两个工艺单元的内部连通，由此双联风道结构中设置的一个总抽风口将两个工艺单元的风抽出，以此实现抽风组和排风组的相互配合，控制整个排风组件的内部风压
。
将风压检测装置设置在抽风组的两个工艺单元内，能够实时监测两个工艺单元的内部风压，以此调整排风组件内的自动风门
、
双联风压平衡风门
、
单元风压平衡风门以及低压风门，进而控制排风组件各个位置的风压
。
[0012]上述任一技术方案中，抽风管道设有弧形结构的收集杯，收集杯的两端设有抽风口
。
[0013]通过在抽风管道上设置有收集杯，并且在收集杯上设置抽风口，在施加风压的作用下，以此能够抽吸收集操作时涂胶工件下方存在的悬浮颗粒，进而由双联风道结构排出排风组件的外部，避免了部分颗粒会再次飘至产品表面而影响产品的良率；每个工艺单元设置有一个收集杯，收集杯设置为弧形结构，以此使得收集杯的左右两侧均可设有抽风口，两个排风口在增加排风效率的同时，也可以形成对称结构，对称结构有利于风速的均匀性
。
[0014]上述任一技术方案中，收集杯上靠近抽风口的一端设有喷嘴
。
[0015]由于光刻胶挥发产生的悬浮颗粒带有一定粘度，所以排风组件的内壁经常附着微尘，若堆积过多则会导致排风效果降低，因此要定期对排风组件的内部进行清洗；通过在收集杯上靠近抽风口的一端设置喷嘴，在每次工艺过程中对排风组件进行冲洗，有效避免光刻胶悬浮颗粒堆积在排风组件中
。
[0016]上述任一技术方案中，收集杯内设有液位检测装置，收集杯的外壁上远离抽风口的一侧设有抽液装置
。
[0017]收集杯的内部设置有液位检测装置，能够保证及时监测到收集杯内清洗液的堆积高度，若清洗液未达到设定的高度范围，则继续进行涂胶操作，若清洗液堆积至一定的高度后，液位检测装置则发送抽液信号，以将收集杯内部较多的清洗液排出到排风组件外部，进而避免影响下一步的涂胶操作和产品的质量；通过在收集杯的外壁上设置有抽液装置，抽液装置位于收集杯的外壁底部，能够有效地将清洗液排净而不产生残留
。
[0018]本专利技术还提供了一种用于涂胶单元的排风方法，排风方法用于排风组件，排风方法包括以下步骤：
S1
：将涂胶工件放置在抽风管道上，打开抽风组的真空装置以吸附涂胶工件；
S2
：控制涂胶工件按第一速度旋转以进行涂胶；
S3
：控制涂胶工件按第二速度旋转以形成均匀的胶层；
S4
：停止转动涂胶工件，并关闭真空装置，完成涂胶；其中，抽风组连通于排
风组，调整自动风门的角度以保持抽风组的内部风压，第一速度低于第二速度
。
[0019]通过将涂胶工件放置在抽风管道上，并且打开抽风组的真空装置，以此将涂胶工件吸附于抽风管道上，避免涂胶操作过程中涂胶工件会发生掉落；控制涂胶工件旋转至第一速度，以此能够将光刻胶涂布至涂胶工件上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于涂胶单元的排风组件，其特征在于，所述排风组件包括：抽风组（
100
），所述抽风组（
100
）设有至少两个抽风管道（
110
），所述抽风管道（
110
）用于承载涂胶工件；排风组（
200
），所述排风组（
200
）设有排风管道（
210
），所述抽风管道（
110
）与所述排风管道（
210
）的侧壁连接；其中，所述涂胶单元用于给所述涂胶工件进行涂胶，所述抽风组（
100
）设有自动风门（
120
），所述自动风门（
120
）用于调节所述抽风组（
100
）的内部风压
。2.
根据权利要求1所述的排风组件，其特征在于，所述抽风组（
100
）包括第一抽风管道（
130
）和第二抽风管道（
140
），所述第一抽风管道（
130
）设有双联风压平衡风门（
131
），所述第二抽风管道（
140
）设有低压风门（
141
）；所述排风组（
200
）设有单元风压平衡风门（
220
）
。3.
根据权利要求1所述的排风组件，其特征在于，所述排风管道（
210
）的一端设有总排风口（
211
），所述总排风口（
211
）与所述抽风组（
100
）的内部连通，所述抽风组（
100
）内设有风压检测装置（
150
）
。4.
根据权利要求1所述的排风组件，其特征在于，所述抽风管道（
110
）设有弧形结构的收集杯（
111
），所述收集杯（
111
）的两端设有抽风口（
112
）
。5.
根据权利要求4所述的排风组...

【专利技术属性】
技术研发人员：王冲，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：