【技术实现步骤摘要】
一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构
[0001]本专利技术涉及传感器
,具体而言,涉及一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构
。
技术介绍
[0002]电容式加速度传感芯片是一种基于微纳制造工艺的加速度传感器,能够测量物体的加速度,并将其转化为电信号输出
。
电容式加速度传感芯片被广泛的应用在消费电子
、
汽车电子
、
工业
、
国防等领域
。
[0003]电容式加速度传感芯片的工作原理基于电容变化的检测
。
它通常由微机电系统芯片和信号处理电路组成
。
芯片中包含微小的机械结构,常见的电容式加速度传感芯片结构包括:微梳齿电容
、
微平板电容等
。
当受到加速度作用时,这些微结构会产生微小的位移,导致电极之间的电容发生变化
。
这个变化可以通过电路进行测量和处理,从而获得加速度的信息
。
[0004]在加速度传感芯片的梳齿电容结构中,梳齿间隙起到决定电容值的作用
。
梳齿结构由两组相互嵌套的电极组成,其中一组电极上有一系列的梳齿,而另一组电极上有相应数量的梳齿
。
梳齿间隙即为两组电极之间形成一系列平行的电容间隙
。
梳齿间隙的大小直接影响电容值的大小
。
较小的梳齿间隙会导致更大的电容值,从而在结构刚度不变的前提下,获得更高的结构灵敏度
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种加速度传感器敏感组件,其特征在于,包括:基板
(100)
;弹性梁
(110)
,安装于所述基板
(100)
且固接有框架
(120)
,所述框架
(120)
设有第一梳齿部
(130)
,所述第一梳齿部
(130)
包括多个间隔设置的第一子梳齿
(131)
,任意相邻的所述第一子梳齿
(131)
之间形成梳齿槽
(132)
;电热驱动梁
(140)
,安装于所述基板
(100)
且位于所述框架
(120)
内,所述电热驱动梁
(140)
固接有支架
(150)
,所述支架
(150)
设有第二梳齿部
(160)
,所述第二梳齿部
(160)
包括多个间隔设置的第二子梳齿
(161)
,所述第二子梳齿
(161)
分别位于所述梳齿槽
(132)
中
。2.
根据权利要求1所述的加速度传感器敏感组件,其特征在于,所述弹性梁
(110)
的数量为2个且相对设置,所述框架
(120)
的两端分别固接于2个所述弹性梁
(110)。3.
根据权利要求2所述的加速度传感器敏感组件,其特征在于,所述框架
(120)
为口字型结构或工字型结构,所述框架
(120)
包括第一连接板
(121)、
第二连接板
(122)
和固接于两者之间的支撑架
(123)
,其中一个所述弹性梁
(110)
固接于所述第一连接板
(121)
;
另一个所述弹性梁
(110)
固接于所述第二连接板
(122)
;多个所述第一子梳齿
(131)
固设于所述支撑架
(123)。4.
根据权利要求3所述的加速度传感器敏感组件,其特征在于,所述支撑架
(123)
固设有第一梳齿安装板
(124)
,多个所述第一子梳齿
(131)
固设于所述第一梳齿安装板
(124)。5.
根据权利要求1所述的加速度传感器敏感组件,其特征在于,所述电热驱动梁
...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭天放,乔昱阳,夏阳,韩盈舟,
申请(专利权)人:北京细胞膜科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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