版图质量检测工具的参数确定方法、装置、设备及介质制造方法及图纸

本申请公开了一种版图质量检测工具的参数确定方法、装置、设备及介质，属于计算机技术领域。方法包括：获取版图质量检测工具的目标参数的多个第一基准取值和多个第一候选取值；使用工具对原始版图进行质量检测得到各个第一基准取值对应的质量指标；如果存在第一基准取值对应的质量指标不满足参考条件，基于各个第一基准取值对应的质量指标，从多个第一候选取值中确定第一参考取值，基于多个第一基准取值和第一参考取值确定多个第二基准取值；使用工具对原始版图进行质量检测得到各个第二基准取值对应的质量指标；如果各个第二基准取值对应的质量指标满足参考条件，基于各个第二基准取值确定目标参数的目标取值，提高了工具的准确性。准确性。准确性。

【技术实现步骤摘要】
版图质量检测工具的参数确定方法、装置、设备及介质


[0001]本申请实施例涉及计算机
，特别涉及一种版图质量检测工具的参数确定方法、装置、设备及介质。

技术介绍

[0002]随着计算机技术的发展，集成电路技术也得到了发展，出现了越来越多的芯片版图、掩膜版图、晶圆版图等版图。由于版图容易出现良莠不齐的现象，因此，需要从多个候选版图中挑选出目标版图。
[0003]相关技术中，可以将多个候选版图输入版图质量检测工具，通过版图质量检测工具确定各个候选版图的质量指标。如果一个候选版图的质量指标高于指标阈值，则确定该候选版图为目标版图。由此可知，版图质量检测工具的准确性与目标版图的选择息息相关，而版图质量检测工具的参数决定了版图质量检测工具的准确性，因此，如何确定版图质量检测工具的参数成为一个亟需解决的问题。

技术实现思路

[0004]本申请提供了一种版图质量检测工具的参数确定方法、装置、设备及介质，可以确定版图质量检测工具的目标参数的取值，提高版图质量检测工具的准确性，所述技术方案包括如下内容。
[0005]一方面，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种版图质量检测工具的参数确定方法，其特征在于，所述方法包括：获取版图质量检测工具的目标参数的多个第一基准取值和所述目标参数的多个第一候选取值；根据所述多个第一基准取值使用所述版图质量检测工具对原始版图进行质量检测，得到各个第一基准取值对应的质量指标；在至少一个第一基准取值对应的质量指标不满足参考条件的情况下，基于所述各个第一基准取值对应的质量指标，从所述多个第一候选取值中确定至少一个第一参考取值，基于所述多个第一基准取值和所述至少一个第一参考取值，确定所述目标参数的多个第二基准取值；根据所述多个第二基准取值使用所述版图质量检测工具对所述原始版图进行质量检测，得到各个第二基准取值对应的质量指标；在所述各个第二基准取值对应的质量指标满足所述参考条件的情况下，基于所述各个第二基准取值确定所述目标参数的目标取值，得到参数调整后的版图质量检测工具，所述参数调整后的版图质量检测工具用于确定待检测版图的质量指标。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取版图质量检测工具的目标参数的多个第一基准取值和所述目标参数的多个第一候选取值，包括：获取所述目标参数的第一取值范围；将所述第一取值范围划分为多个第一取值区间；在各个第一取值区间内进行采样，得到所述多个第一基准取值和所述多个第一候选取值。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述在各个第一取值区间内进行采样，得到所述多个第一基准取值和所述多个第一候选取值，包括：在各个第一取值区间内进行采样，得到所述目标参数的多个第一初始取值；对所述多个第一初始取值进行聚类处理，得到多个目标聚类簇，任一个目标聚类簇包括至少一个第一初始取值；对于任一个目标聚类簇，从所述任一个目标聚类簇包括的各个第一初始取值中选择至少一个第一基准取值，将所述任一个目标聚类簇中除所述至少一个第一基准取值之外的第一初始取值确定为第一候选取值。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述多个第一基准取值使用所述版图质量检测工具对原始版图进行质量检测，得到各个第一基准取值对应的质量指标，包括：根据所述多个第一基准取值使用所述版图质量检测工具对所述原始版图进行处理，得到预测版图，基于所述预测版图确定各个第一基准取值对应的质量指标。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述各个第一基准取值对应的质量指标，从所述多个第一候选取值中确定至少一个第一参考取值，包括：基于所述各个第一基准取值对应的质量指标，确定各个第一候选取值的参考指标，任一个第一候选取值的参考指标用于描述在所述目标参数包括所述任一个第一候选取值的情况下，使用所述版图质量检测工具对所述原始版图进行质量检测时质量指标满足所述参考条件的情况；
基于所述各个第一候选取值的参考指标，从所述多个第一候选取值中确定至少一个第一参考取值。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基于所述各个第一基准取值对应的质量指标，确定各个第一候选取值的参考指标，包括：基于所述各个第一基准取值和所述各个第一基准取值对应的质量指标，确定第一映射关系，所述第一映射关系用于描述在所述各个第一基准取值对应的质量指标满足统计分布的情况下，所述各个第一基准取值与所述统计分布的统计信息之间的映射关系；对于任一个第一候选取值，基于所述任一个第一候选取值和所述第一映射关系，确定所述任一个第一候选取值对应的统计信息，基于所述任一个第一候选取值对应的统计信息确定所述任一个第一候选取值的参考指标。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述任一个第一候选取值对应的统计信息包括均值和方差；所述基于所述任一个第一候选取值对应的统计信息确定所述任一个第一候选取值的参考指标，包括：从所述各个第一基准取值对应的质量指标中确定参考质量指标；基于所述参考质量指标、所述任一个第一候选取值对应的均值和方差，确定所述任一个第一候选取值的正态分布函数；基于所述任一个第一候选取值对应的方差、所述任一个第一候选取值对应的正态分布函数、所述任一个第一候选取值对应的正态分布函数的累计密度函数和概率密度函数，确定所述任一个第一候选取值的参考指标。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，任一个第一基准取值对应一个质量指标；所述从所述各个第一基准取值对应的质量指标中确定参考质量指标，包括：从所述各个第一基准取值对应的质量指标中确定最小的质量指标，将所述最小的质量指标确定为所述参考质量指标。9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，任一个第一基准取值对应多个质量指标；所述从所述各个第一基准取值对应的质量指标中确定参考质量指标，包括：对于任一个质量指标，从所述各个第一基准取值对应的所述任一个质量指标中确定所述任一个质量指标的最大值和最小值；对于所述任一个第一基准取值对应的所述任一个质量指标，基于所述任一个第一基准取值对应的至少一个质量指标、所述至少一个质量指标的权重、所述至少一个质量指标的最大值和最小值，确定所述任一个第一基准取值对应的所述任一个质量指标的优先级指标，所述任一个第一基准取值对应的至少一个质量指标包括所述任一个第一基准取值对应的所述任一个质量指标；基于所述各个第一基准取值对应的各个质量指标的优先级指标，从所述各个第一基准取值对应的各个质量指标中，确定参考质量指标。10.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：马星宇，郝少刚，张胜誉，
申请(专利权)人：腾讯科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：