【技术实现步骤摘要】
射频集成电路的悬臂梁结构静电保护电路及其制备方法
[0001]本专利技术属于射频集成电路
，具体涉及一种射频集成电路的悬臂梁结构静电保护电路及其制备方法
。
技术介绍
[0002]射频集成电路是无线通讯设备中的重要元器件，随着现在无线通讯技术的高速发展，无线通讯设备以及无线通讯基站越来越多的出现在我们的生活中，所以射频集成电路也越来越多应用在我们的生活中，随着射频集成电路的广泛应用，其可靠性问题也日渐显现，而静电损伤是我们射频集成电路中最常见的一个可靠性问题
。
所以，对于目前的射频集成电路的设计来说，提高射频集成电路的静电保护能力越来越重要，也是急需解决的问题
。
[0003]目前应用在射频集成电路中的传统的静电保护方法就是利用到二极管或者晶体管的导通来实现对静电的泄放
。
但是，这种静电保护电路中的二极管或者晶体管不可避免存在寄生效应，频率越高，寄生效应越大
。
而射频集成电路的工作频率较高，如果在射频集成电路的射频信号输入输出端口设计这种传统...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种射频集成电路的悬臂梁结构静电保护电路，其特征在于，包括：半导体衬底
(2)
；锚定块
(1)
，所述锚定块
(1)
设置于所述半导体衬底
(2)
上，所述锚定块
(1)
采用导电金属材料制成，且所述锚定块
(1)
接地；悬臂梁
(3)
，所述悬臂梁
(3)
位于所述半导体衬底
(2)
上方，且所述悬臂梁
(3)
采用导电金属材料制成，所述悬臂梁
(3)
的一端与所述锚定块
(1)
连接，所述悬臂梁
(3)
的另一端位于射频集成电路的信号传输线
(5)
上方，所述信号传输线
(5)
的一端与射频集成电路的端口焊盘
(6)
连接，所述信号传输线
(5)
的另一端与射频集成电路的内部电路连接；所述悬臂梁
(3)
的下拉电压大于射频集成电路的输入输出信号电压，且小于所述端口焊盘
(6)
的静电脉冲信号的电压
。2.
根据权利要求1所述的射频集成电路的悬臂梁结构静电保护电路，其特征在于，所述悬臂梁
(3)
背离所述锚定块
(1)
的一端设置有极板
(4)。3.
根据权利要求1所述的射频集成电路的悬臂...
【专利技术属性】
技术研发人员：王凯悦，马忆，
申请(专利权)人：成都科华新创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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