【技术实现步骤摘要】
一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统
[0001]本技术涉及高灵敏度测量系统
，尤其是涉及一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统
。
技术介绍
[0002]柔性薄膜压电传感器是一种基于压电效应的传感器，逐渐被广泛应用于生物医学
、
智能机器人
、
健康监测等领域的新型传感器
。
它具有重量轻
、
体积小
、
灵敏度高
、
可靠性强
、
易制备等优点，在很多场合都可以取代传统的硬性传感器，其灵敏度与压力大小成正比
。
所以在实际应用中，需要对柔性薄膜压电传感器进行灵敏度测试，以保证其质量和可靠性
。
[0003]在很多工业和科学研究领域，采用压电传感器进行物理量测量已经成为标配
。
例如，在机械工程
、
航空航天和医疗等领域，压电传感器的灵敏度对整个器件的性能具有非常重要的影响
。
压电传感器常被用于测量机械
、<...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种柔性薄膜压电传感器高灵敏度测量系统，其特征在于：包括气流源
、
质量流量控制器
、
高灵敏度测试平台
、pzt
压电薄膜传感器
、
气流导向管
、x
轴微调旋钮
、y
轴微调旋钮
、z
轴微调旋钮
、
引线
、
信号采集器和信号显示终端；所述气流源和质量流量控制器通过所述引线进行连接，所述质量流量控制器与气流导向管通过所述引线进行连接，所述
pzt
压电薄膜传感器固定在所述高灵敏度测试平台顶部的中心位置处；所述
x
轴微调旋钮
、y
轴微调旋钮均分别固定在所述高灵敏度测试平台侧面的两个横向调节杆上，所述
z
轴微调旋钮固定在所述高灵敏度测试平台侧面的纵向调节杆上；所述气流导向管通过固定夹板安装在所述纵向调节杆上，且位于所述高灵敏度测试平台...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑尚岗，陈海荣，任明将，马文慧，张一建，薛民新，付浩，李勇，黄瑞，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：新型
国别省市：
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