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硅锭的抛光方法、系统及抛光板技术方案

技术编号:3969416 阅读:278 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提出一种硅锭的抛光方法,包括以下步骤:提供硅锭;移动传动杆以使抛光板与所述硅锭的上表面接触,并通过所述传动杆施加预设的压力,其中,所述抛光板具有至少一个用于抛光液导入的导入孔和与所述导入孔相连的至少一个导流槽;将抛光液导入到所述抛光板的导入孔中,所述抛光液通过所述导入孔和导流槽流入所述抛光板的抛光布与硅锭的抛光界面;和水平移动所述硅锭并旋转所述传动杆以对所述硅锭的上表面进行抛光。本发明专利技术采用湿法抛光技术对硅锭进行抛光,可以增加抛光去除量,改善硅锭的表面损伤层,因此本发明专利技术不仅能够降低生产成本,还能提高抛光效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池用硅片的制造
,特别涉及一种硅锭的抛光方法、系统及抛光板
技术介绍
新能源和可再生能源是21世纪世界经济发展中最具决定性影响的
之 一。光伏电池是一种重要的可再生能源,既可作为独立能源,亦可实现并网发电,而且是零 污染排放。硅太阳能电池由于成本原因,最初只能用于空间,但是随着技术发展和工艺成 熟,应用也逐步扩大。面对今天的能源供应状况和日益严重的环境污染,硅太阳能电池更是 得到了更广泛的使用。硅太阳能电池用硅片的制造工序主要包括单晶或多晶锭一切方一抛光或者酸腐 蚀一线切片一清洗等步骤。其中,抛光或者酸腐蚀的作用是减少方形硅锭表面的机械损伤 层,从而可以减少切片时硅片边缘崩边,提高成品率。如果采用酸腐蚀的方式,则会产生大 量含氟的废酸,不仅会对环境造成污染,而且还非常难以处理。因此目前主要采用抛光的方 法去除方形硅锭表面的机械损伤层。目前,主要采用的抛光工艺包括两种,一种是用金刚石刷进行抛光,但是这种工艺 所需的设备和金刚石刷的价格非常昂贵。因此为了降低生产成本,提出了另一种抛光方法, 如图1所示,为现有技术的抛光方法示意图,方形硅锭100可以沿本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅锭的抛光方法,其特征在于,包括以下步骤:提供硅锭;移动传动杆以使抛光板与所述硅锭的上表面接触,并通过所述传动杆施加预设的压力,其中,所述抛光板具有至少一个用于抛光液导入的导入孔和与所述导入孔相连的至少一个导流槽;将抛光液导入到所述抛光板的导入孔中,所述抛光液通过所述导入孔和导流槽流入所述抛光板的抛光布与硅锭的抛光界面;和水平移动所述硅锭并旋转所述传动杆以对所述硅锭的上表面进行抛光。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王敬
申请(专利权)人:王敬
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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