一种晶圆测试载物工作台制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆测试技术领域，且提供了一种晶圆测试载物工作台，包括机体和滑动连接机体的检测单元和固定连接机体的工作单元，工作单元顶部固定连接有固定挡板，工作单元顶部滑动连接有活动挡板，活动挡板内部固定连接有连接板，连接板固定连接有晶圆放置台，固定挡板内部固定连接有伸缩装置，伸缩装置底部固定连接有晶圆测试机构，固定挡板表面固定连接有连接件，连接件底部固定连接有按压卡扣，活动挡板顶部开设有卡槽a，工作单元内部开设有滑槽，晶圆放置台通过滑槽在工作单元内部进行滑动，使晶圆放置台在进行测试时处于封闭环境，避免当晶圆进行测试时，有外部掉落物落入晶圆放置台影响测试结果，及对设备产生损耗的现象产生。现象产生。现象产生。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试载物工作台


[0001]本技术涉及晶圆测试
，具体为一种晶圆测试载物工作台。

技术介绍

[0002]晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，在晶圆加工的过程中，需要使用到高性能高效率的晶圆测试探针台，通过该结构对晶圆进行检测。
[0003]现有的晶圆测试都是将晶圆放置于测试台，驱动装置带动探针下行对晶圆进行测试。由于只设置一个工位，在检测前需要将产品逐个放置于工位的载物台上，测量完毕后需要将需要产品逐个取下，费时费力，且检测效率较低；由于检测机构以及被检测物均属于高精产品，现有的检测机构当工作台不使用的时候，没有保护装置，易受灰尘等杂物影响，而且有异物碰撞/擦碰工作台容易使工作台出现损伤，在损伤的工作台上放置被测物时，容易使得被测物划伤或影响检测精准度。

技术实现思路

[0004]针对现有技术不足，本技术提供了一种晶圆测试载物工作台，具备对测试设备内部保护、可连续对晶圆进行测试、检测效率高的优点。
[0005]为实现上述目的，本技术所采用的技术方案为：
[0006]一种晶圆测试载物工作台，包括机体和滑动连接机体的检测单元和固定连接机体的工作单元，所述工作单元顶部固定连接有固定挡板，所述工作单元顶部滑动连接有活动挡板，所述活动挡板内部固定连接有连接板，所述连接板固定连接有晶圆放置台，通过加装活动挡板，可使晶圆放置台在进行测试时处于封闭环境，避免当晶圆进行测试时，有外部掉落物落入晶圆放置台，导致测试结果产生影响，且对设备产生损耗的现象产生。
[0007]优选的，所述固定挡板内部固定连接有伸缩装置，所述伸缩装置底部固定连接有晶圆测试机构，所述固定挡板表面固定连接有连接件，所述连接件底部固定连接有按压卡扣，所述活动挡板顶部开设有卡槽a，通过加装连接件、卡槽a和伸缩装置，当活动挡板和固定挡板完全贴合时，连接件底部按压卡扣将卡入卡槽a内部，且按压卡扣此时处于按压状态，使晶圆测试机构可对齐晶圆测试点位，避免出现设备闭合后晶圆测试机构无法对齐晶圆测试点位，导致测试结果不准确的情况出现，同时当按压卡扣处于按压状态时，可使检测单元位移至当前工作单元的检测位置，使得一台检测单元可对多台工作单元进行检测，使得晶圆的检测效率可得到提高。
[0008]优选的，所述工作单元内部开设有滑槽，所述晶圆放置台通过滑槽在工作单元内部进行滑动，通过加装滑槽，可对晶圆放置台的位移方向进行固定，同时，避免晶圆放置台由于长时间的运动，导致位移方向出现偏差的现象发生。
[0009]优选的，所述机体固定连接有安装件，所述安装件底部固定连接有滑杆，所述工作
单元通过滑杆沿垂直方向进行活动，所述安装件底部固定连接有固定板，所述固定板底部固定连接有伸缩杆，所述工作单元通过伸缩杆所产生的力进行升降运动，通过加装滑杆和伸缩杆，当检测单元移动到当前工作单元顶部指定位置时，伸缩杆将向上进行收缩，此时闭合的工作单元可通过滑杆向上进行移动，使得未放置晶圆的工作单元处于机体底部，避免多工作单元同时工作时，检测单元移动时与工作单元发生碰撞。
[0010]优选的，所述安装件顶部固定连接有压感卡扣，所述检测单元底部固定连接有定位件，所述定位件底部开设有卡槽b，通过加装压感卡扣和卡槽b，当检测单元到达检测位置时，压感卡扣可与卡槽b卡接，同时卡槽b将对压感卡扣进行按压处理，伸缩杆受压感装置和按压卡扣进行控制，当压感装置和按压卡扣同时处于按压状态时，伸缩杆将向上收缩带动工作单元向上移动，使得当工作单元完全处于闭合状态且检测单元移动至检测位置时，工作单元才可向上进行位移，避免在晶圆检测的过程中机体之间产生干涉。
[0011]优选的，所述固定挡板顶部固定连接有接口，所述检测单元底部固定连接有插件，所述压感卡扣、接口之间的间距和卡槽b、插件之间的间距相同，通过加装接口和插件，且使压感卡扣、接口之间的间距和卡槽b、插件之间的间距相同，当检测单元位移至检测位置、工作单元上升时，接口与插件可进行稳定的连接，避免出现槽位之间的干涉导致无法对晶圆进行检测。
[0012]优选的，所述机体表面活动连接有转轴，所述转轴表面活动连接有传送带，所述检测单元通过传送带进行平行运动，通过加装传送带，使得检测单元可对多工作单元的检测时进行稳定的移动。
[0013]有益效果：
[0014]1、该晶圆测试载物工作台，通过加装活动挡板，当晶圆放置台进行测试工作时，可通过移动活动挡板，将活动挡板和固定挡板相贴合，使晶圆放置台在进行测试时处于封闭环境，避免当晶圆进行测试时，有外部掉落物落入晶圆放置台，导致测试结果产生影响，且对设备产生损耗的现象产生。
[0015]2、该晶圆测试载物工作台，通过加装连接件、卡槽a和伸缩装置，当活动挡板和固定挡板完全贴合时，连接件底部按压卡扣将卡入卡槽a内部，且按压卡扣此时处于按压状态，处于按压状态会使伸缩装置向下缓慢降下，使晶圆测试机构可对齐晶圆测试点位，避免出现设备闭合后晶圆测试机构无法对齐晶圆测试点位，导致测试结果不准确的情况出现，同时当按压卡扣处于按压状态时，可使检测单元位移至当前工作单元的检测位置，使得一台检测单元可对多台工作单元进行检测，使得晶圆的检测效率可得到提高，通过加装滑槽，可对晶圆放置台的位移方向进行固定，同时，避免晶圆放置台由于长时间的运动，导致位移方向出现偏差的现象发生。
[0016]3、该晶圆测试载物工作台，通过加装滑杆和伸缩杆，当检测单元移动到当前工作单元顶部指定位置时，伸缩杆将向上进行收缩，此时闭合的工作单元可通过滑杆向上进行移动，使得未放置晶圆的工作单元处于机体底部，避免多工作单元同时工作时，检测单元移动时与工作单元发生碰撞，通过加装压感卡扣和卡槽b，当检测单元到达检测位置时，压感卡扣可与卡槽b卡接，同时卡槽b将对压感卡扣进行按压处理，伸缩杆受压感装置和按压卡扣进行控制，当压感装置和按压卡扣同时处于按压状态时，伸缩杆将向上收缩带动工作单元向上移动，使得当工作单元完全处于闭合状态且检测单元移动至检测位置时，工作单元
才可向上进行位移，避免在晶圆检测的过程中机体之间产生干涉。
[0017]4、该晶圆测试载物工作台，通过加装接口和插件，且使压感卡扣、接口之间的间距和卡槽b、插件之间的间距相同，当检测单元位移至检测位置、工作单元上升时，接口与插件可进行稳定的连接，避免出现槽位之间的干涉导致无法对晶圆进行检测。
[0018]5、该晶圆测试载物工作台，通过加装传送带，使得检测单元可对多工作单元的检测时进行稳定的移动。
附图说明
[0019]图1为本技术整体结构示意图；
[0020]图2为本技术工作台结构示意图；
[0021]图3为本技术工作台剖面结构示意图；
[0022]图4为本技术检测单元结构示意图。
[0023]图中：1、机体；2、检测单元；3、工作单元；4、固定挡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试载物工作台，包括机体(1)和滑动连接机体(1)的检测单元(2)和固定连接机体(1)的工作单元(3)，其特征在于：所述工作单元(3)顶部固定连接有固定挡板(4)，所述工作单元(3)顶部滑动连接有活动挡板(5)，所述活动挡板(5)内部固定连接有连接板(6)，所述连接板(6)固定连接有晶圆放置台(7)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试载物工作台，其特征在于：所述固定挡板(4)内部固定连接有伸缩装置(12)，所述伸缩装置(12)底部固定连接有晶圆测试机构(13)，所述固定挡板(4)表面固定连接有连接件(9)，所述连接件(9)底部固定连接有按压卡扣(10)，所述活动挡板(5)顶部开设有卡槽a(11)。3.根据权利要求1所述的一种晶圆测试载物工作台，其特征在于：所述工作单元(3)内部开设有滑槽(8)，所述晶圆放置台(7)通过滑槽(8)在工作单元(3)内部进行滑动。4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试载物工作台，其特征在于：所述机体(1)固定连接有安装件(16)，所述安装件(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：白宇，
申请(专利权)人：无锡芯洋科技有限公司，
类型：新型
国别省市：