制造系统技术方案

本实用新型专利技术实施例提供一种制造系统及叉取机器人。本实用新型专利技术实施例是关于一种使用一个或多个储存载体来优选在储料器内的储存隔室的使用。储料器包括一个或多个储存塔，每个储存塔包括一个或多个隔板，通过叉取结构的挂勾向外拉，可以将一个或多个隔板从闭合位置移动到打开位置。叉取结构被配置为从隔板上提起对应储存载体以运送到储存载体装载接口，以将一个或多个工件或工具件定位在储存载体内，然后将其运送回对应隔板以进行储存。叉取结构和隔板拉出的使用允许更多数量的储存载体储存在储料器的储存隔室内。在储料器的储存隔室内。在储料器的储存隔室内。

【技术实现步骤摘要】
制造系统


[0001]本技术实施例是有关于一种制造系统及一种叉取机器人。

技术介绍

[0002]基本上，集成电路的制造通常是通过对工件(例如，半导体或硅晶片)执行大量光刻步骤来完成。这些光刻步骤通常会导致结合衬底(例如，半导体或硅)的高度复杂的布置形成大量导电结构。这些光刻步骤还导致介电层、金属内连线、通孔、插塞及其他集成电路结构和组件的形成。
[0003]基本上，在电子装置或半导体装置的制造中，机器人经常被用于在各种加工设备(例如，加工工具)之间运送工件。当未被加工(processed)时，这些工件可以储存在储存系统中，例如，储料器，所述储存系统包含一个封闭的环境，在所述环境中维持、监控和控制某些环境特性。例如，这些环境特性可以包括湿度、空气特性(例如，碎片、污染物、颗粒、污染物等)或可以在储存系统内维持、监控或控制的其他类似环境特性。通过维持、控制和监控在封闭的环境内的这些环境特性，可以维持储存在储存系统内的工件的特性避免工件变质。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供一种制造系统，包括：储料器，包括：壳体；储存隔室，在所述壳体内并由所述壳体所界定；多个隔板，在所述储存隔室内；多个储存载体在所述多个隔板上，每个储存载体在所述多个隔板中的对应一个上，且所述每个储存载体包括：第一表面，接触所述多个隔板中的所述对应一个；第二表面，与所述第一表面相对且背离所述多个隔板中的所述对应一个；及第一尺寸，从所述第一表面延伸到所述第二表面；及多个间隙，每个间隙具有从所述多个储存载体的其中一个的所述第二表面中的对应一个延伸到所述多个隔板中的相邻一个的第二尺寸，所述第二尺寸小于所述第一尺寸。
[0005]本技术实施例提供一种叉取机器人，包括：加号形状支撑结构，包括：第一延伸部，具有第一端部；第二延伸部，具有第二端部，所述第二延伸部横向于所述第一延伸部；第三延伸部，具有第三端部，所述第三延伸部横向于所述第一延伸部，所述第三端部与所述第一端部相对；及第四延伸部，具有第四端部，所述第四延伸部横向于所述第二延伸部和所述第三延伸部；第一分界壁墙结构，在所述第一端部处；第二分界壁墙结构，在所述第二端部处；第三分界壁墙结构，在所述第三端部处；第四分界壁墙结构，在所述第四延伸部上；及挂勾，在所述第一端部处，所述挂勾与所述第一分界壁墙结构相对。
[0006]为让本技术实施例的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。
附图说明
[0007]结合随附图式阅读以下详细描述最好地理解本技术的各方面。应注意，根据
业界中的标准惯例，各种特征未按比例绘制。实际上，为了论述清楚起见，可任意增大或减小各种特征的尺寸。
[0008]图1A是示出根据本文的一些实施例的储料器和在储料器内的内部组件的实例的示意图。
[0009]图1B是示出根据本文的一些实施例在如图1A中所示的储料器中的储存塔的实例的透视图。
[0010]图2A是示出生产载体的实例的透视图。
[0011]图2B是示出如图2A中所示的生产载体的实例的侧视图。
[0012]图3A是示出根据本文的一些实施例的储存载体的实例的透视图。
[0013]图3B是示出根据本文的一些实施例如图3A中所示的储存载体的实例的侧视图。
[0014]图4是在储存系统内的隔板的侧视图。
[0015]图5A是根据本文的一些实施例在如图1B中所示的储存塔内的隔板具有隔板中的一个在打开位置的侧视图。
[0016]图5B是根据本文的一些实施例如图5A中所示的在储存塔内的一个隔板在打开位置的俯视图。
[0017]图5C是根据本文的一些实施例在如图5A和图5B中所示的储存塔内与相应隔板进行机械协作(mechanical cooperation)的滑轨的透视图。
[0018]图5D是根据本文的一些实施例在如图5A和图5B中所示的储存系统内的相应隔板的侧视图。
[0019]图6A是根据本文的一些实施例在如图1A中所示的储料器内的叉取机器人的叉取结构的透视图，在叉取结构上没有储存载体。
[0020]图6B是根据本文的一些实施例的叉取机器人的叉取结构具有储存载体在叉取结构上的透视图。
[0021]图7是根据本文的一些实施例使用如图1A中所示的储料器连同如图6A和6B中所示的叉取结构的工作流程的方框图。
[0022]图8A是根据本文的一些实施例包含气流循环系统的储存系统的示意性透视图。
[0023]图8B是根据本文的一些实施例包括气流循环系统的储存系统的示意性侧视图。
[0024]附图标记说明：
[0025]100：储料器
[0026]102：外部环境
[0027]104：壳体
[0028]106：储存隔室
[0029]106a：第一储存区
[0030]106b：第二储存区
[0031]108：生产载体装载接口
[0032]110：储存载体装载接口
[0033]112：生产载体
[0034]114、204：储存载体
[0035]116：载体交换器
[0036]116a：机器手臂
[0037]116b：末端执行器
[0038]118：生产载体运送系统
[0039]118a：运送轨条或轨道
[0040]118b：运送末端执行器
[0041]118c：升降结构
[0042]120：射频识别结构
[0043]122、200：储存塔
[0044]126、152：盖子
[0045]127、154：基座
[0046]128：手柄
[0047]130：延伸部
[0048]132、136：侧壁
[0049]134：第一尺寸
[0050]138：第二尺寸
[0051]140、166：内部隔室
[0052]142：挂勾端部
[0053]144、148、314、324：表面
[0054]146：第三尺寸
[0055]150：上端点
[0056]156：铰链
[0057]158：侧面
[0058]160：闭合结构
[0059]162：标签
[0060]164：第一外表面
[0061]168：第二外表面
[0062]169、208、214、313：尺寸
[0063]202、302：隔板：
[0064]203：储存区
[0065]206a、206b、206c、304a、304b、304c：仓储
[0066]210：下表面
[0067]212：上表面
[0068]216、306：叉取结构
[0069]218、311：间隙
[0070]300：框架或壳体
[0071]308：挂勾结构
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制造系统，其特征在于，包括：储料器，包括：壳体；储存隔室，在所述壳体内并由所述壳体所界定；多个隔板，在所述储存隔室内；多个储存载体在所述多个隔板上，每个储存载体在所述多个隔板中的对应一个上，且所述每个储存载体包括：第一表面，接触所述多个隔板中的所述对应一个；第二表面，与所述第一表面相对且背离所述多个隔板中的所述对应一个；及第一尺寸，从所述第一表面延伸到所述第二表面；及多个间隙，每个间隙具有从所述多个储存载体的其中一个的所述第二表面中的对应一个延伸到所述多个隔板中的相邻一个的第二尺寸，所述第二尺寸小于所述第一尺寸。2.根据权利要求1所述的制造系统，其特征在于，还包括与所述储料器进行机械协作的生产载体运送系统，所述生产载体运送系统包括被配置为与生产载体进行机械协作的末端执行器。3.根据权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述储料器还包括：生产载体装载接口，可由生产载体运送系统进行存取，所述生产载体装载接口被配置为接收生产载体；可存取的储存载体装载接口，所述储存载体装载接口被配置为接收所述储存载体；叉取机器人，在所述储料器的所述壳体的所述储存隔室内，所述叉取机器人被配置为运送所述多个储存载体至所述储存载体装载接口和从所述储存载体装载接口运送所述多个储存载体；及载体交换器，在所述壳体内，所述载体交换器位于所述生产载体装载接口和所述储存载体装载接口之间，通过所述生产载体装载接口和所述储存载体装载接口，所述载体交换器被配置为交换工件到所述生产载体和所述储存载体和从所述生产载体和所述储存载体交换所述工件，所述载体交换器包括在所述载体交换器的末端处的末端执行器。4.根据权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述储料器还包括：叉取机器人，包括：加号形状支撑结构，包括多个端部，当存在于所述加号形状支撑结构上时，所述加号形状支撑结构被配置为在操作中支撑所述多个储存载体中的对应一个；多个分界壁墙，在所述多个端部处，当在所述加号形状支撑结构上时，所述多个分界壁墙被配置为在操作中维持所述多个储存载体中的所述对应一个的位置；及挂勾，在所述多个端部的第一端部处，所述挂勾被配置为在操作中接合所述多个隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：范容瑄，张庆荣，董启峰，沈香吟，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：