一种硅片表面喷砂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片表面喷砂装置，属于硅片喷砂装置技术领域，包括喷砂台，所述喷砂台顶端的中部开设有收集槽，所述喷砂台顶端的边侧固定设有喷砂机构，所述收集槽的一侧穿插设有第一连接杆，所述第一连接杆的一端固定设有转扭

【技术实现步骤摘要】
一种硅片表面喷砂装置


[0001]本技术属于硅片喷砂装置
，尤其是一种硅片表面喷砂装置
。

技术介绍

[0002]硅片表面喷砂工艺是硅片加工过程中的重要步骤，主要作用是在硅片表面产生机械损伤，从而形成金属吸杂中心，当硅片进行热处理时，硅片加工过程中引入的金属原子就会在硅片内部运动，并且会被喷砂产生的损伤点捕捉
。
现实生活中，硅片在进行喷砂前，通常需要将其进行固定，部分采用胶粘方式固定的硅片，当需要对其背面喷砂时，则需要将硅片从放置台上分离出，然后去除胶粘剂后，在其反面再次涂上胶粘剂并进行固定，整个翻面过程费事费力，操作不便
。
[0003]中国专利文件（申请公布号
CN214490200U
）一种多晶硅片用湿式喷砂装置，其包括上端具有开口的砂浆罐，开口处固定有网状隔板，用于过滤从开口流入砂浆罐的砂浆；网状隔板中心位置固定有承载板，承载板的上表面为平面并用于承载待处理硅片
。
[0004]可知，其以上所引证的专利文件也存在同样的问题，其采用胶粘方式固定硅片，当需要对硅片背面喷砂时，则需要将硅片分离出，然后去除胶粘剂后，在其反面再次涂上胶粘剂并进行固定，整个翻面过程费事费力
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种硅片表面喷砂装置，以解决
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片表面喷砂装置，包括喷砂台，所述喷砂台顶端的中部开设有收集槽，所述喷砂台顶端的边侧固定设有喷砂机构，所述收集槽的一侧穿插设有第一连接杆，所述第一连接杆的一端固定设有转扭，所述第一连接杆的另一端固定设有第一夹板，所述第一连接杆外壁的一侧套设有第一弹簧，所述第一连接杆外壁的另一侧设有固定组件，所述收集槽的另一侧固定设有第二连接杆，所述第二连接杆的一端转动设有第二夹板，所述第一夹板和第二夹板的一侧共同设有硅片块
。
[0007]作为优选的实施方案，所述固定组件包括卡杆，所述卡杆与第一连接杆穿插连接，所述卡杆外壁的底端套设有第二弹簧，所述卡杆的底端固定设有拉块
。
[0008]作为优选的实施方案，所述第一夹板的第二夹板的一侧均固定设有垫板
。
[0009]作为优选的实施方案，所述喷砂台的一侧固定设有杆座，所述杆座的顶端与卡杆的外壁穿插连接
。
[0010]作为优选的实施方案，所述第一夹板的另一侧转动设有套块
。
[0011]作为优选的实施方案，所述第二夹板底端的两侧均转动设有定位杆
。
[0012]与现有技术相比，本技术的技术效果和优点：
[0013]该硅片表面喷砂装置，通过设有转扭
、
第一连接杆
、
第一夹板
、
第二夹板和固定组件，通过第一夹板
、
第二夹板和第一弹簧共同作用下，将硅片进行夹持固定，通过喷砂机构
对其单面喷砂后，打开固定组件，将转扭转动一百八十度后通过固定组件固定，转扭转动带动第一连接杆转动，并通过夹板将硅片进行翻面，通过这种方式在硅片单面喷砂后，方便翻转硅片对其背面进行喷砂，且整个翻面过程省事省力，操作便捷
。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下
,
还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0015]图1为本技术的结构示意图；
[0016]图2为本技术的固定机构与硅片块连接结构示意图；
[0017]图3为本技术的第二夹板底端结构示意图
。
[0018]附图标记说明：
[0019]图中：
1、
喷砂台；
2、
收集槽；
3、
第一连接杆；
4、
转扭；
5、
第一夹板；
6、
第一弹簧；
7、
卡杆；
8、
第二弹簧；
9、
拉块；
10、
硅片块；
11、
第二夹板；
12、
第二连接杆；
13、
杆座；
14、
垫板；
15、
喷砂机构；
16、
定位杆；
17、
杆座
。
具体实施方式
[0020]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本技术更为彻底的理解
。
然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施
。
在其他的例子中，为了避免与本技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述
。
[0021]除非单独定义指出的方向外，本文涉及的上
、
下
、
左
、
右
、
正
、
背
、
内和外等方向均是以本技术所示的图中的上
、
下
、
左
、
右
、
正
、
背
、
内和外等方向为准，在此一并说明
。
[0022]连接方式可以采用粘接
、
焊接
、
螺栓连接等等现有方式，以实际需要为准
。
[0023]本实施例提供了如图1至图3所示的一种硅片表面喷砂装置，包括喷砂台1，喷砂台1顶端的中部开设有收集槽2，喷砂台1顶端的边侧固定设有喷砂机构
15
，喷砂机构
15
由固定架
、
喷砂头
、
连接管
、
喷砂泵和喷砂箱组成，且喷砂箱与收集槽2底端连通，这样便于将落入收集槽2的砂浆再次收集利用，收集槽2的一侧穿插设有第一连接杆3，收集槽2的一侧开设有通孔，第一连接杆3通过通孔与收集槽2穿插连接，第一连接杆3的一端固定设有转扭4，转扭4的外壁设有防滑螺纹，可以增加人手与转扭4外壁之间的摩擦力，便于转动转扭4，第一连接杆3的另一端固定设有第一夹板5，第一连接杆3外壁的一侧套设有第一弹簧6，第一连接杆3外壁的另一侧设有固定组件，收集槽2的另一侧固定设有第二连接杆
12
，第二连接杆
12
的一端转动设有第二夹板
11
，第二连接杆
12
与第二夹板
11
连接方式为轴承连接，第一夹板5和第二夹板
11
的一侧共同卡合设有硅片块
10
，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅片表面喷砂装置，包括喷砂台（1），其特征在于：所述喷砂台（1）顶端的中部开设有收集槽（2），所述喷砂台（1）顶端的边侧固定设有喷砂机构（
15
），所述收集槽（2）的一侧穿插设有第一连接杆（3），所述第一连接杆（3）的一端固定设有转扭（4），所述第一连接杆（3）的另一端固定设有第一夹板（5），所述第一连接杆（3）外壁的一侧套设有第一弹簧（6），所述第一连接杆（3）外壁的另一侧设有固定组件，所述收集槽（2）的另一侧固定设有第二连接杆（
12
），所述第二连接杆（
12
）的一端转动设有第二夹板（
11
），所述第一夹板（5）和第二夹板（
11
）的一侧共同设有硅片块（
10
）
。2.
根据权利要求1所述的一种硅片表面喷砂装置，其特征在于：所述固定组件包括卡杆（7），所述卡杆（7）与第一连接杆（3）穿插连接，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹俊卓，姜电华，昝将林，王志勇，
申请(专利权)人：河南省华兴隆新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：