【技术实现步骤摘要】
柔性铰链式压电精密运动平台
[0001]本专利技术涉及压电精密驱动微位移平台设备
,具体涉及一种柔性铰链式压电精密运动平台
。
技术介绍
[0002]作为一种精密驱动技术,压电精密运动平台利用压电陶瓷逆压电效应,将电能转换为机械能,从而实现运动输出,在航空航天
、
生物科技
、
纳米定位等领域具有迫切的应用需求
。
[0003]目前,大多数压电精密运动平台行程较大,但大多为单自由度运动平台,少数多自由度精密运动平台存在结构复杂
、
精度低
、
驱动效率低等问题,极大地影响了压电精密运动平台的推广
。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种结构简单
、
精度高
、
驱动效率高
、
驱动件承载能力较大的柔性铰链式压电精密运动平台
。
[0005]为达到上述目的,本专利技术一种柔性铰链式压电精密运动平台,包括微动单元,所述微动单元包括柔性机构
、
第一压电驱动装置
、
第二压电驱动装置
、
移动输出装置,所述柔性机构包括第一变形放大装置
、
第二变形放大装置
、
第一连接杆
、
第二连接杆,所述第一压电驱动装置
、
所述第二压电驱动装置分别连接有电源,所述第一压电驱动装置与所述第一变形放大装置连接,所述第一压电驱动装置 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种柔性铰链式压电精密运动平台,其特征在于:包括微动单元
(01)
,所述微动单元
(01)
包括柔性机构
(02)、
第一压电驱动装置
(11)、
第二压电驱动装置
(13)、
移动输出装置
(15)
,所述柔性机构
(02)
采用并联式运动构型,包括第一变形放大装置
(12)、
第二变形放大装置
(14)、
第一连接杆
(16)、
第二连接杆
(17)
,所述第一压电驱动装置
(11)、
所述第二压电驱动装置
(13)
分别连接有电源,所述第一压电驱动装置
(11)
与所述第一变形放大装置
(12)
连接,所述第一压电驱动装置
(11)
变形带动所述第一变形放大装置
(12)
,使所述第一变形放大装置
(12)
在垂直于所述第一压电驱动装置
(11)
的变形方向上产生位移,所述第二压电驱动装置
(13)
与所述第二变形放大装置
(14)
连接,所述第二压电驱动装置
(13)
变形带动所述第二变形放大装置
(14)
,使所述第二变形放大装置
(14)
在垂直于所述第二压电驱动装置
(13)
的变形方向上产生位移,所述第一压电驱动装置
(11)
的变形方向与所述第二压电驱动装置
(13)
的变形方向垂直,所述移动输出装置
(15)
连接于所述第一连接杆
(16)、
所述第二连接杆
(17)
的一端,所述第一连接杆
(16)、
所述第二连接杆
(17)
的另一端分别与所述第一变形放大装置
(12)、
所述第二变形放大装置
(14)
连接,所述第一连接杆
(16)
与所述第二连接杆
(17)
相互垂直
。2.
根据权利要求1所述的柔性铰链式压电精密运动平台,其特征在于:所述第一连接杆
(16)、
所述第二连接杆
(17)
均为叶型柔性铰链,所述第一连接杆
(16)
在所述第一变形放大装置
(12)
的运动方向上为刚性,在垂直于所述第一变形放大装置
(12)
的运动方向上为柔性,所述第二连接杆
(17)
在所述第二变形放大装置
(14)
的运动方向上为刚性,在垂直于所述第二变形放大装置
(14)
的运动方向上为柔性
。3.
根据权利要求2所述的柔性铰链式压电精密运动平台,其特征在于:还包括第一缺口型柔性铰链
(18)、
第二缺口型柔性铰链
(19)
,所述第一变形放大装置
(12)
在垂直于所述第一压电驱动装置
(11)
的运动方向上的两个边缘分别为第一边缘
(121)、
第二边缘
(122)
,所述第一边缘
(121)
靠近所述第一连接杆
(16)
,所述第二变形放大装置
(14)
在垂直于所述第二压电驱动装置
(13)
的运动方向上的两个边缘分别为第三边缘
(141)、
第四边缘
(142)
,所述第三边缘
(141)
靠近所述第二连接杆
(17)
,所述第一缺口型柔性铰链
(18)
一端与所述第一边缘
(121)
连接
、
另一端与所述第一连接杆
(16)
的一端连接,所述第二缺口型柔性铰链
(19)
一端与所述第三边缘连接
(141)、
另一端与所述第二连接杆
(17)
的一端连接
。4.
根据权利要求1所述的柔性铰链式压电精密运动平台,其特征在于:所述第一压电驱动装置
(11)、
所述第二压电驱动装置
(13)
均为压电叠堆
。5.
根据权利要求3所述的柔性铰链式压电精密运动平台,其特征在于:还包括第一柔性材料板
(07)
,所述第一柔性材料板
(07)
上设置有第一通孔
(21)、
第二通孔
(22)
,所述第一压电驱动装置
(11)
设置于所述第一通孔
(21)
内,所述第一压电驱动装置
(11)
与所述第一通孔
(21)
的外侧壁通过第一预紧螺钉连接,所述第二压电驱动装置
(13)
设置于所述第二通孔
(22)
内,所述第二压电驱动装置
(13)
与所述第二通孔
(22)
的外侧壁通过第二预紧螺钉连接,所述第一变形放大装置
(12)
为在所述第一通孔
(21)
外侧形成的膨胀型双桥臂式位移放大机构,所述第二变形放大装置
(14)
为在所述第二通孔
(22)
外侧形成的膨胀型双桥臂式位移放大机构,所述第一压电驱动装置
(11)、
所述第二压电驱动装置
(13)
伸长时,所述膨胀型桥式位移放大机构输出位移指向外侧,所述第一变形放大装置
(12)
的第二边缘
(122)、
所述第二变形放大装置
(14)
的第四边缘
(142)
与所述第一柔性材料板
【专利技术属性】
技术研发人员:陈美宇,范杨雷,胡亚倩,张淑兰,金贺荣,
申请(专利权)人:北京派和科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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