一种废液的处理方法及废水处理系统技术方案

技术编号:39643373 阅读:7 留言:0更新日期:2023-12-09 11:11
本发明专利技术公开一种废液的处理方法及废水处理系统,包括:

【技术实现步骤摘要】
一种废液的处理方法及废水处理系统


[0001]本专利技术涉及一种废液
,尤其涉及一种废液的处理方法及废水处理系统


技术介绍

[0002]硝磷体系蚀刻液是
TFT

LCD
生产中膜经湿式蚀刻工序必备的一种湿式蚀刻液,蚀刻的目的是溶解出未被光阻覆盖的薄膜表面,蚀刻后再将留下的光阻以溜液去除,最后就产生电晶体所需要的电路图案,要形成可用的薄膜电晶体,需要重复清洗,镀膜,上光阻,曝光,显影,蚀刻,去光阻等过程,一般来说,要制造
TFT

LCD
,就要重复5到7次

在制作过程中,由于醋酸和硝酸的强挥发性,需要不断补充硝酸和醋酸来维持蚀刻液的组成,直至蚀刻液的浓度平衡超过基准值,此时则需要全部更换蚀刻液,随即产生大量的蚀刻废液

废硝磷酸蚀刻液属于强酸腐蚀性危险废液,与人体表面接触可使其灼伤,产生强烈的刺激性,刺激呼吸道,若直接排放到环境中,废液中丰富的
N

P
会引起水体富营养化,对水体中的生物造成严重的危害

我国未来的废硝磷酸蚀刻废液产量约为
3200t/a
,每年产生如此巨大的危险废液,将给环境带来严重的负担

[0003]相关技术中,废蚀刻液为高浓度混合废酸,通常通过化学沉淀法工艺进行,加石灰除磷产生的渣份较高,除磷后进行芬顿去除有机物,芬顿成本高,在通过离子交换树脂去除高硝酸根,成本更高,替换下来的离子交换树脂需要焚烧处置


技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一

为此,本专利技术提出了一种废液的处理方法,目的在于对废蚀刻液进行资源化利用,降低环境风险

[0005]第一方面,本申请实施例提供了一种废液的处理方法,包括:
[0006]S100
将废液以及铁屑加入反应罐;
[0007]S200
控制所述反应罐的搅拌装置搅拌所述反应罐中的溶液,得到磷酸亚铁;
[0008]S300
将双氧水加入反应后的溶液,得到磷酸铁;
[0009]S400
压滤

清洗溶液中的磷酸铁,并进行烘干,得到磷酸铁物料;
[0010]S500
煅烧

冷却所述磷酸铁物料,得到磷酸铁粉料

[0011]在一些实施例中,所述处理方法应用于废水处理系统,所述废水处理系统包括
m
个第一反应罐
、m
个第一供液装置
、n
个第二反应罐与
n
个第二供液装置,其中:
[0012]m
个所述第一反应罐依次相连接,以使废液依次经过各个所述第一反应罐;
[0013]m
个所述第一供液装置与
m
个所述第一反应罐一一相连接,所述第一供液装置用于为对应的所述第一反应罐中加入废液,且自首位的第一供液装置到尾部的第一供液装置,所述第一供液装置的供液量逐渐降低;
[0014]n
个所述第二反应罐依次相连接,以使废液依次经过各个所述第二反应罐,且首位的第二反应罐与尾部的第一反应罐相连接;
[0015]n
个所述第二供液装置与
n
个所述第二反应罐一一相连接,所述第二供液装置用于
为对应的所述第二反应罐中加入双氧水,且自首位的第二供液装置到尾部的第二供液装置,所述第二供液装置的供液量逐渐降低

[0016]在一些实施例中,所述废水处理系统还包括
m
个第一
pH
检测模组与
m
‑1个第一控制模组,其中:
[0017]m
个所述第一
pH
检测模组分别设置于
m
个所述第一反应罐的排液口,用于分别检测排出液体的
pH
值;
[0018]m
‑1个所述第一控制模组分别与后
m
‑1个所述第一供液装置相连接,各个所述第一控制模组基于前后相邻所述第一
pH
检测模组之间的检测差值控制所述第一供液装置的供液量

[0019]在一些实施例中,所述处理方法应用于废水处理系统,所述废水处理系统包括
m
个第一反应罐
、m
个第一供液装置
、n
个第二反应罐与
n
个第二供液装置,其中:
[0020]m
个所述第一反应罐与
n
个所述第二反应罐依次交错连接;
[0021]m
个所述第一供液装置与
m
个所述第一反应罐一一相连接,所述第一供液装置用于为对应的所述第一反应罐中加入废液,且自首位的第一供液装置到尾部的第一供液装置,所述第一供液装置的供液量逐渐降低;
[0022]n
个所述第二供液装置与
n
个所述第二反应罐一一相连接,所述第二供液装置用于为对应的所述第二反应罐中加入废液,且自首位的第二供液装置到尾部的第二供液装置,所述第二供液装置的供液量逐渐降低

[0023]在一些实施例中,所述废水处理系统还包括
m
个第二
pH
检测模组与
n
个第二控制模组,其中:
[0024]m
个所述第二
pH
检测模组一一设置于
m
个所述第二反应罐的排液口,用于分别检测排出液体的
pH
值;
[0025]n
个所述第二控制模组与
n
个所述第二供液装置一一相连接,各个所述第二控制模组基于前一个所述第二
pH
检测模组的检测值控制所述第二供液装置的供液量

[0026]在一些实施例中,所述废水处理系统还包括:
[0027]压滤清洗装置,所述压滤清洗装置与尾部的第二反应罐相连接,用于压滤

清洗溶液中的磷酸铁;
[0028]回流装置,所述回流装置与所述压滤清洗装置以及尾部的第二反应罐相连接,用于将溶液输送至首位的第一反应罐,以配出水液比在预设范围的液体

[0029]在一些实施例中,所述废水处理系统还包括:
[0030]烘干装置,用于烘干所述压滤清洗装置输出的磷酸铁物料;
[0031]煅烧装置,用于煅烧所述烘干装置输出的磷酸铁物料;
[0032]热传导装置,包括相连接的蒸发室与输送管道,所述蒸发室设置于所述煅烧装置,所述输送管道用于输送蒸汽;其中,所述反应罐的外侧设置有第一加热管道,所述烘干装置设置有第二加热管道,所述第一加热管道与所述第二加热管道均设置于所述输送管道

[0033]在一些实施例中,所述本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种废液的处理方法,其特征在于,包括:
S100
将废液以及铁屑加入反应罐;
S200
控制所述反应罐的搅拌装置搅拌所述反应罐中的溶液,得到磷酸亚铁;
S300
将双氧水加入反应后的溶液,得到磷酸铁;
S400
压滤

清洗溶液中的磷酸铁,并进行烘干,得到磷酸铁物料;
S500
煅烧

冷却所述磷酸铁物料,得到磷酸铁粉料
。2.
根据权利要求1所述的一种废液的处理方法,其特征在于,所述处理方法应用于废水处理系统,所述废水处理系统包括
m
个第一反应罐
、m
个第一供液装置
、n
个第二反应罐与
n
个第二供液装置,其中:
m
个所述第一反应罐依次相连接,以使废液依次经过各个所述第一反应罐;
m
个所述第一供液装置与
m
个所述第一反应罐一一相连接,所述第一供液装置用于为对应的所述第一反应罐中加入废液,且自首位的第一供液装置到尾部的第一供液装置,所述第一供液装置的供液量逐渐降低;
n
个所述第二反应罐依次相连接,以使废液依次经过各个所述第二反应罐,且首位的第二反应罐与尾部的第一反应罐相连接;
n
个所述第二供液装置与
n
个所述第二反应罐一一相连接,所述第二供液装置用于为对应的所述第二反应罐中加入双氧水,且自首位的第二供液装置到尾部的第二供液装置,所述第二供液装置的供液量逐渐降低
。3.
根据权利要求2所述的一种废液的处理方法,其特征在于,所述废水处理系统还包括
m
个第一
pH
检测模组与
m
‑1个第一控制模组,其中:
m
个所述第一
pH
检测模组分别设置于
m
个所述第一反应罐的排液口,用于分别检测排出液体的
pH
值;
m
‑1个所述第一控制模组分别与后
m
‑1个所述第一供液装置相连接,各个所述第一控制模组基于前后相邻所述第一
pH
检测模组之间的检测差值控制所述第一供液装置的供液量
。4.
根据权利要求1所述的一种废液的处理方法,其特征在于,所述处理方法应用于废水处理系统,所述废水处理系统包括
m
个第一反应罐
、m
个第一供液装置
、n
个第二反应罐与
n
个第二供液装置,其中:
m
个所述第一反应罐与
n
个所述第二反应罐依次交错连接;
m
个所述第一供液装置与

【专利技术属性】
技术研发人员:梁海波胡春林杨龙钟明钊邵华森
申请(专利权)人:广东海文环保技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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