【技术实现步骤摘要】
一种废液的处理方法及废水处理系统
[0001]本专利技术涉及一种废液
,尤其涉及一种废液的处理方法及废水处理系统
。
技术介绍
[0002]硝磷体系蚀刻液是
TFT
‑
LCD
生产中膜经湿式蚀刻工序必备的一种湿式蚀刻液,蚀刻的目的是溶解出未被光阻覆盖的薄膜表面,蚀刻后再将留下的光阻以溜液去除,最后就产生电晶体所需要的电路图案,要形成可用的薄膜电晶体,需要重复清洗,镀膜,上光阻,曝光,显影,蚀刻,去光阻等过程,一般来说,要制造
TFT
‑
LCD
,就要重复5到7次
。
在制作过程中,由于醋酸和硝酸的强挥发性,需要不断补充硝酸和醋酸来维持蚀刻液的组成,直至蚀刻液的浓度平衡超过基准值,此时则需要全部更换蚀刻液,随即产生大量的蚀刻废液
。
废硝磷酸蚀刻液属于强酸腐蚀性危险废液,与人体表面接触可使其灼伤,产生强烈的刺激性,刺激呼吸道,若直接排放到环境中,废液中丰富的
N
和
P
会引起水体富营养化,对水体中的生物造成严重的危害
。
我国未来的废硝磷酸蚀刻废液产量约为
3200t/a
,每年产生如此巨大的危险废液,将给环境带来严重的负担
。
[0003]相关技术中,废蚀刻液为高浓度混合废酸,通常通过化学沉淀法工艺进行,加石灰除磷产生的渣份较高,除磷后进行芬顿去除有机物,芬顿成本高,在通过离子交换树脂去除高硝酸根,成本更高,替换下来的离子交 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种废液的处理方法,其特征在于,包括:
S100
将废液以及铁屑加入反应罐;
S200
控制所述反应罐的搅拌装置搅拌所述反应罐中的溶液,得到磷酸亚铁;
S300
将双氧水加入反应后的溶液,得到磷酸铁;
S400
压滤
、
清洗溶液中的磷酸铁,并进行烘干,得到磷酸铁物料;
S500
煅烧
、
冷却所述磷酸铁物料,得到磷酸铁粉料
。2.
根据权利要求1所述的一种废液的处理方法,其特征在于,所述处理方法应用于废水处理系统,所述废水处理系统包括
m
个第一反应罐
、m
个第一供液装置
、n
个第二反应罐与
n
个第二供液装置,其中:
m
个所述第一反应罐依次相连接,以使废液依次经过各个所述第一反应罐;
m
个所述第一供液装置与
m
个所述第一反应罐一一相连接,所述第一供液装置用于为对应的所述第一反应罐中加入废液,且自首位的第一供液装置到尾部的第一供液装置,所述第一供液装置的供液量逐渐降低;
n
个所述第二反应罐依次相连接,以使废液依次经过各个所述第二反应罐,且首位的第二反应罐与尾部的第一反应罐相连接;
n
个所述第二供液装置与
n
个所述第二反应罐一一相连接,所述第二供液装置用于为对应的所述第二反应罐中加入双氧水,且自首位的第二供液装置到尾部的第二供液装置,所述第二供液装置的供液量逐渐降低
。3.
根据权利要求2所述的一种废液的处理方法,其特征在于,所述废水处理系统还包括
m
个第一
pH
检测模组与
m
‑1个第一控制模组,其中:
m
个所述第一
pH
检测模组分别设置于
m
个所述第一反应罐的排液口,用于分别检测排出液体的
pH
值;
m
‑1个所述第一控制模组分别与后
m
‑1个所述第一供液装置相连接,各个所述第一控制模组基于前后相邻所述第一
pH
检测模组之间的检测差值控制所述第一供液装置的供液量
。4.
根据权利要求1所述的一种废液的处理方法,其特征在于,所述处理方法应用于废水处理系统,所述废水处理系统包括
m
个第一反应罐
、m
个第一供液装置
、n
个第二反应罐与
n
个第二供液装置,其中:
m
个所述第一反应罐与
n
个所述第二反应罐依次交错连接;
m
个所述第一供液装置与
技术研发人员:梁海波,胡春林,杨龙,钟明钊,邵华森,
申请(专利权)人:广东海文环保技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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