一种核辐射探测器用碲锌镉晶体表面的处理方法技术

本发明专利技术公开了一种核辐射探测器用碲锌镉晶体表面的处理方法，实现了晶体与金属电极之间的欧姆接触，显著降低了晶体表面漏电流

【技术实现步骤摘要】
一种核辐射探测器用碲锌镉晶体表面的处理方法


[0001]本专利技术涉及一种碲锌镉晶体表面处理方法，具体涉及一种核辐射探测器用碲锌镉晶体表面的处理方法，也即一种优化碲锌镉晶体与金属电极欧姆接触的表面处理方法
。

技术介绍

[0002]碲锌镉隶属于第三代化合物半导体材料，是迄今为止最具应用前景的室温核辐射半导体探测器材料之一，广泛应用于太空探测
、
医疗检测
、
安全检测
、
高能物理等领域
。
然而，其晶体表面质量的好坏对制备高性能的碲锌镉探测器具有重要影响
。
[0003]碲锌镉探测器的制备工艺通常包括机械抛光
、
化学腐蚀
、
化学钝化
、
电极制备和器件封装等五个环节，只有经过这五个环节的处理后，晶片才能实现高能射线的探测
。
在经过机械抛光后，晶体表面虽具一定的光滑度但通常会存在应力集中
、
电活性缺陷
、
杂质以及肉眼不可见的微划痕等构成的损伤层
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种优化碲锌镉晶体与金属电极欧姆接触的表面处理方法，其特征在于，所述方法具体包括如下步骤：
1)
化学腐蚀：将碲锌镉晶片放置在配置好的腐蚀液中，待腐蚀完成后超声清洗，备用；
2)
化学钝化：采用
K2S2O8溶液对经步骤
1)
化学腐蚀后的碲锌镉晶片表面进行处理，随后采用
NH4F/H2O2溶液对所述碲锌镉晶片进行表面氧化，待处理完成后将所述碲锌镉晶片放置于去离子水中进行超声清洗，备用；
3)
电极制备：在经步骤
2)
化学钝化处理的碲锌镉晶片表面覆盖一层中间方形的镂空掩膜版，随后利用离子溅射技术，分别在碲锌镉晶片的阳极面与阴极面上溅射一层金属电极
。2.
根据权利要求1所述的一种优化碲锌镉晶体与金属电极欧姆接触的表面处理方法，其特征在于，步骤
1)
中，所述腐蚀液采用2～5％的
Br
2+
甲醇
(BM)
，其中
Br2与甲醇
(BM)
的质量比为2：
98
～5：
95
，腐蚀时间为2～
5min。3.
根据权利要求1所述的一种优化碲锌镉晶体与金属电极欧姆接触的表面处理方法，其特征在于，步骤<...

【专利技术属性】
技术研发人员：王金斌，李州，钟向丽，戴伟，王许琛，陈骞鑫，雷宇，
申请(专利权)人：湘潭大学，
类型：发明
国别省市：