【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光检测装置、光检测系统、电子设备和移动体
[0001]本专利技术涉及各自包括用于执行光电转换的光电转换元件的光检测装置
、
光检测系统
、
电子设备和移动体
。
技术介绍
[0002]迄今为止,本申请人已经提出了能够提高光学特性的摄像元件以及包括该摄像元件的摄像装置
(
例如,参见专利文献
1)。
[0003]引用文献列表
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本专利申请特开第
2019
‑
16667
号
技术实现思路
[0006]然而,对于摄像装置中所使用的光检测装置,期望能够进一步提高性能
。
[0007]因此,本专利技术期望一种提供具有高性能的光检测装置
。
[0008]根据本专利技术一个实施方案的光检测装置包括有效区域和周边区域
。
所述有效区域沿着第一平面延展且包括第一光电转换部,所述第一光电转换部检测第一波长范围内的光以执行光电转换
。
所述周边区域被设置成沿着所述第一平面与所述有效区域相邻
。
所述周边区域包括与所述第一光电转换部以间隔开的方式相邻的结构体,所述结构体具有与所述第一光电转换部的全部或所述第一光电转换部的一部分实质上相同的构造
。
[0009]在根据本专利技术一个实施方案的光检测装置中,在与包括第一光电转换部的有效区域相邻的周边区域中设置有结构体r/>。
所述结构体与所述第一光电转换部以间隔开的方式相邻,并且所述结构体具有与所述第一光电转换部的全部或所述第一光电转换部的一部分实质上相同的构造
。
因此,这能够抑制当例如通过干法蚀刻将第一光电转换部图案化时在有效区域的端面附近产生残留物
。
附图说明
[0010]图
1A
是示出根据本专利技术第一实施方案的示例性固态摄像装置的概略构造图
。
[0011]图
1B
是示意性地示出图
1A
所示的像素部和周边部的构造示例的说明图
。
[0012]图
2A
是示出图
1A
所示的像素部可适用的摄像元件的示例性概略构造的垂直剖面图
。
[0013]图
2B
是示出图
1A
所示的像素部可适用的摄像元件的示例性概略构造的水平剖面图
。
[0014]图
2C
是示出图
1A
所示的像素部可适用的摄像元件的示例性概略构造的另一水平剖面图
。
[0015]图3是以放大的方式示出图
1B
所示的固态摄像装置中的像素部与周边部之间的边界附近的垂直放大剖面图
。
[0016]图4是示出图
2A
所示的
iTOF
传感器部的示例性读出电路的电路图
。
[0017]图5是示出图
2A
所示的有机光电转换部的示例性读出电路的电路图
。
[0018]图6是示出图
1B
所示的固态摄像装置的制造方法的步骤的剖面图
。
[0019]图
7A
是示出图6之后的步骤的剖面图
。
[0020]图
7B
是示出图6之后的步骤的平面图
。
[0021]图8是示出图
7A
和图
7B
之后的步骤的剖面图
。
[0022]图9是示出图8之后的步骤的剖面图
。
[0023]图
10
是以放大的方式示出作为参考例的固态摄像装置中的像素部与周边部之间的边界附近的垂直放大剖面图
。
[0024]图
11
是示出图
10
所示的固态摄像装置的制造方法的步骤的剖面图
。
[0025]图
12
是示出图
11
之后的步骤的剖面图
。
[0026]图
13A
是示出作为图
1A
所示的固态摄像装置可适用的第一变形例的摄像元件的示例性概略构造的垂直剖面图
。
[0027]图
13B
是示出作为图
13A
所示的第一变形例的摄像元件的示例性概略构造的水平剖面图
。
[0028]图
14A
是示出作为图
1A
所示的固态摄像装置可适用的第二变形例的摄像元件的示例性概略构造的垂直剖面图
。
[0029]图
14B
是示出作为图
14A
所示的第二变形例的摄像元件的示例性概略构造的水平剖面图
。
[0030]图
15
是示出作为图
1A
所示的固态摄像装置可适用的第三变形例的像素部的示例性概略构造的垂直剖面图
。
[0031]图
16A
是示出根据本专利技术第二实施方案的光检测系统的示例性整体构造的示意图
。
[0032]图
16B
是示出图
16A
所示的光检测系统的示例性电路结构的示意图
。
[0033]图
17
是示出电子设备的示例性整体构造的示意图
。
[0034]图
18
是示出体内信息获取系统的概略性构造示例的框图
。
[0035]图
19
是示出内窥镜手术系统的概略性构造示例的图
。
[0036]图
20
是示出相机头和相机控制单元
(CCU
:
camera control unit)
的功能配置的示例的框图
。
[0037]图
21
是示出车辆控制系统的概略性构造示例的框图
。
[0038]图
22
是用于辅助说明车外信息检测单元和摄像部的设置位置的示例的图
。
[0039]图
23
是示意性地示出作为本专利技术第三变形例的固态摄像装置中的像素部及其周边部的构造示例的说明图
。
[0040]图
24
是示意性地示出作为本专利技术第四变形例的固态摄像装置中的像素部及其周边部的构造示例的说明图
。
[0041]图
25
是示意性地示出作为本专利技术第五变形例的固态摄像装置中的像素部及其周边部的构造示例的说明图
。
[0042]图
26
是示意性地示出作为本专利技术第六变形例的固态摄像装置中的像素部及其周边部的构造示例的说明图<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
光检测装置,包括:有效区域,其沿着第一平面延展,且包括第一光电转换部,所述第一光电转换部检测第一波长范围内的光以执行光电转换;和周边区域,其被设置成沿着所述第一平面与所述有效区域相邻,其中,所述周边区域包括与所述第一光电转换部以间隔开的方式相邻的结构体,所述结构体具有与所述第一光电转换部的全部或所述第一光电转换部的一部分实质上相同的构造
。2.
根据权利要求1所述的光检测装置,其中,所述第一光电转换部和所述结构体各自具有多层结构,在所述多层结构中,在与所述第一平面正交的第一方向上依次层叠有第一电极层
、
光电转换层和第二电极层
。3.
根据权利要求2所述的光检测装置,其中,所述第一电极层和所述第二电极层中的至少一者包括金属氧化物
。4.
根据权利要求3所述的光检测装置,其中,所述金属氧化物包括铟
(In)、
锌
(Zn)、
镓
(Ga)
中的至少一种
。5.
根据权利要求1所述的光检测装置,其中,在所述第一光电转换部与所述结构体之间形成有狭缝,所述狭缝位于所述有效区域与所述周边区域之间的边界处,并且所述狭缝的沿着所述第一平面的宽度相对于所述狭缝的在与所述第一平面正交的第一方向上的深度的比等于或小于
1。6.
根据权利要求5所述的光检测装置,其中,所述狭缝被绝缘材料填埋
。7.
根据权利要求1所述的光检测装置,还包括:第二光电转换部,其在与所述第一平面正交的第一方向上与所述第一光电转换部彼此重叠,所述第二光电转换部检测第二波长范围内的光以执行光电转换;和光学滤波器,其夹在所述第一光电转换部和所述第二光电转换部之间,所述光学滤波器允许所述第二波长范围内的光比所述第一波长范围内的...
【专利技术属性】
技术研发人员:福岛航平,
申请(专利权)人:索尼半导体解决方案公司,
类型:发明
国别省市:
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