一种制造技术

本申请涉及光刻胶及制备方法，具体涉及一种

【技术实现步骤摘要】
一种KrF光刻胶树脂及KrF光刻胶的制备工艺


[0001]本申请涉及光刻胶及制备方法，具体涉及一种
KrF
光刻胶树脂及
KrF
光刻胶的制备工艺
。

技术介绍

[0002]光刻胶
(Photoresist)
又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光
、
电子束
、
离子束
、X
射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料
。
一般由树脂
、
增感剂
、
溶剂和添加剂等组成的对光敏感的混合液体
。
其中树脂是是光刻胶中最核心的成分，因此开发出符合光刻胶配方的树脂，是当前光刻胶产品开发的重点
。
聚对羟基苯乙烯类树脂的单体在聚合过程中，副产物较多，影响目标产品的收率
。
此外，如何使光刻胶具有优异的分辨率，提高光刻图形的质量，一直是重点研究的方向
。

技术实现思路

[0003]为了提高光刻胶的质量，本申请提供了一种
KrF
光刻胶树脂
、KrF
光刻胶及制备工艺
。
[0004]第一方面，本申请提供一种
KrF
光刻胶树脂，采用如下技术方案：一种
KrF
光刻胶树脂，包括如下重量份数的原料：对乙酰氧基苯乙烯
75
‑
85
份
、
对叔丁氧基苯乙烯
25
‑
29
份
、
苯乙烯
25
‑
28
份
、
甲基丙烯酸叔丁酯
52
‑
56
份
。
[0005]第二方面，本申请提供一种
KrF
光刻胶树脂的制备工艺，采用如下技术方案：一种
KrF
光刻胶树脂的制备工艺，包括如下步骤：
(1)
将单体对乙酰氧基苯乙烯
、
对叔丁氧基苯乙烯
、
苯乙烯
、
甲基丙烯酸叔丁酯在丙二醇单甲醚乙酸酯中高温条件下经引发剂偶氮二异丁腈引发聚合，生成乙酸酯共聚物；
(2)
乙酸酯共聚物在甲醇水溶液中经三乙胺催化脱保护，生成产品聚合物，再经丙二醇单甲醚乙酸酯稀释，得到
KrF
光刻胶树脂
。
[0006]化学反应方程式：
优选的，步骤
(1)
中高温条件为
80℃。
[0007]第三方面，本申请提供一种
KrF
光刻胶，采用如下技术方案：一种
KrF
光刻胶，包括权利要求1所述的
KrF
光刻胶树脂
、
酸扩散抑制剂
、
光致酸产生剂和有机溶剂，重量配比为
KrF
光刻胶树脂
339
‑
342
份
、
酸扩散抑制剂
8.41
‑
8.44
份
、
光致酸产生剂1‑3份和有机溶剂
220.1
‑
220.9
份
。
[0008]优选的，所述酸扩散抑制剂选自三乙胺
。
[0009]优选的，所述光致酸产生剂选自全氟丁基磺酸三苯基锍盐
。
[0010]优选的，所述有机溶剂选自丙二醇单甲醚
。
[0011]第四方面，本申请提供一种
KrF
光刻胶的制备方法，采用如下技术方案：一种
KrF
光刻胶的制备方法，包括如下步骤：
(1)
用有机溶剂清洗混合釜及管道；
(2)
在通氮气条件下，将
KrF
光刻胶树脂
、
酸扩散抑制剂
、
光致酸产生剂和有机溶剂按配比分别泵入混合釜中，搅拌，进行避光物理混合；
(3)
混合料经密闭管道泵至密闭过滤器中除去金属离子杂质和聚合杂质，得到光刻胶组合物
。
[0012]优选的，步骤
(2)
中搅拌
24
～
48
小时
。
[0013]优选的，步骤
(3)
中过滤器采用
0.5
微米及以下滤芯
。
[0014]上述技术方案中：光刻胶组合物中加入光致酸产生剂，可以在曝光区域产酸，同时还能提高光刻胶的成膜能力；酸扩散抑制剂则在曝光前阻止曝光前阻止成膜树脂的溶解，起阻溶作用
。
[0015]有碱性化合物的加入，提高光刻胶的感光性
。
[0016]光刻胶树脂与辅料按比例混合得到
KrF
光刻胶
。
光刻胶树脂及
KrF
光刻胶电子级产品，生产过程中使用高纯度电子级原辅材料，通过控制原辅材料中金属离子的含量，以控制中间体及产品中的金属离子的含量；每批生产操作之前，生产设备采用电子级溶剂进行清洗，以防止设备受到污染；生产过程中采用氮气保护，以防生产过程中物料受到空气污染；
KrF
光刻胶产品在灌装前通过三级
PE
滤芯过滤，去除产品中部分聚合杂质和金属离子，以达到电子级产品的质量控制要求
。
[0017]综上所述，本申请具有以下有益效果：
1.
本申请提供的一种光刻胶树脂，由对乙酰氧基苯乙烯
、
对叔丁氧基苯乙烯
、
苯乙烯
、
甲基丙烯酸叔丁酯4种单体聚合形成
。
在制备
KrF
光刻胶树脂的过程中，通过乙酸酯保护羟基，防止副产物的生成，提高了
KrF
光刻胶树脂的收率
。
[0018]2.
本申请提供的一种
KrF
光刻胶，包括树脂
、
酸扩散抑制剂
、
光致酸产生剂
、
其余为有机溶剂
。
在制备
KrF
光刻胶过程中，利用酚醛树脂的网络状分子结构，使酚醛树脂和光刻
胶树脂相互交联，形成的结构整体稳定，并且酚醛树脂与基材能形成稳定的连接；光致酸产生剂在光刻胶中中，分布均匀，并改善了光刻胶的成膜能力；制备工艺简单，产率高
。
具体实施方式
[0019]以下实施例进一步说明本申请的内容，但不应理解为对本申请的限制
。
在不背离本申请精神和实质的情况下，对本申请方法，步骤或条件所做的修改或替换，均属于本申请的范围
。
[0020]若未特别指明，实施例中所用的技术手段为本领域技术人员所熟知的常规手段；若未特别指明，实施例中所用试剂均为市售
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
KrF
光刻胶树脂，其特征在于，包括如下重量份数的原料：对乙酰氧基苯乙烯
75
‑
85
份
、
对叔丁氧基苯乙烯
25
‑
29
份
、
苯乙烯
25
‑
28
份
、
甲基丙烯酸叔丁酯
52
‑
56
份
。2.
权利要求1所述的
KrF
光刻胶树脂的制备工艺，其特征在于，包括如下步骤：（1）将单体对乙酰氧基苯乙烯
、
对叔丁氧基苯乙烯
、
苯乙烯
、
甲基丙烯酸叔丁酯在丙二醇单甲醚乙酸酯中高温条件下经引发剂偶氮二异丁腈引发聚合，生成乙酸酯共聚物；（2）乙酸酯共聚物在甲醇水溶液中经三乙胺催化脱保护，生成产品聚合物，再经丙二醇单甲醚乙酸酯稀释，得到
KrF
光刻胶树脂
。3.
根据权利要求2所述的
KrF
光刻胶树脂的制备工艺，其特征在于，步骤（1）中高温条件为
80
‑
82℃。4.
一种
KrF
光刻胶，其特征在于，包括权利要求1所述的
KrF
光刻胶树脂
、
酸扩散抑制剂
、
光致酸产生剂和有机溶剂，重量配比为
KrF
光刻胶树脂
339
‑
...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘九高，
申请(专利权)人：常州化工设计院有限公司，
类型：发明
国别省市：