【技术实现步骤摘要】
金属氧化物半导体晶体管中多节点电荷收集试验表征方法
[0001]本专利技术涉及微电子学
,具体而言,涉及金属氧化物半导体晶体管中多节点电荷收集试验表征方法
。
技术介绍
[0002]在微电子学领域,金属氧化物半导体晶体管是非常常见的器件之一
。
在金属氧化物半导体晶体管中,多节点电荷收集是一个重要的问题
。
电离电子
‑
空穴对会受到漂移和扩散的影响,一旦电离的电子
‑
空穴对到达晶体管,它们就会被晶体管收集,并在电路节点中产生瞬态电流
。
瞬态电流在微电子电路中引起误差,会对整个芯片
、
系统,甚至是航天器造成灾难性的后果
。
因此,研究微电子电路中的辐射损伤是有必要的
。
目前,已经有许多方法来研究多节点电荷收集
。
然而,确定多节点电荷收集的主导机制仍然是一个挑战
。
因此我们对此做出改进,提出金属氧化物半导体晶体管中多节点电荷收集试验表征方法
。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于:针对目前存在的
技术介绍
提出的问题
。
为了实现上述专利技术目的,本专利技术提供了以下技术方案:金属氧化物半导体晶体管中多节点电荷收集试验表征方法,包括以下步骤:
[0004]步骤一
、
准备普通的
p
通道
MOS(PMOS)
晶体管阵列和具有源浮空结构 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种金属氧化物半导体晶体管中多节点电荷收集试验表征方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一
、
准备普通的
p
通道
MOS(PMOS)
晶体管阵列和具有源浮空结构的
PMOS
晶体管阵列,并将具有源浮空结构的
PMOS
晶体管阵列与普通
DFF
触发器的主级锁存器相连;步骤二
、
采用基于晶体管阵列的离子敏感区域测量
(TAISAM)
结构来区分由于漂移
‑
扩散和寄生双极放大效应而引起的电荷收集;将相应数量的触发器进行串联;步骤三
、
阵列受到高能粒子辐照后,
DFF
存储数据的变化;通过比较两种阵列在重离子作用下的照射,分析两种阵列的电荷收集特性;步骤四
、
根据实验结果,确定多节点电荷收集的主导机制,并根据实验结果确认
LET
阈值
。2.
根据权利要求1所述的金属氧化物半导体晶体管中多节点电荷收集试验表征方法,其特征在于,所述晶体管阵列中的晶体管为金属氧化物半导体场效应晶体管
(MOSFET)。3.
根据权利要求2所述的金属氧化物半导体晶体管中多节点电荷收集试验表征方法,其特征在于,所述晶体管阵列的源浮空结构是通过连接具有源浮空结构的
PMOS
晶体管阵列与普通
DFF
触发器的主级锁存器实现的
。4.
根据权利要求3所述的金属氧化物半导体晶体管中多节点电荷收集试验表征方法,其特征在于,所述离子敏感区域测量
(TAISAM)
结构是通过串联相应数量的触发器实现的,具体的步骤包括:
S1.
将
PMOS
晶体管阵列:将一个具有源浮空结构的
PMOS
晶体管阵列;这个阵列中的每个晶体管都有一个源极和一个漏极;
S2.
连接
PMOS
晶体管阵列与
DFF
触发器:将设计好的
PMOS
晶体管阵列与普通
DFF
触发器的主级锁存器连接起来;连接过程中,将
PMOS
晶体管阵列的源极与
DFF
触发器的控制端相连;
S3.
控制源浮空:通过控制
DFF
触发器的时钟信号,控制
PMOS
晶体管阵列的源极是否浮空;当时钟信号为高电平时,源极浮空,晶体管的源漏电流变小;当时钟信号为低电平时,源极不浮空,晶体管的源漏电流正常;
S4.
实现源浮空功能:通过控制
DFF
触发器的时钟信号,在需要时使
PMOS
晶体管阵列的源极浮空,从而实现源浮空结构的功能
。5.
根据权利要求4所述的金属氧化物半导体晶体管中多节点电荷收集试验表征方法,其特征在于,
技术研发人员:宋睿强,郭阳,池雅庆,吴振宇,梁斌,陈建军,
申请(专利权)人:中国人民解放军国防科技大学,
类型:发明
国别省市:
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