【技术实现步骤摘要】
阳极键合结构、硅压阻式压力传感器及其制备方法
[0001]本专利技术涉及半导体
,特别涉及一种阳极键合结构
、
硅压阻式压力传感器及其制备方法
。
技术介绍
[0002]硅压阻式压力传感器
(
传感芯片
)
,由于其具有易于工业化大批量制备,成本较低,非线性度好
、
可靠性高等优点,因而被广泛地应用于工业控制
、
消费电子
、
医疗设备
、
石油矿业等各个领域中
。
[0003]其中,形成硅压阻式压力传感器的步骤包括在衬底上形成压敏电阻及在将衬底的压敏单元一面与玻璃片阳极键合
。
在阳极键合时,对衬底进行高温加热,衬底表面和玻璃片分别接阳极阴极以施加高电压,以保证阳极键合质量
。
[0004]在相关技术中,为提高阳极键合的强度,一般采用调整阳极键合的工艺参数的方法,例如提高加热温度
(
键合温度
)
和
/
或提高电压
(
键合电压
)。
但上述方法还是存在诸如问题,例如提高键合温度将显著增加能耗,并且使键合后的残余应力变大,提高键合电压还存在影响压力传感器性能及击伤压力传感器的风险
。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种阳极键合结构
、
硅压阻式压力传感器及其制备方法,提高阳极键合工艺的键合强度
。 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种硅压阻式压力传感器的制备方法,其特征在于,包括:提供
SOI
衬底,包括依次堆叠的硅基底
、
第一绝缘层
、
中间硅层
、
第二绝缘层及顶部硅层,所述
SOI
衬底设有器件区及划片区;利用所述顶部硅层,在所述第二绝缘层上形成压敏单元及与所述压敏单元连接的引出单元,至少一所述引出单元由所述器件区延伸至所述划片区;在所述划片区的第二绝缘层中形成若干通孔暴露所述中间硅层;在所述引出单元上形成第一连接件及第二连接件,所述第一连接件位于所述器件区与所述引出单元电性连接,所述第二连接件利用所述通孔连接所述中间硅层与所述引出单元;以所述中间硅层作为阳极,采用阳极键合工艺将玻璃片与所述
SOI
衬底的顶部硅层一面键合;执行划片工艺,去除所述第二连接件
。2.
根据权利要求1所述的硅压阻式压力传感器的制备方法,其特征在于,形成所述压敏单元及所述引出单元的步骤包括:对所述顶部硅层执行重掺杂;对所述顶部硅层执行图形化,暴露所述第二绝缘层,以在所述器件区形成所述压敏单元及所述引出单元,所述引出单元与所述压敏单元连接且由所述器件区延伸至所述划片区
。3.
根据权利要求2所述的硅压阻式压力传感器的制备方法,其特征在于,形成所述压敏单元及所述引出单元后,还包括,形成钝化材料层覆盖所述第二绝缘层
、
所述压敏单元及所述引出单元的表面;对所述钝化材料层执行图形化工艺,去除所述划片区及所述引出单元上的钝化材料层,以剩余的所述钝化材料层作为钝化层
。4.
根据权利要求1所述的硅压阻式压力传感器的制备方法,其特征在于,形成所述第一连接件及所述第二连接件的步骤包括:形成导电材料层覆盖所述第二绝缘层
、
所述引出单元及所述钝化层的表面,并覆盖所述通孔的内壁;对所述导电材料层执行图形化工艺,以所述器件区的引出单元上的导电材料层作为所述第一连接件,以由覆盖所述通孔的内壁至覆盖所述划片区的引出单元上的导电材料层作为所述第二连接件
。5.
技术研发人员:罗扩郎,
申请(专利权)人:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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