一种硅片裂纹检测设备制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片检测技术领域，公开了一种硅片裂纹检测设备，包括装置台，所述装置台顶端四周均固定连接有支撑柱，四个所述支撑柱远离装置台的一端固定连接有操作板，所述操作板右端固定连接有固定板，所述固定板顶端固定连接有电机，所述电机驱动端固定连接有转轴，所述转轴左端固定连接有螺杆，所述螺杆外径均螺纹连接有滑块，下侧所述滑块底端固定连接有连接柱。本实用新型专利技术中，通过滑动杆连接的检测头左右移动对硅片检测的过程，同时通过控制器运行电动推杆，通过电动推杆带动滑动杆前后移动，继而带动检测头前后移动的过程，从而实现多方位对硅片检测的目的，达到了快速检测的目的，且降低了操作人员的工作量。且降低了操作人员的工作量。且降低了操作人员的工作量。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片裂纹检测设备


[0001]本技术涉及硅片检测
，尤其涉及一种硅片裂纹检测设备。

技术介绍

[0002]硅是产量最大、应用最广的半导体材料，它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，且米粒大的硅片已能集成16万个晶体管，但硅片在生产的过程中是相当严格的，即使有较小的裂纹也会使得器件失效，因此需通过相应的检测设备对其检测的过程。
[0003]目前，在现有技术中，通常都是将相应的硅片放置在装置台上，并通过相应的检测头对其检测的过程，但检测头的位置是固定的，不能够检查到硅片的其他位置，故需要操作人员将硅片移动的过程，这就导致了检测时较为麻烦，且无法快速检测的效果，且有可能在移动的过程中，造成硅片损坏的现象，长此以往，该设备的顶部会有灰尘沾染，工作人员无时间清洁，就有可能导致灰尘散布在装置台上，继而可能会影响硅片质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片裂纹检测设备。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片裂纹检测设备，包括装置台(1)，其特征在于：所述装置台(1)顶端四周均固定连接有支撑柱(2)，四个所述支撑柱(2)远离装置台(1)的一端固定连接有操作板(3)，所述操作板(3)右端固定连接有固定板(4)，所述固定板(4)顶端固定连接有电机(5)，所述电机(5)驱动端固定连接有转轴(6)，所述转轴(6)左端固定连接有螺杆(7)，所述螺杆(7)外径均螺纹连接有滑块(8)，下侧所述滑块(8)底端固定连接有连接柱(10)，所述连接柱(10)远离滑块(8)的一端固定连接有连接板(11)，所述连接板(11)后端内壁上固定连接有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)驱动端固定连接有滑动杆(13)，所述滑动杆(13)底端固定连接有检测头(16)，所述检测头(16)用于接收硅片裂纹对应的散热光线，并将光信号转换为电信号以获得硅片裂纹信息。2.根据权利要求1所述的一种硅片裂纹检测设备，其特征在于：所述电机(5)外径上固定连接有链轮(17)，所述链轮(17)外径上啮合连接有链条(18)。3.根据权利要求1所述的一种硅片裂纹检测设备，其特征在于：所述操作板(3)顶端左右两侧均固定连接有固定柱(19)，两个所述固定柱(19)顶端固定连接有顶板(20)。4.根据权利要求3所述的一种硅片裂纹检测设备，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯育星，谢文婷，
申请(专利权)人：苏州若高智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：