一种气体处理装置用双泵循环水装置制造方法及图纸

本申请公开了一种气体处理装置用双泵循环水装置，涉及气体水洗技术领域，包括水箱、回水管、控制器、串接于导水管上的抽水泵和抽水泵阀，水箱进、出气端分别接于进气腔体和水洗喷淋管，两者内部均布设有第二喷淋管，其导水端接于导水管，回水管上串接有第三手动阀、循环泵和第一压力传感器，回水管的一端连通于水箱，本申请的技术优势是：通过在导水管上加装抽水泵和抽水泵阀，利用循环泵将水箱内的清洗水循环抽入第二喷淋管内，实现了废水的循环利用；通过加装反洗组件和反洗进水管，在停止有害气体导入时，通过反洗进水管导入干净的清洁水，对水箱和相关管路进行定期清洁；通过竖向排列布设的若干个第二喷淋管，提升了对有害气体的清理效果。体的清理效果。体的清理效果。

【技术实现步骤摘要】
一种气体处理装置用双泵循环水装置


[0001]本申请涉及气体水洗
，特别是涉及一种气体处理装置用双泵循环水装置。

技术介绍

[0002]有害气体水洗是一种常用的气体处理方法，主要适用于半导体生产中产生的溶剂蒸气、酸性气体、碱性气体等物质的处理。该方法将含有有害气体的废气通过喷淋塔或喷淋管强制喷淋，使其与喷淋液充分接触，然后经过沉降、过滤等一系列水处理步骤，最终达到净化废气的目的。水洗操作简便，不需要复杂的设备和技术，水洗设备运行过程稳定可靠，抗干扰能力较强，相对于其他气体处理方法，水洗设备成本较低，操作费用也较低。
[0003]有害气体水洗作为一种常规的气体处理方式，虽然能有效的去除气态污染物，但是也存在一些不足之处。有害气体水洗过程中需要大量的水资源，而且喷淋液的浓度和数量需要经常监测和调节，这就导致消耗了大量水资源，排放量也较多；由于水洗设备和水箱中的喷淋水会受到酸碱、温度等因素的影响，因此设备还需要具备定期自清洁作业的能力。

技术实现思路

[0004]本装置提供了一种气体处理装置用双泵循环水装置，具体实施方式如下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体处理装置用双泵循环水装置，包括水箱(1)，其进、出气端分别接于进气腔体(5)和水洗喷淋管(2)，两者内部均布设有第二喷淋管(8)，其导水端接于导水管(6)，其特征在于，还包括：回水管(9)，所述回水管(9)上串接有第三手动阀(18)、循环泵(3)和第一压力传感器(16)，所述回水管(9)的一端连通于所述水箱(1)，其另一端接于所述第二喷淋管(8)的进水端，所述回水管(9)独立于所述导水管(6)以外为所述第二喷淋管(8)中有害气体的水洗提供循环水；串接于所述导水管(6)上的抽水泵(10)和抽水泵阀(19)，两者的气路均接于加装第一手动阀(13)后的气管(12)，所述第一手动阀(13)用于控制所述抽水泵(10)和所述抽水泵阀(19)的状态，进而实现对所述水箱(1)内进行供水；控制器(17)，其信号接收端电性接于所述第一压力传感器(16)，其信号输出端电性接于所述循环泵(3)。2.根据权利要求1所述的一种气体处理装置用双泵循环水装置，其特征在于，还包括反洗进水管(15)和串接于所述反洗进水管(15)上的反洗组件(7)，其包括串接于所述反洗进水管(15)上的流量计(701)、第二压力传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：田波雨，刘振鑫，
申请(专利权)人：气安仕先进制造科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：