龙门双驱结构制造技术

本申请提供的龙门双驱结构，第一

【技术实现步骤摘要】
龙门双驱结构


[0001]本申请涉及自动化设备
，具体涉及一种龙门双驱结构
。

技术介绍

[0002]在半导体的加工工序中，常常需要对工件进行运输，龙门双驱结构可以应用在半导体加工设备中对工件进行运输，从而保证半导体设备的高精度的加工
。
[0003]现有的龙门双驱结构通常会安装有拖链，拖链能保护与龙门双驱结构电性连接的线缆
。
拖链通常会安装在托板上，拖链和托板会增加半导体设备的空间占用率，此外，拖链的移动会使得龙门双驱结构工作时产生噪音；拖链在托板上摩擦会影响龙门双驱结构的速度和精度，使得半导体设备难以保证高速高精度的需求
。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种龙门双驱结构，该龙门双驱结构能解决拖链安装在龙门双驱结构中产生的一系列问题
。
[0005]为了解决上述技术问题，本申请提供了一种龙门双驱结构，包括基座
、
第一
Y
轴支撑座组件
、
第二
Y
轴支撑座组件
、X
轴支撑座组件
、
第一连接板以及波纹管接头组件
。
第一
Y
轴支撑座组件包括第一
Y
轴支撑座
、
第一滑动组件和第一驱动组件，第一
Y
轴支撑座设于基座上，第一滑动组件以及第一驱动组件设于第一
Y
轴支撑座上；第二
Y
轴支撑座组件包括第二
Y
轴支撑座
、
第二滑动组件和第二驱动组件，第二
Y
轴支撑座设于基座上，第二滑动组件以及第二驱动组件设于第二
Y
轴支撑座上；
X
轴支撑座组件包括
X
轴支撑座
、
第三滑动组件和第三驱动组件，
X
轴支撑座的两端分别和第一滑动组件以及第二滑动组件滑动连接，第一驱动组件能够驱动第一滑动组件相对第一
Y
轴支撑座往复运动，第二驱动组件能够驱动第二滑动组件相对第二
Y
轴支撑座往复运动；第一连接板用于安装待驱动机构，第一连接板与第三滑动组件连接，第三驱动组件能够驱动第三滑动组件相对
X
轴支撑座往复运动；波纹管接头组件设置于第一
Y
轴支撑座
、
第二
Y
轴支撑座以及
X
轴支撑座中的至少一个上，波纹管接头组件用于连接波纹管，以使第一驱动组件
、
第二驱动组件以及第三驱动组件通过波纹管内的线缆与电控设备电性连接
。
[0006]在一种实施例中，第一
Y
轴支撑座的延伸方向与第二
Y
轴支撑座的延伸方向平行，第一滑动组件的延伸方向与第二滑动组件的延伸方向平行，
X
轴支撑座的延伸方向与第一
Y
轴支撑座的延伸方向以及第一
Y
轴支撑座的延伸方向垂直，所述第三滑动组件的延伸方向与所述第一滑动组件的延伸方向垂直；第一滑动组件设置于第一
Y
轴支撑座的上表面，第二滑动组件设置于第二
Y
轴支撑座的上表面，第三滑动组件设置于
X
轴支撑座的前表面或者后表面
。
[0007]在一种实施例中，波纹管接头组件包括第一波纹管接头
、
第二波纹管接头以及第三波纹管接头，第一波纹管接头设置于
X
轴支撑座靠近第一
Y
轴支撑座的一端，第二波纹管接头设置于
X
轴支撑座靠近第二
Y
轴支撑座的一端，第三波纹管结构设置于
X
轴支撑座上
。
[0008]在一种实施例中，第一滑动组件包括滑动连接的第一导轨和第一滑块，第二滑动组件包括滑动连接的第二导轨和第二滑块，第三滑动组件包括滑动连接的第三导轨和第三滑块；龙门双驱结构还包括第二连接板和第三连接板，第二连接板的两端分别与第一滑块以及
X
轴支撑座的一端固定连接，第三连接板的两端分别与第二滑块以及
X
轴支撑座的另一端固定连接
。
[0009]在一种实施例中，第一驱动组件包括第一直线电机和第一电机安装件，第二驱动组件包括第二直线电机和第二电机安装件，第一电机安装件具有第一定子安装槽，第一直线电机的两个定子安装在第一定子安装槽的相对的两侧壁上，第一直线电机的动子的一端固定在第二连接板上，另一端设于第一直线电机的两个定子之间的间隙中；第二电机安装件具有第二定子安装槽，第二直线电机的两个定子安装在第二定子安装槽的相对的两侧壁上，第二直线电机的动子的一端固定在第三连接板上，另一端设于第二直线电机的两个定子之间的间隙中
。
[0010]在一种实施例中，第一导轨设置于第一
Y
轴支撑座的上表面，第一滑块以及第一直线电机的动子与第二连接板的下表面固定连接；第二导轨设置于第二
Y
轴支撑座的上表面，第二滑块以及第二直线电机的动子与第三连接板的下表面固定连接
。
[0011]在一种实施例中，第一
Y
轴支撑座上具有第一安装槽，第一安装槽的开口朝上，第一安装槽凹陷于第一
Y
轴支撑座的侧表面，第一驱动组件安装于第一安装槽；第二
Y
轴支撑座上具有第二安装槽，第二安装槽的开口朝上第二安装槽凹陷于第二
Y
轴支撑座的侧表面，第二驱动组件安装于第二安装槽；
X
轴支撑座上具有第三安装槽，第三安装槽凹陷于
X
轴支撑座的侧表面，第三驱动组件以及第三滑动组件设置于第三安装槽
。
[0012]在一种实施例中，基座
、
第一
Y
轴支撑座
、
第二
Y
轴支撑座以及
X
轴支撑座的材质为大理石
。
[0013]在一种实施例中，龙门双驱结构还包括第一光栅尺
、
第二光栅尺以及第三光栅尺，第一光栅尺设置于第一
Y
轴支撑座上，第一光栅尺用于检测
X
轴支撑座相对第一
Y
轴支撑座滑动的位移，第二光栅尺设置于第二
Y
轴支撑座上，第二光栅尺用于检测
X
轴支撑座相对第二
Y
轴支撑座滑动的位移，第三光栅尺设置于
X
轴支撑座上，第三光栅尺用于检测第一连接板相对
X
轴支撑座滑动的位移
。
[0014]在一种实施例中，第一连接板用于安装贴合机构和视觉机构，视觉机构用于对芯片
、
焊片或电阻的位置拍照定位，贴合结构用于吸附芯片
、
焊片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种龙门双驱结构，其特征在于，包括：基座；第一
Y
轴支撑座组件，其包括第一
Y
轴支撑座
、
第一滑动组件和第一驱动组件，所述第一
Y
轴支撑座设于所述基座上，所述第一滑动组件以及所述第一驱动组件设于所述第一
Y
轴支撑座上；第二
Y
轴支撑座组件，其包括第二
Y
轴支撑座
、
第二滑动组件和第二驱动组件，所述第二
Y
轴支撑座设于所述基座上，所述第二滑动组件以及所述第二驱动组件设于所述第二
Y
轴支撑座上；
X
轴支撑座组件，其包括
X
轴支撑座
、
第三滑动组件和第三驱动组件，所述
X
轴支撑座的两端分别和所述第一滑动组件以及所述第二滑动组件连接，所述第一驱动组件能够驱动所述第一滑动组件相对所述第一
Y
轴支撑座往复运动，所述第二驱动组件能够驱动所述第二滑动组件相对所述第二
Y
轴支撑座往复运动；第一连接板，所述第一连接板用于安装待驱动机构，所述第一连接板与所述第三滑动组件连接，所述第三驱动组件能够驱动所述第三滑动组件相对所述
X
轴支撑座往复运动；以及波纹管接头组件，所述波纹管接头组件设置于所述第一
Y
轴支撑座
、
所述第二
Y
轴支撑座以及所述
X
轴支撑座中的至少一个上，所述波纹管接头组件用于连接波纹管，以使所述第一驱动组件
、
所述第二驱动组件以及所述第三驱动组件通过所述波纹管内的线缆与电控设备电性连接
。2.
根据权利要求1所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述第一
Y
轴支撑座的延伸方向与所述第二
Y
轴支撑座的延伸方向平行，所述第一滑动组件的延伸方向与所述第二滑动组件的延伸方向平行，所述
X
轴支撑座的延伸方向与所述第一
Y
轴支撑座的延伸方向垂直，所述第三滑动组件的延伸方向与所述第一滑动组件的延伸方向垂直；所述第一滑动组件设置于所述第一
Y
轴支撑座的上表面，所述第二滑动组件设置于所述第二
Y
轴支撑座的上表面，所述第三滑动组件设置于所述
X
轴支撑座的前表面或者后表面
。3.
根据权利要求1所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述波纹管接头组件包括第一波纹管接头
、
第二波纹管接头以及第三波纹管接头，所述第一波纹管接头设置于所述
X
轴支撑座靠近所述第一
Y
轴支撑座的一端，所述第二波纹管接头设置于所述
X
轴支撑座靠近所述第二
Y
轴支撑座的一端，所述第三波纹管结构设置于所述
X
轴支撑座上
。4.
根据权利要求1所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述第一滑动组件包括滑动连接的第一导轨和第一滑块，所述第二滑动组件包括滑动连接的第二导轨和第二滑块，所述第三滑动组件包括滑动连接的第三导轨和第三滑块；所述龙门双驱结构还包括第二连接板和第三连接板，所述第二连接板的两端分别与所述第一滑块以及所述

【专利技术属性】
技术研发人员：詹友仁，易晶，杜永辉，杨银涛，赵文龙，李伟，
申请(专利权)人：深圳科瑞技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：