一种硅烷燃烧筒制造技术

本实用新型专利技术提出了一种硅烷燃烧筒，包括支撑体一，支撑体一的内侧放置有燃烧筒，燃烧筒的顶部放置有延长筒，延长筒的顶部开设有排气口，延长筒的侧面开设有氮气输入管，氮气输入管的内侧放置有软管，软管的一端连接有喷气装置。该种硅烷燃烧筒，通过不断调节氮气输出管的角度，使氮气均匀的充斥在筒内，让氮气发挥好退火保护等功能，提升装置的使用年限的同时，减少意外事故的发生，通过定时清洁积灰箱，放置灰尘污染环境，保护使用者的健康。保护使用者的健康。保护使用者的健康。

【技术实现步骤摘要】
一种硅烷燃烧筒


[0001]本技术涉及硅烷燃烧筒
，具体为一种硅烷燃烧筒。

技术介绍

[0002]在喷涂和烘干设备以及在集成电路和电子元件的制造领域中采用化学气相淀积技术时，其工艺产生的气体对人体是有害的，在高温条件下与空气接触容易产生自燃，甚至是在常温的条件下或者是氧化剂接触的时候也可能产生自燃，这种工业废气主要是硅烷以及氨氯等，现在大多是通过焚烧法来处理这些工业废气,硅烷燃烧筒，包括燃烧筒、集灰筒和燃烧筒上设置由进气管和排气管，所述排气管的下部的轴线与燃烧筒的轴线重合，排气管的入口位于燃烧筒的中部；所述进气管的排入口倾斜向下，且与燃烧筒的筒体相切,所述进气管的排入口与水平方向的夹角为0～30度；所述进气管的排入口处设置有压缩空气进气口。
[0003]传统硅烷燃烧筒的氮气在输入过程中常通过一个方向喷气的方式进行，氮气作为退火保护器的功能无法得到进一步提升。
[0004]因此我们对此做出改进，提出一种硅烷燃烧筒。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：<br/>[0006]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅烷燃烧筒，包括支撑体一(1)，其特征在于，所述支撑体一(1)的内侧放置有燃烧筒(2)，所述燃烧筒(2)的顶部放置有延长筒(3)，所述延长筒(3)的顶部开设有排气口(4)，所述延长筒(3)的侧面开设有氮气输入管(5)，所述氮气输入管(5)的内侧放置有软管(6)，所述软管(6)的一端连接有喷气装置。2.根据权利要求1所述的一种硅烷燃烧筒，其特征在于，所述喷气装置包括安装板(7)，所述安装板(7)的侧面贯穿安装有活动轴(8)，所述活动轴(8)的一端通过联轴器连接有转动盘(9)，所述安装板(7)的一侧放置有安装块一(10)，所述安装块一(10)的一侧安装有滑槽(11)，所述滑槽(11)的内侧滑动连接滑块一(12)，所述滑块一(12)的一侧安装有滑轨(13)，所述滑轨(13)的外侧滑动连接滑块二(14)，所述滑块二(14)的内侧套接喷气杆(15)，所述喷气杆(15)的一端安装有限位板(16)，所述喷气杆(15)外侧连接有安装块二(17)，所述喷气杆(15)的另一端安装有喷气头(18)。3.根据权利要求2所述的一种硅烷燃烧筒，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：程界勇，潘丹丹，丁梁陈，吕海燕，吕增强，
申请(专利权)人：马鞍山艾瑞斯环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：